
- •1. Плазма. Способы её получения.
- •2. Модель трёхчастичной плазмы.
- •4. Дебаевский радиус.
- •5. Движение заряженных частиц в плазме.
- •7. Рекомбинация заряженных частиц в плазме.
- •9.Тормозное излучение плазмы.
- •10.Излучение рекомбинации и возбужденных атомов.
- •11. Электрический ток в плазме. Закон Ома.
- •13. Амбиполярная диффузия
- •14. Поведение плазмы в вч поле.
- •15. Диэлектрическая проницаемость плазмы в вч поле
- •16. Методы диагностики плазмы. Метод зондов Ленгмюра
- •18. Газовые разряды. Классификация.
- •19. Зажигание газового разряда. Несамостоятельный, самостоятельный разряды.
- •20. Закон Пашена
- •21) Вах газового разряда в широкой области изменения токов разряда
- •22) Характеристика тлеющего разряда.
- •23.Общая хар-ка дугового разряда.
- •24. Дуговой разряд с интегрально холодным катодом и катодными пятнами.
- •25 Электродуговое нанесение покрытий. Устройство электродугового испарителя.
- •26 Реактивный дуговой метод нанесения покрытий (киб)
- •27. Метод сепарации плазменного потока.
- •28) Особенности эксплуатации электро-дуговых систем.
- •33) Особенности эксплуатации магнетронных систем.
- •34) Диодная схема плазменной металлизации
- •35. Металлизация в прямом разряде
- •36.Методы нанесения покрытий с использованием вч разряда.
13. Амбиполярная диффузия
Соотношение Эйнштейна D/M = kT/e
D – коэффициент диффузии,M – подвижность,k – постоянная Больцмана
Dе = μе ∙ kTе/е – диффузия электрона
Di = μi ∙ kTi/e – коэффициент диффузии для ионов
μе = е/menνen, μi = е/meiνei, mi-me, μе> μi, Tе>Ti, Dе> Di
Процесс совместной диффузии e и i с общим коэффициентом диффузии Da, где Da~2 Di. где ν- частота столкновений, D- коэфф. диффузии. Однакозная, что e и i связаны между собой силами Кулоновского взаимодействия, то по этому они отдельно друг от друга диффундировать не могут. Потому, что врезультате отдельного дрейфа натрушиваются квазенейтральность. При любом отношении от равенства, но т.к. Dе> Di электроны быстрее диффундируют в области концентрации, но их движение замедлиться из-за появления тормозящего поля. Тоже самое поле ускорит ионы и в итоге дифф. заряженные частиц обоих знаков происходит с одинаовой скоростью. при этом совместно коэфф диф Da~2 Di плазма диффундирует как целое без нарушения квазенейтральности.
14. Поведение плазмы в вч поле.
Предполагается, что скорость колебания электрич. поля настолько велика, что за время свободного пробега электрон успевает произвести очень много колебаний в этом поле без столкновений. Столкновения, при такой величине частоты поля, на поведение электрона должны оказывать очень маленькое значение.
Высокочастотная плазма – 100 кГц.
Уравнение движения электрона: F = ma.
Плазма в ВЧ поле: Е = Е0∙Cosωt; ω = 2πν; ν = 1/τ.
mex" = -e∙E0∙Cosωt;
υ = x' = -e E0/me∙ω∙Sinωt.
j = neυ = - (e2∙ E0/meω )∙ Sinωt – плотность тока.
Смещение электрона отстаёт по фазе от напряжённости электрического поля на 180 градусов.
Ɛ в плазме меньше 1, когда поле высокочастотное.
Е = Е0∙Cosωt. Еn∑ = Е + ∆ Е; Ед∑ = Е - ∆ Е.
Ɛ = Е/ Е∑; Ɛ > 1 для Д, Ɛ <1 – для плазмы.
Ɛ = 1+ 4π∙Р/Е;
Р = -n∙e∙X;
Ɛ = 1- (4π∙n∙e∙X/Е);
Ɛ
= 1-
/ω2.
= 4π∙ n∙e2/me – Ленгмюровская частота.
ωл = ω → Ɛ =0;
ωл >ω → Ɛ< 0.
Волны могут распространяться в плазме, если их частота выше плазменной, если волна с частотой ниже пламенной отражается от границы плазмы. Такие волны проникают в поверхностный слой – skin-слой, толщины порядка длины волны.
Плазменная частота определяется только концентрацией заряженных частиц и, таким образом, эта концентрация при зондировании радиоволнами может быть определена.
15. Диэлектрическая проницаемость плазмы в вч поле
Диэлектрическая проницаемость является одной из основных характеристик плазмы. Знание этой величины необходимо для описания процесса распространения и затухания плазменных волн и механизма проникновения электромагнитных волн в плазму.
В плазме ионы и электроны могут направленно смещаться от своих положений равновесия даже под действием небольших электрических полей. В результате этого в плазме возникают электрические поля, ослабляющие внешнее поле.
И
з
теории диэлектриков известно, что при
воздействии электрического поля
возникают электрические моменты, которые
характеризуются некоторым параметром,
называемым поляризацией единицы объема
р:
Если на плазму накладывать постоянное электрическое поле, то влияние поляризации будет сказываться только в течение времени переходного процесса от одного установившегося состояния к другому.
При воздействии электрического поля плазма отделяется от него слоем пространственного заряда, на котором и локализуется все приложенное напряжение. Если же плазма оказывается в зоне действия переменного электрического поля, то непрерывно перемещающиеся заряды будут создавать в плазме поле, направленное в противоположном внешнему полю направлении. Таким образом, можно считать, что плазма обладает некоторой диэлектрической проницаемостью.