Items to be Contoured – Stress, von Mises(за Мізесом);
Itemstobeplotted – Def + Undeformededge (відобразити деформований мікроактюатор та контур не деформованого).
Після вибору опцій натискаємо кнопку ОК і результати відображається у вікні графіки середовища ANSYS.
На рисунках 5 -6 наведені деякі результати аналізу
T=30°C
Рис. 4 Розподіл переміщень в мікроактюаторі
2.Т = 100°C
Рис. 5 Розподіл переміщень в мікроактюаторі
В таблиці 1 представлено максимальні переміщення в моделі мікроактюатора при заданих температурах.
Таблиця 1
Температура |
переміщення |
напруження |
30 |
0.528e-4 |
0.071e-19 |
40 |
0.707e-4 |
0.124e-18 |
50 |
0.886e-4 |
0.178e-18 |
60 |
0.106e-3 |
0.234e-18 |
70 |
0.284e-3 |
0.286e-18 |
80 |
0.457e-3 |
0.340e-18 |
90 |
0.634e-3 |
0.390e-18 |
100 |
0.811e-3 |
0.446e-18 |
Рис.6 Графік залежності максимального переміщення від температури
Рис.7 Графік залежності максимального напруження від температури
5. Висновок
На цій лабораторній роботі, я отримав практичні навички проектування теплових мікроелектромеханічних інтегральних пристроїв. Я побудував модель мікроактюатора, який складається з двох частин. Після цього визначив максимальні переміщення та напруження шляхом задання різних характеристик: температури (від 30 до 100 з інтервалом в 10 градусів), а також відповідних краєвих умов. Побудував графіки залежності переміщення від температури та напруження від температури, які продемонстровані вище.