2.3.2. Соединения

Отдельные элементы вакуумной установки соединяются между собой посредством неразъемных и разъемных соединений. Неразъемные соединения осуществляются при помощи сварки или пайки. Например, таким образом соединяются корпус смотрового окна со стенкой ва­куумной камеры, отдельные части вакуумного клапана и др. детали установки - см. рис. 1.

В разъемных соединениях непрогреваемых установок в качестве уплотнительных элементов используется вакуумная резина. Студенты знакомятся с конструкциями таких уплотнений по учебному плакату и рис. 1. В установке применяются резиновые уплотнения, сконструированные по принципу "зуб - прокладка в канавке" или "плоскость - прокладка в канавке". В клапане и манипуляторах применяются уплотнения несколько иной конструкции (п.2.3.4).

2.3.3. Вакуумные трубопроводы

Откачка вакуумной камеры проводится через вакуумпровод, сконструированный как единое целое с вакуумным клапаном (рис 1.), который отсоединяет диффузионный насос от камеры. Кроме того, со стороны форвакуумного (механического) насоса откачка осуществляется через вакуумпровод - шланги из толсто­стенной трубчатой вакуумной резины. На некоторых участках этих вакуумпроводов откачка проводится через латунные (или медные) трубки диаметром 20 мм.

2.3.4. Вакуумные клапаны

Изучаемая установка имеет 1 высоковакуумный клапан и 2 кла­пана на вакуумпроводах среднего (низкого) вакуума.

Высоковакуумный клапан по компоновке является угловым, т.е. осевые линии вакуумпроводов на этом участке пересекаются под углом 90° (рис. 1). Уплотнительным элементом клапана является кольцо из вакуумной резины, смонтированное на тарелке клапана. Тарелка перемещается при помощи штока 16, который может вращаться и перемещаться возвратно-поступательно. Герметизация штока обеспечи­вается резиновыми уплотнениями.

Клапаны на форвакуумных участках вакуумпроводов очень просты по устройству - они являются зажимами, которые деформируют вакуумные шланги и тем самым перекрывают поток откачиваемого газа. На тройнике 5 (рис. 1) имеется натекатель для напуска воздуха в систему.

2.3.5. Вакуумная камера

Вакуумная камера образована цилиндрическим колпаком 1 и плитой 3 (рис.1). Внутри камеры смонтированы приспособления для получения пленок путем испарения и конденсации веществ. Камера снабжена манипуляторами 2 для ввода вращатель­ного и поступательного движений внутрь откачиваемого объема. Уплотнение штоков манипуляторов обеспечиваются резиновыми кольцами аналогично тому, как герметизируется шток высоковакуумного клапана. На камере смонтированы электрические вводы низкого напряжения 13 (рис.1), герметизируемые резиновыми, прокладками. Электри­ческая изоляция обеспечивается слюдяными (или фторопластовыми) прокладками. Внутри камеры установлены термопары для измерения темпе­ратуры. Термопары подсоединены к специальным измерительным вводам, позволяющим снимать сигналы с термопар и подавать их на милливольтметр, установленный вне камеры. Для наблюдения за процессами, проводимыми в камере, служат смотровые окна 12 (рис.1). Гер­метизация стекол осуществляется резиновыми прокладками (рис.6).