
- •ОглавлеНие
- •Исследование температурной зависимости электропроводности и вычисление ширины запрещенной зоны полупроводников Цель и содержание работы
- •Теоретическое введение
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •Определение концентрации и подвижности носителей заряда в полупроводниках по измерению эффекта холла Цель и содержание работы
- •Теоретическое введение
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •Определение температурной зависимости уровня ферми методом термоэдс и эффективной массы носителей заряда Цель и содержание работы
- •Теоретическое введение
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •Исследование поперечного магнитосопротивления в полупроводниках Цель работы
- •Теоретическое введение
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Контрольные вопросы
- •Определение диффузионной длины и времени жизни неравновесных носителей заряда в полупроводниках Цель и содержание работы
- •Теоретическое введение
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Методика измерений
- •Задание к работе
- •Методика эксперимента
- •Задание к работе
- •Контрольные вопросы
- •Исследование свойств кремниевых солнечных батарей Цель и содержание работы
- •Теоретическое введение
- •Методика эксперимента
- •Задание к работе
- •Исходные данные для расчетов
- •Контрольные вопросы
- •Основные физические постоянные
- •Некоторые физические параметры Ge и Si
- •Список литературы
- •Сборник лабораторных работ по физике полупроводников Описания лабораторных работ
Исследование температурной зависимости электропроводности и вычисление ширины запрещенной зоны полупроводников Цель и содержание работы
В лабораторной работе проводится измерение электропроводности полупроводника и исследование ее температурной зависимости. Используя график зависимости электропроводности от температуры необходимо определить ширину запрещенной зоны полупроводника. В работе измеряются сопротивление полупроводника электронным омметром и сигнал термодатчика, находящегося в тепловом контакте с полупроводником.
Теоретическое введение
Электропроводность – это наиболее хорошо исследованная физическая характеристика твердых веществ. Она вызывается различными носителями заряда: электронами, дырками, положительными и отрицательными ионами и т.п. Проводимостью называется коэффициент в законе Ома:
j = E. (1)
Конкретный вид коэффициента электропроводности зависит от природы рассматриваемого вещества и выбора модели его структуры. Так для простейшей классической модели металла выражение для j имеет вид
= e2n<>/m* = enn, (2)
где e и n – заряд и концентрация электронов соответственно, <> – среднее время свободного пробега носителей заряда, n – подвижность электронов. Величина удельной электропроводности металлов лежит в диапазоне от 6105 до 6107 Ом–1м–1. Электропроводность диэлектриков находится в интервале от 10–8 до 10–18 Ом–1 м–1. Для полупроводников находится в пределах от 106 до 10–8 Ом-1 м–1.
Формула (2), несмотря на свою простоту, может быть применена для расчета величины удельной электропроводности не только в металлах, но и в более сложном случае полупроводников. Чтобы найти зависимость электропроводности полупроводника от температуры, необходимо, прежде всего, определить концентрацию свободных носителей, способных участвовать в процессе проводимости. Электроны проводимости в полупроводниках, так же как и в металлах, рассматриваются как идеальный газ, который подчиняется статистике Ферми –Дирака.
Функция
распределения Ферми–Дирака
(3)
выражает вероятность того, что электрон находится в квантовом состоянии с энергией Е при температуре Т; k – постоянная Больцмана, ЕF – энергия Ферми, постоянная во всех точках системы, находящейся в равновесии.
Из формулы (3) следует, что при любой температуре, отличной от абсолютного нуля, вероятность заполнения уровня, энергия которого равна энергии Ферми (Е = ЕF) равна 1/2. Другими словами, уровень с такой энергией с одинаковой вероятностью либо заполнен электронами, либо пуст. Если в системе имеется много уровней, имеющих одну и ту же энергию, то половина этих уровней будет занята, а половина пуста. При Т = 0 К все уровни, расположенные ниже уровня Ферми, будут заполнены, а выше – пусты. При T > 0 уровни, расположенные ниже ЕF, будут заняты не полностью; уровни, расположенные выше ЕF, не полностью пусты, но всегда уровни с энергией Е = ЕF будут заполнены наполовину. Энергию ЕF определяют как энергию состояния, для которого вероятность быть занятым электроном равна 1/2.
