3. Приборы, оборудование, учебные пособия

1. Образцы диффузионных паромасляных насосов.

2. Образцы механических вакуумных насосов с масляным уплотнением.

3. Вакуумная установка.

4. Учебные плакаты.

5. Технические описания (паспорта) насосов.

4. Порядок выполнения работы

1. Путем внешнего осмотра образцов насосов ознакомиться с их конструкцией. Произвести разборку паромасляного диффузионного на­соса. Собрать насос. При осмотре форвакуумного насоса обратить внимание на расположение впускного и выхлопного патрубков, маслоуказателя, пробок для залива и слива масла (применяется вакуумное масло марки ВМ-4), а также натекателя газобалластного устройства.

2. По паспортам вакуумных насосов определить их основные характеристики. Записать эти характеристики в тетрадь. Начертить за­висимость быстроты действия насосов S_н от давления на входе Р_н.

3. Под наблюдением преподавателя осмотреть вакуумную установку. Ознакомиться с компоновкой основных частей этой установки: вакуумной камеры, диффузионного насоса, ловушки, форвакуумного насоса, манометрических ламп, вакуумпроводов, клапанов и др.

4. Пользуясь таблицей условных обозначений, нарисовать прин­ципиальную схему вакуумной установки.

5. В присутствии преподавателя (!) включить форвакуумный насос, произвести откачку камеры до давления Р5-10 Па. Включить печь диффузионного насоса, ввести его в режим и откачать камеру до давления

Р  10^-2 Па. Произвести переключения, необходимые для отсоединения диффузионного насоса от системы. Разгерметизировать камеру. Повторно откачать камеру до высокого вакуума.

5. Схема отчета

1. Название и цель работы, основные определения.

2. Принципиальная схема вакуумной установки.

3. Порядок включения насосов при вводе установки в рабочий режим и выводе из режима, а также при соединении вакуумной камеры с атмосферой.

4. Схемы диффузионного и механического насосов.

5. Зависимости S_н от Р_н для диффузионного и механического насосов.

6. Контрольные вопросы (раздел 6).

7. Заключение.

6. Контрольные вопросы

1. Назовите основные параметры любого вакуумного насоса. Покажите эти параметры на зависимостях S_н - Р_н для насосов, которые вы изучили в данной работе.

2. Объясните смысл термина "механические вакуумные насосы с масля­ным уплотнением". Какие рабочие жидкости используются в этих насосах?

3. Каковы механизмы откачки газа паровой струей?

4. Какие рабочие жидкости применяются в пароструйных насосах?

5. Каково назначение вакуумных ловушек?

6. Каковы назначения отдельных элементов вакуумной установки?

7. Обоснуйте и покажите по принципиальной схеме порядок переключений при откачке камеры форвакуумным насосом, а затем - диффузионным насосом. Порядок переключений при соединении вакуумной камеры с атмосферой.

8. Почему недопустима разгерметизация диффузионного насоса, введенного в режим?

9. Для чего применяются лабиринтные кольца в паромасляных насосах? Нужны ли они в парортутных насосах или насосах, использующих синтетические масла?

10. Почему необходимо разгерметизировать вакуумпровод, через который к системе подсоединяется форвакуумный насос, после его остановки?

Список использованных источников

1. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1990. - 320 с.: ил.

2. Вакуумная техника: Справочник /под общ. ред. Фролова Е.С., Минайчева В.Е. -М.: Машиностроение, 1985. - 360 с., ил.

1. Минаков В.И., Коган М.З. Производство тонкопленочных микросхем - Л. "Энергия",1973.- 176 с., ил.