Ловушки для механических насосов

Существует 3 вида ловушек для механических насосов: механические, адсорбционные, ионные.

К ловушкам предъявляются следующие основные требования: максимальное защитное действие на заданном сроке службы и минимальное сопротивление основному потоку откачиваемого газа. В качестве дополнительных требований можно назвать возможность регенерации, надежность, простоту и технологичность конструкции, удобство эксплуатации.

Механические ловушки для объемных насосов представляют собой устройства, препятствующие прямому пролету паров рабочей жидкости из насоса в откачиваемый объем. Наиболее эффективно применение элементов из пористого стекла, стекловолокнистых материалов, пористых меди и нержавеющей стали.

Адсорбционные ловушки представляют собой пористые фильтры с добавленными адсорбционными материалами: активные угли, цеолиты, активная окись алюминия.

В ионных ловушках корпус, имеющий форму цилиндра, служит заземленным катодом для холодного разряда. Анодом является стержень, расположенный вдоль оси цилиндра. Разряд горит при напряжении на аноде ∼3 кВ и наличии осевого магнитного поля, создаваемого внешними магнитами. Электроны, эмиттируемые катодом, движутся по удлиненной траектории к аноду, ионизируя остаточный газ. Положительные ионы, бомбардирующие поверхность корпуса, разрушают поверхностную пленку масла. Это приводит к выделению водорода и полимеризации углеводородов в твердые вещества.

II. Порядок откачки вакуумных систем механическими насосами.

Для проведения технологического процесса напыления необходимо запустить вакуумную систему установки и создать в рабочей камере давление Р=2,7 ╳ 10^{- 5} мм.рт.ст.

Откачка воздуха из рабочей камеры до давления Р=2,7 ╳ 10^{- 5} мм.рт.ст. проводится в три этапа.

1 этап: Откачка воздуха из объема диффузионного паромасляного насоса механическим насосом до давления Р=2,7 ╳ 10^{- 2} мм.рт.ст.

2 этап: Откачка воздуха из рабочей камеры механическим насосом до давления Р=2,7 ╳ 10^{- 2} мм.рт.ст.

3 этап: Откачка воздуха из рабочей камеры диффузионным паромасляным насосом до давления Р=2,7 ╳ 10^{- 5} мм.рт.ст.

Первый этап откачки

Откачка воздуха из объема диффузионного паромасляного насоса до давления Р=2,7 ╳ 10 ^{- 2} мм.рт.ст. механическим насосом.

1. Включить механический насос.

2. Откачать в течении 10 секунд механическим насосом воздух из клапанной коробки.

3. Через 10 секунд после включения механического насоса, открыть форвакуумный клапан.

При открытии форвакуумного клапана соединяется механический насос с объёмом, диффузионного паромасляного насоса.

Начнется откачка воздуха из объема диффузионного паромасляного насоса до давления Р=2,7 ╳ 10 ^{- 2} мм. рт. ст.

4. Обеспечьте нагрев вакуумного масла в течении 40 минут, для этого засеките время с момента включения нагревателя диффузионного паромасляного насоса.

5. Закрыть форвакуумный клапан.

Второй этап откачки

Откачка воздуха из рабочей камеры до давления Р=2,7 ╳ 10^{- 2} мм.рт.ст. механическим насосом.

Приступать ко второму этапу откачки.

1. Открыть байпасный клапан.

При открытии байпасного клапана соединяется механический насос с объёмом рабочей камеры.

Начнется откачка воздуха из объема рабочей камеры до давления Р=2,7 ╳ 10 ^{- 2} мм. рт. ст.

2. Закрыть байпасный клапан.

3. Открыть форвакуумный клапан.