Содержание

Введение…………………………………………………………………………...

Глава 1. Термоионное осаждение……………….…………………..

1.1.Осаждение пленочных покрытий………………………..…………..

1.2.Основные типы систем термоионного осаждения………………….

Глава 2. Осаждение пленок методами катодного

распыления в плазме газового разряда

и ионным лучом…………………………………………………...…………

2.1.Принципы методов и конструктивные особенности……………….

2.2.Основные преимущества методов катодного распыления по

сравнению с термическим испарением ……………...……..………

Глава 3. Особенности формирования пленок

многокомпонентных материалов………………………………..

3.1.Распыление бинарных соединений содержащих

летучие компоненты……………………………………………….....

3.2.Распыление бинарных соединений не содержащих летучие

компоненты………………………………………...…………………

3.3.Особенности распыления многокомпонентных соединений

на примере железо-иттриевого граната ЖИГ)……………………...

3.4.Выводы……………………………………….......................................

Литература……………………………………………………………………

4

7

7

8

14

14

23

24

25

32

39

43

44