
- •Перечень условных обозначений
- •Введение. Общие сведения и цели травления Общие сведения о процессе травления
- •Цели травления
- •Глава 1 Физико-химические свойства титана
- •Физические свойства титана
- •1.2 Химические свойства титана
- •Глава 2 Химическое травление. Травители
- •2.1 Травление поверхности металлов раствором щавелевой кислоты.
- •2.2 Травление поверхности металлов раствором фосфорной кислоты.
- •2.3 Другие кислотные смеси в травлении титана
- •2.4 Смесь фторида аммония, фосфорной кислоты и этиленгликоля в травлении
- •Глава 3. Электрохимическое травление.
- •3.1 Электрохимическое полирование.
- •3.2 Сравнительная характеристика процессов электрохимического и химического полирования.
- •3.3 Электрохимическое обезжиривание.
- •3.4 Установка для электрохимического травления
- •Глава 4. Плазменное травление
- •4.1 Развитие плазменного травления
- •4.2 Плазма: определения, способы получения, основные процессы
- •4.3 Основные стадии процессов сухого травления
- •4.4 Применение плазменного травления в наши дни
- •Заключение
- •Список использованной литературы
1.2 Химические свойства титана
При обычной температуре титан в компактном виде (т.е. в форме слитков, толстой проволоки и т.д.) на воздухе коррозионно-устойчив. Титан химически устойчив во многих агрессивных средах. В частности, титан устойчив против действия растворов сульфатов, хлоридов, морской воды. В НNO3 он пассивируются.
Это объясняется образованием на поверхности гонкой, но сплошной и плотной защитной пленки оксида TiO2. В порошкообразном состоянии металл пирофорный (пирофорность — способность твёрдого материала в мелкораздробленном состоянии к самовоспламенению на воздухе при отсутствии нагрева).
При нагревании пленка разрушается, и активность металлов заметно возрастает. Так, в атмосфере кислорода металл загорается лишь при температуре белого каления (1000 °С), превращаясь в порошок оксида ТiО2.
Реакции с азотом и водородом протекают примерно при тех же температурах, но гораздо медленнее, при этом образуются нитрил TiN и гидриды TiHx (х=1 - 4)
Ti + N2 →TiN
Ti + H2 → TiH4
Площадь поверхности металла существенно влияет на скорость реакций окисления: тонкие стружки титана ярко вспыхивают яри внесении в пламя, а очень мелкие порошки пирофорны и на воздухе самовоспламеняются.
Реакция с галогенами начинается при слабом нагревании и, как правило, сопровождаетея выделением значительного количества теплоты, при этом всегда образуются тетрагалогениды TiГ4. Лишь взаимодействие с йодом требует более высоких (200 °С) температур.
Металл имеет отрицательный стандартный электродный потенциал и должен выделять водород из волы поскольку Е°298 (Н+/H2) при рН 7 равен - 0,414 В. Однако образование защитного оксидного слоя кинетически тормозит реакцию:
Ti + 2H2О → ТiO2+ 2Н2
которая с заметной скоростью протекает лишь при высоких (более 800°С) температурах.
Титан при нагревании реагирует с соляной и разбавленной серной кислотами с выделением водорода и образованием солей титана (III) (Е°298(Ti3+/Ti0) = = -1,21 В):
2Ti + 6НС1→2TiCl3 + ЗН2
Титан при нагревании растворяется в соляной кислоте, образуя в восстановительной атмосфере аквакомплексы:
2Ti + 6H3O+ + 6Н2O = 2[Тi(H2O)6]3+ + ЗН2
Ti3+ + Зе = Ti, φ°298 = - 1,23 В
Мелкораздробленный Ti относительно легко растворяется во фтороводородной кислоте:
Ti + 6HF = H2[TiF6] + 2Н2
Взаимодействие с соляной кислотой протекает гораздо энергичнее, чем с серной кислотой такой же концентрации, что объясняется образованием растворимых хлоридных комплексов.
Титан растворяется также в концентрированной плавиковой кислоте с образованием зеленых растворов. Высказано предположение, что ионы Ti под действием фторид-ионов диспропорционируют:
2Ti3+ + 6F- = [TiF6] + Ti2+
а зеленая окраска обусловлена неустойчивыми аквакомплексами титана (II):
2Ti + 6HF = [TiF6]2- + Ti2+ + ЗН2
На воздухе раствор медленно окисляется, становясь сначала красно-бурым (Ti(III)), а затем обесцвечиваясь (Ti(IV)). Суммарная реакция, таким образом, имеет вид:
Ti + 6HF + O2 = H2[TiF6] + 2H2O
При взаимодействии с олеумом образуется сульфат титана(IV) и выделяется сернистый газ:
Ti + 4H2S2O7 = Ti(SO4)2 + 2SO2 + 4H2SO4
При нагревании порошок титана медленно растворяется в концентрированных расгворах и расплавах щелочей:
Ti + 2NaOH + Н2O = Na2TiO3 + 2Н2
Концентрированная HNO3 повышает коррозионную стойкость металлов, способствуя образованию защитной пленки.
При средних температурах (до 35 °С) титан стоек в растворах фосфорной кислоты концентрации до 30%. При 100 °С титан начинает корродировать в Н3PO4 3%-й концентрации.
Характер зависимости скорости растворения титана oт концентрации серной кислоты имеет сложный характер. Отмечается два максимума скорости растворения при концентрациях 40% и 75%. Исследователи связывают гакое явление с изменением физико-химическич свойств и злектропроволности в системе H2SO4 – Н2О.
Сухой газообразный хлор вызывает сильную коррозию титана, так что возникает опасноть воспламенения. При наличии в хлоре даже незначительных следов влаги порядка 0,005%, коррозия титана в хлоре прекращается.