
- •1. Плазма. Способы её получения.
- •2. Модель трёхчастичной плазмы.
- •4. Дебаевский радиус.
- •5. Движение заряженных частиц в плазме.
- •7. Рекомбинация заряженных частиц в плазме.
- •9.Тормозное излучение плазмы.
- •10.Излучение рекомбинации и возбужденных атомов.
- •11. Электрический ток в плазме. Закон Ома.
- •13. Амбиполярная диффузия
- •14. Поведение плазмы в вч поле.
- •15. Диэлектрическая проницаемость плазмы в вч поле
- •16. Методы диагностики плазмы. Метод зондов Ленгмюра
- •18. Газовые разряды. Классификация.
- •19. Зажигание газового разряда. Несамостоятельный, самостоятельный разряды.
- •20. Закон Пашена
- •21) Вах газового разряда в широкой области изменения токов разряда
- •22) Характеристика тлеющего разряда.
- •23.Общая хар-ка дугового разряда.
- •24. Дуговой разряд с интегрально холодным катодом и катодными пятнами.
- •25 Электродуговое нанесение покрытий. Устройство электродугового испарителя.
- •26 Реактивный дуговой метод нанесения покрытий (киб)
- •27. Метод сепарации плазменного потока.
- •28) Особенности эксплуатации электро-дуговых систем.
- •33) Особенности эксплуатации магнетронных систем.
- •34) Диодная схема плазменной металлизации
- •35. Металлизация в прямом разряде
- •36.Методы нанесения покрытий с использованием вч разряда.
1. Плазма. Способы её получения.
Плазма – проводящий эл. ток газ;
- газ, в кот.значительн. часть атомов и мол-ул ионизированы;
- газ, состоящий из положит.иотрицат. заряженн. застииц в таких пропорциях при кот. общий заряд =0;
- квазинейтральный газ заряженн и нейтральн частиц, кот проявляют коллективныесв-ва;
-собрание свободно движущихся разноимённо заряж. частиц, т.е. ионизированн газ (дебаевская длина мала по сравнению с объёмом, занимаемым плазмой)
Способы получения:
1. НАГРЕВ – при повышении Т, V-ти молекул увеличиваются, они диссоциируют в атомы, из которых затем отрывается электроны и появл-сязаряж частицы (2000-3000 ˚С), газ ионизируется. Если T увеличивать до 10 000 000 000 ˚С то отрываюся все электроны.
2. Ионизация электромагнитным излучением.
3. получение плазмы в газовых разрядах:
тлеющий газ.разряд; дуговой магнитронный искровой высоко и сверхвысокочастотный.
2. Модель трёхчастичной плазмы.
М/уплазмой кот получается методом нагрева и методом ионизации электромагнитным излучением имеется существенная разница – плазма газового разряда при пониж давлении в термическом смысле явл-ся неравновесной. Самая распространённая модель такой плазмы – трёхчастичная. Считается что плазма сост. из: *нейтральной компонентыT0и n0 *однозарядных ионов и электронов Tiniи Tene.
Tе>>Тi>Т0 – поэтому плазма считается неравновесной.
Самый распространённый плазмообразующий газ – аргон.
Плазма получ. при термическом нагреве имеет температуру электронов ≈Те≈Тi,T0
Плазма газ.разряда получает энергию за счёт прохождения эл. тока, а охлаждается за счёт теплообмена с пов-тью. Te>Tiпотому что масса электронов много больше массы ионов. Внешний источник передаёт энергию электронам, а ионы преобретают в основном энергию за счёт столкновений
4. Дебаевский радиус.
При заданной концентрации и температуре плазмы, имеется характерный масштаб rD, удовлетворяющий следующему условию:
х≤ rD, то в пределах скорости с линейным размером х разделения заряда происходит без существенного влияния поля на их движение.
Если х>> rD,то концентрация частиц противоположных знаков, в данном случае, скорость приблизительно одинакова.
[эВ]
= Т°/11600.
Приравниваем напряжение и энергию и тогда: х ≈ rD.
= 4πne2 rD2.
rD ≈ ( / 4 πne2) – экранированный радиус Дебая.
Дебаевский радиус экранирования зависит от температуры. С увеличением Т° дебаевский радиус увеличивается, с возрастанием концентрации частиц rD убывает.
Если Т→0, то и rD →0.
rD с увеличением плотности уменьшается. И с физической точки зрения экранировка будет более эффективной.
5. Движение заряженных частиц в плазме.
Сущ. 2 подхода:
Знать законы движения электр; ионов под возд. эл. Полей и хаотическое движение нейтронов.
Процессы при сталкивании частиц.
Движение заряжённых частиц в плазме отлич. от движения в газе и связано это с тем что в плазме движение заряж. частиц приводит к возникновению микрополей. Это поле хаотично изменяется во времени и в пространстве. В электр. магнит. полях; Выделяют оббьем с одной частицей:
А)Газ б) плазма
Для описания частиц в плазме :
1) P=nkT; Р1+Р2+….+Рн;
2) Закон максвелла: Распределение по энергии :
3) для свободного пробега λср- это средняя длина между столкновением ; δ=4πd2 – диаметр малого атома.V=1/t – частота столкновения
!- столкновение, х- не столкновение.
Длина свободного пробега;
Пробный электрон, рассмотрим его движение: электон испытав много мелких последов. Отклонений, он забывает о своём движении, направление движение электрона изменяется на угол больше чем 90 о, от первичного движения. Время за которое это проходит и обратная величина.
Ve = Vei= Veo = Vee – частота столкновения.
В плазме взаимно заряженные движения частично удается описать в рамках кин. Теории. Заменяя плавную траекторию условной ломаной и сводят статистический эффект слабых взаимодействий к одному удару. Это даёт возможность МКТ и правильно описывать действительность.
6. Элементарные процессы в плазме.
Могут происходить с нейтральными частицами и процесс происходит с возбужденными и заряженными частицами.
1)Диссоциации и 2)обменные процессы:
1) AB→A+B 2) AB+C→AC+B
Процесс происходит своб. атомами.
Считают что атом находиться в возбужд состоянии, когда 1 или несколько эл переходят с низкого на высокий энергетические уровень.
Электрон может испускать квант совершивший один или несколько переходов или может возб до такого состояния что не сможет выйти с него самостоятельно. Такое состояние наз метостобильным.
Потеря метостобильного состояния происходит с другой частицей или со стенкой. С метостобильно уровня он поднимается на более высокий уровень потом опускается. 1) возбуждение электронным ударом A+E=A*
возбуждение электромогнитным излучением A+νh=A*
возбуждение при столкновении атомов A+B=A* +B
возб при ионом ударе A+B+=A*+B
Процесс ионизации. Это процесс образования заряженных частиц. Для этого атом должен получить энергию что бы эл отделится от него и получился полож ион. A+e→A++2e.
этот процесс явл пороговым
Вероятность ионизации имеет экстр зависимость от ионизации и мах приход на E2=20-100 эл вольт.
С увеличением энергии эл-в уменьшается время взаимод с электронами подсистемного атома. Ионизация при столкновении. A+B→A*+B+e.
Явл «прилипание». Для электро отредц газов в плазме образуются отрицательные ионы из за появл высокого средства или явл прилипания эл-в к атомам этих газов. O+e→ O- Энергия связи в 10 раз меньше чем энергия ионизации.