Поскольку f(Е) есть вероятность заполнения уровней, то полную концентрацию носителей в полупроводнике можно выразить через величину плотности состояний:
, (4)
где g(E) ~ E1/2 плотность состояний (число состояний в единице объема в интервале энергий от E до E+ dE).
Плотность квантовых состояний имеет вид
.
(5)
Подставляя (3) и (5) в (4) и введя обозначения
и
,
(6)
получим концентрацию электронов в зоне проводимости:
,
(7)
где
(8)
называется эффективной плотностью состояний в зоне проводимости, а функция
(9)
представляет собой интеграл Ферми –Дирака.
Подобным же образом для валентной зоны, характеризующейся скалярной эффективной массой дырок mp, концентрация свободных дырок
(10)
где
–
вероятность того, что состояние с
энергией Е занято дыркой. В формуле
(10) обозначено:
;
;
Е – ширина запрещенной зоны. NV – эффективная плотность состояний в валентной зоне. Энергия отсчитывается от дна зоны проводимости. Условие электрической нейтральности в собственном полупроводнике требует, чтобы выполнялось равенство n = p = ni . Уровень химического потенциала (Ферми) определяется как корень уравнения электронейтральности:
(11)
Для невырожденного собственного полупроводника, когда величина ni мала по сравнению с NC и NV, интегралы Ферми могут быть заменены их приближенными значениями
(12)
или
.
(13)
Из (13) можно найти
.
(14)
Подставляя (14) в (12), получим
.
(15)
Соответственно электропроводность собственных полупроводников быстро растет с ростом температуры по закону
,
(16)
где 0 – коэффициент, слабо зависящий от температуры, явный вид которого легко находится из (2) и (3). Для собственного полупроводника:
.
(17)
С ростом температуры подвижности дырок и электронов слабо (по сравнению с экспонентой) уменьшаются и зависимость (Т) определяется только экспоненциальной зависимостью.
Рассмотрим теперь примесный электронный полупроводник с концентрацией донорной примеси Nd, расположенной на Еd ниже дна зоны проводимости. Поскольку Еd значительно меньше ширины запрещенной зоны, то при достаточно низких температурах электроны могут переходить в зону проводимости только с донорных уровней, и их концентрация в зоне проводимости:
,
(18)
где
и
;
.
(19)
В отсутствие вырождения при достаточно низких температурах, когда собственная проводимость пренебрежимо мала, положение уровня Ферми определяется выражением
,
(20)
из которого видно, что при Т = 0 К уровень Ферми расположен на Ed/2 ниже дна зоны проводимости.
Рассмотрим изменение положения уровня Ферми с температурой. На рис. 1 приведена зонная структура полупроводника, где обозначено EС и EV – дно зоны проводимости и потолок валентной зоны, Е – ширина запрещенной зоны, Ed и Еd – положение и глубина залегания донорной примеси в запрещенной зоне относительно EC . Слева от зонной диаграммы представлен вид функции Ферми для различных температур. Положение уровня Ферми соответствует значению f(E) = 1/2.
Справа
от зонной диаграммы представлены
зависимости плотности состояний g(E)
для зоны проводимости и валентной зоны.
Более высокая плотность состояний в
валентной зоне, которая определяется
величиной эффективной массы ~ (
)3/2,
имеет более плотную штриховку. Поскольку
в отсутствие перекрытия волновых функций
все примеси практически расположены
на одном уровне, то плотность состояний
для них будет иметь
вид размытой -функции.
При температуре T = 0 K
электронов в зоне проводимости нет. Все
примесные донорные уровни заполнены
электронами. Поэтому уровень Ферми
должен быть расположен в промежутке
между Ed и Eс.
Расчет дает значение EF =
Еd/2
(см. кривая 1 на рис. 1).
Рис. 1. Диаграмма изменения положения уровня Ферми при различных температурах (пояснения в тексте)
При повышении Т электроны переходят с донорных уровней в зону проводимости, занимая в ней уровни, расположенные вблизи дна зоны, а примесные уровни будут заполнены не полностью. Следовательно, переход от f(E) = 1 до f(E) = 0 будет осуществляться в более широком диапазоне энергий.
Увеличение температуры приведет к последовательному уширению области спада f(E) от 1 до 0. Величина этого интервала составляет приблизительно 2kТ.
