- •Содержание
- •Первичные преобразователи механических величин
- •1.1 Общие сведения Классификация и характеристика механических величин. Все многообразие известных механических величин можно разбить на три большие группы:
- •Первичные преобразователи механических напряжений Первичные преобразователи механических напряжений
- •Тогда получим
- •Полупроводниковые проводники
- •При установке тчэ на деформационный преобразователь, например, на мембрану в датчике давления, резонансная частота определяется выражением
- •1.3 Первичные преобразователи механических усилий (ппму)
Тогда получим
;
( 1.6)
.
( 1.7)
Относительное изменение удельного сопротивления d/, являющееся функцией изменения объема, [1] можно записать в виде
,
( 1.8)
где р – коэффициент, зависящий от особенностей строения кристаллической
структуры проводника.
Тогда на основании можно получить чувствительность этого первичного преобразователе в виде:
(
1.9)
где m – относительное изменение , вызванное относительной деформацией
dl/l =1.
Для большинства металлов 0,3 в области упругих деформаций, а области пластических деформаций при постоянном объеме 0,5.
Следует заметить, что электрическое сопротивление зависит и от изменения температуры окружающей среды (см. раздел терморезистивные преобразователи температуры), т.к. удельное сопротивление металлов есть функция
,
(
1.10)
где n – число свободных электронов в единице объема; е – заряд электрона, а u – его подвижность, определяемая его скоростью в поле, имеющем напряженность Е = 1 В/см; обычно металлов мало 10-510-6 Ом/см, что объясняется высокой концентрацией электронов, не зависящей от температуры. При высоких температурах зависит от колебаний кристаллической решетки, т.е. определяется подвижностью электронов. U=f(T), концентрация примесей в металле. При понижении температуры до 30–40 К сопротивление металлов уменьшается почти линейно, т.е. (Т)=kT, а при температуре, стремящейся к Т = 0К, оно становится пропорциональной Т5.
Полупроводниковые проводники
(1/) = n-eu-+ n+eu+, (1.11)
где n-, n+ – число электронов и дырок в единице объема, u-, u+ – подвижность электронов и дырок.
,
(1.12)
где А – сопротивление полупроводника при температуре Т стремящейся к бесконечности; В – параметр, определяющий ширину запрещенной зоны полупроводникового материала (измеряется в единицах температуры).
Для проводниковых материалов характерным является выполнение условия:
(1+2)>m, (1.13)
а для полупроводниковых
(1+2)<m , ( 1.14)
причем коэффициент тензочувствительности у ТРП из полупроводниковых материалов SТЧЭ до 100…150, т.е. выше, чем у ТРП из проводниковых материаллов. Например, для манганина SТЧЭ = 0,47 – 0,5, а для железо-хром-алюми-ниевого сплава SТЧЭ = 2,8 – 2,9, для константана SТЧЭ = 1,9 – 2,1.
При установке проволочных тензорезистивных элементов (ТРЭ) на поверхности исследуемых деталей применяются специальные клеи типа БФ–2, БФ–4, а при повышенных температурах до 600 – 700С – Б–56, ВН–15.
Значение (l/l) в пределах упругих деформаций обычно не превышает (23)10-3, следовательно, при тензочувствительности, равной SТЧЭ=23 относительное изменение сопротивления R соответствует значению R=(57)10-3.
Относительное изменение сопротивления проволочного (или пленочный) ТРП определяется зависимостью [Осип ]
,
( 1.15)
где М, ТЧЭ – температурный коэффициент расширения соответственно материала подложки и тензочувствительного элемента.
отражающего Процесс измерительного преобразования, протекающий в ТРП, на основании выражения (1.15), можно структурно представить как показано на рис.1.
Рис.1 Структурная схема тензорезистивного преобразователя деформаций
(U0 – напряжение питания электроизмерительной схемы; Uп – напряжение питания усилителя и фильтра; U вых – выходной сигнал ТРП)
Рассмотрим основные источники погрешностей ТРП деформаций. Как следует из зависимости (1.15) и структурной схемы на рис.1 основными источниками погрешностей ТРП деформаций являются:
Приращение сопротивления за счет изменения температуры окружающей среды (аддитивная составляющая погрешности). Эта составляющая погрешности может достигать в некоторых случаях, например для ТЧЭ из константана, t = 10%.)
Приращение сопротивления за счет различия коэффициентов температурного расширения материала ТЗЭ и подложки.
Влияние электрического сопротивления изоляционного слоя между подложкой и ТЧЭ
,
(1.16)
где
– начальное сопротивление изоляции;
–
допустимая погрешность измерения,
относительно приращения сопротивления,
вызванная изменением сопротивления
изоляции
.
(1.17)
Зависимость коэффициента тензочувствительности SТЗЭ от температуры в основном определяется типом ТЗР и видом связки.
Влияние само разогрева ТЧЭ за счет измерительного тока. Для уменьшения влияния этого фактора питающее напряжение для ИС (измерительные мосты выбираем из условия)
,
(1.18)
где
–
допустимая мощность рассеивания ТЗЭ
при практическом отсутствии саморазогрева.
Часто переходят в этих целях к импульсному питанию:
,
(1.19)
где и Тп – соответственно длительность и период повторения импульсов питающего напряжения.
ТЧЭ обладают также поперечной чувствительностью, под которой понимают изменение сопротивления за счет деформаций систематического и случайного характера в направлении, ортогональных основному направлению измеряемой величины. Этот фактор приводит к результирующей погрешности в пределах (0,2 – 1)% от основной погрешности.
Изменение свойств материала ТЧЭ вследствие старения и остаточных деформаций. Влияние этих процессов как правило, невелико и приводит к малым погрешностям, которые редко учитываются в технике измерений деформаций. Для компенсирования температурной погрешности применяются как структурные, так и конструкторские методы.
При исследовании деформаций в элементах конструкций, работающих в условиях действия динамических нагрузок, возникают изменяющиеся во времени с достаточно большой для механических систем частотой напряжения, а следовательно и деформации . Эти высокочастотные деформации необходимо учитывать особенно в случае большой длины ТЧЭ (его базы), так как это приводит к возникновению динамической погрешности. Поэтому при разработке ТЗР механических напряжений , деформаций следует определять граничную частоту деформации, при которых динамическая погрешность не превысит заданной:
,
(1.20)
где
– скорость распространения звука в
материале ТЧЭ;
l – длина базы ТЧЭ.
