Контрольные вопросы

1. Перечислите и раскройте возможности методов диффузионного легирования .

2. Какие структуры могут быть получены методами диффузионного легирования?

3. Какие основные методы используются для введения атомов легирующих примесей в кристаллическую решетку? Дайте необходимые пояснения.

4. На каких научных основах базируются методы диффузии? Дайте их характеристику.

5. Укажите пределы применимости законов А.Фика. Дайте пояснения.

6. Запишите уравнение 1 – го закона А. Фика. Приведите необходимые пояснения

7. Запишите уравнение 2– го закона А. Фика. Приведите необходимые пояснения.

8. При каких граничных условиях наиболее часто проводятся решения уравнений законов А. Фика?

9. Сформулируйте условия, при которых проводится решение уравнений 1 – го закона А. Фика.

10. Сформулируйте условия, при которых проводится решение уравнений 2 – го закона А. Фика.

11. Приведите график распределения примеси при легировании из неограниченного источника. Дайте необходимые пояснения

12. Приведите график распределения примеси при легировании из ограниченного источника. Дайте необходимые пояснения.

13. В каких практических случаях используется легирование из бесконечного источника?

14. В каких практических случаях используется легирование из ограниченного источника?

15. Поясните причину сильной зависимости процессов диффузии от температуры

16. Сформулируйте требования к точности поддержания температуры процесса диффузионного легирования.

17. При каких температурах проводят процессы диффузии? Почему ?

18. На какие показатели процесса диффузионного легирования влияет масса лодочки? Почему?

19. Перечислите основные элементы, используемые в качестве лигирующих добавок. Дайте необходимые пояснения.

20. Зависит ли качество проведения процесса диффузии от качества и состояния поверхности подложки? Если ДА, то почему?

21. Какими физическими свойствами (характеристиками) определяется температура процесса диффузии? Почему?

22. От какого физического показателя зависит уровень поверхностной концентрации примеси?

23. Приведите схемы диффузионных процессов. Дайте необходимые к ним пояснения.

24. В каких случаях используется однозонная диффузионная печь?

25. В каких случаях используется двухзонная диффузионная печь?

26. Перечислите преимущества (недостатки) двухстадийного метода диффузии.

27. В каких технологических средах проводят диффузионные процессы?

28. С какой целью диффузию проводят в окисляющей среде?

29. Дайте характеристику и приведите параметры процесса при легировании из твердого источника диффузии.

30. Дайте характеристику и приведите параметры процесса при легировании из жидкого источника диффузии

31. Дайте характеристику и приведите параметры процесса при легировании из газообразного источника диффузии.

32. Проведите сравнение между собой процессов диффузионного легирования из твердых, жидких и газообразных источников диффузии.

33. Приведите упрощенную схему механизма диффузионного легирования.

34. Перечислите основные задачи диффузионной технологии.

35. Дайте характеристику операциям и приведите рабочие температуры и время проведения 1-ой стадии диффузии.

36. Дайте характеристику операциям и приведите рабочие температуры и время проведения 2-ой стадии диффузии

37. С какой целью проводится моделирование процесса диффузионного легирования?

38. Какую цель преследует моделирование источника диффузии?

39. Какие (основные) конструктивно-технологические параметры позволяет оптимизировать модель источника диффузии?

40. Приведите характерные зависимости для источника примеси от изменений конструктивных параметров диффузионной системы.

41. Приведите характерные зависимости для источника примеси от изменений технологических параметров диффузионной системы.

42. Каких рекомендаций и почему следует придерживаться при осаждении источника диффузии?

43. Сформулируйте основные требования к диффузионному оборудованию.

44. Из каких основных материалов изготавливаются реакционные камеры диффузионных печей? Дайте необходимые пояснения.

45. С какой целью в диффузионных печах используются трубы из алунда? Назовите примерный состав его.

46. Какие явления, сопровождающие процесс диффузии, влияют на основные (какие) показатели диффузионного оборудования?

47. Назовите основные устройства и системы, входящие в диффузионно-окислительный комплекс.

48. Объясните устройство нагревательного модуля диффузионной электропечи.

49. Сколько секций имеет нагревательный элемент диффузионной электропечи? Каково назначение каждой из секций?

50. Каким образом может быть уменьшена тепловая инерция термического модуля диффузионной электропечи?

51. Каким образом осуществляется токоподвод к нагревательному элементу диффузионной электропечи?

52. Из какого материала изготавливается нагревательный элемент (НЭ) диффузионной электропечи? Проходит ли НЭ предварительную обработку (если ДА, то какую) при изготовлении нагревателя диффузионной электропечи?

53. Из каких условий выбирается шаг между витками нагревателя? Приведите необходимые объяснения?

54. Какими соображениями следует руководствоваться при выборе размеров крайних секции диффузионной электропечи?

55. Каков уровень рабочей температуры материала нагревателя, и каков характер распределения температуры по длине НЭ?

56. Объясните, каким образом в термическом модуле диффузионной электропечи размещаются регулирующие термопары? Почему?

57. Объясните устройство и работу системы автоматического регулирование температурой (САРТ) диффузионной электропечи.

58. Объясните назначение и устройство компенсатора холодных концов термопары, входящего в состав САРТ диффузионной электропечи.

59. Что понимается под кинетикой нагрева садки?

60. Объясните характер зависимостей, определяющих кинетику нагрева садки.

61. Каковы пути управления кинетикой нагрева садки ? Перечислите наиболее рациональные из них.

62. Какими обстоятельствами было вызвано введение системы автоматической загрузки-выгрузки садки в диффузионную электропечь?

63. Какие функции и операции выполняет автоматический загрузчик?

64. Каково назначение газораспределительной системы диффузионной электропечи?

65. Каковы основные направления в разработках диффузионно-окислительного оборудования и их перспективы?

66. Какими обстоятельствами было вызвано введение автоматичекой поточной линии диффузии (АПЛ-Д)?

67. Расскажите об устройстве , составе и работе АПЛ-Д.