Поскольку на примесных уровнях все электроны имеют примерно одну и ту же энергию Ed, а в зоне проводимости они последовательно заполняют все более высокие уровни, то размытие функции Ферми будет происходить в основном в область более высоких, чем Ed, энергий. Это означает, что при нагревании полупроводника уровень, для которого f(E) = 0,5, сдвинется вверх, ближе к зоне проводимости (кривая 2 на рис. 1).
С ростом энергии плотность состояний в зоне проводимости возрастает g(E) ~ E1/2, поэтому с дальнейшим повышением температуры уровень Ферми будет смещаться вверх все медленнее, а затем понижаться. При некоторой определенной температуре, когда половина примесных атомов будет занята, а половина свободна, уровень ферми будет совпадать с уровнем примесных атомов (кривая 3 на рис.1). При еще более высокой температуре, когда kT >> Ed, на донорных уровнях не останется электронов. Все донорные уровни будут свободны, а концентрация электронов в зоне проводимости будет равна концентрации доноров Nd. В этом случае уровень Ферми опустится ниже примесных уровней, а концентрация электронов не будет зависеть от температуры до тех пор, пока тепловая энергия не станет сравнима с шириной запрещенной зоны kT Eg. При kT Eg начинается собственная проводимость, при которой концентрация электронов примерно равна концентрации дырок. Интервал энергий, в котором f(E) меняется от 1 до 0, простирается от области, лежащей внутри валентной зоны, до области, лежащей внутри зоны проводимости. Этому случаю соответствует кривая 4 на рис. 1. Центр интервала теперь будет расположен в середине запрещенной зоны, если плотности состояний в зоне проводимости и валентной зоне равны. Но поскольку плотность состояний в валентной зоне выше (больше эффективная масса дырок), а число состояний одинаково, то хвост распределения функции Ферми будет смещен несколько выше в сторону зоны проводимости. Поэтому уровень Ферми будет находиться выше середины запрещенной зоны.
В донорном полупроводнике концентрация электронов также будет изменяться по экспоненциальному закону
,
(21)
а электропроводность полупроводника, легированного донорами, описывается выражением
= 0 ехр (– E/2kT)+ d ехр (– Ed/2kT), (22)
где Ed – энергетический барьер между энергетическим уровнем донорной примеси и дном зоны проводимости. Значения d, так же как и 0, слабо зависят от температуры. Существенно, что Ed и E являются параметрами вещества, определяющими при данной температуре вклад в проводимость того или иного слагаемого в формуле (22). Обычно Ed << E, поэтому введение примесей резко изменяет характер электропроводности полупроводника. Если Ed << E, то при E << kТ электропроводность полупроводника определяется донорными примесями. Такой тип проводимости носит название n-типа. В противном случае, когда Eр << E, электропроводность определяется в основном дырками. Такой тип проводимости называется дырочным или проводимостью р-типа. Cобственная электропроводность полупроводника реализуется в случае, когда выполняется условие E kТ.
Т
Рис.
2. Зависимость величины ln()
для примесного полупроводника от
обратной
температуры
1-я – область примесной проводимости (низкие температуры). В ней носители заряда образуются примесными атомами: в электронном полупроводнике – донорами, а в дырочном – акцепторами;
2-я – область истощения примесей. В этом температурном интервале концентрация носителей заряда от Т не зависит, так как все примеси уже истощены, а переходы электронов из валентной зоны в зону проводимости еще не начались из-за недостаточно высокой энергии. Иногда наблюдается уменьшение проводимости, обусловленное уменьшением подвижности с ростом температуры;
3-я – область собственной проводимости. В этой области концентрации электронов и дырок практически равны.
Электропроводность собственного полупроводника выражается формулой (17):
.
Из температурной зависимости электропроводности можно определить ширину запрещенной зоны полупроводника. Очевидно, если уравнение (16) построить графически в координатах ln от Т–1,
,
(23)
то ширина запрещенной зоны может быть определена из наклона этой линейной зависимости.
,
или
.
(24)
Расчет ширины запрещенной зоны по формуле (24) предполагает, что сама величина E от температуры не зависит. В действительности зависимость E от Т имеется, но она достаточно слабая и ею можно пренебречь. Кроме того, сомножитель (NcNv)1/2 Т 3/2, а подвижности n и р для Ge и Si при температурах проведения эксперимента пропорциональны Т 3/2.