Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Технология микросхем.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.04.2025
Размер:
54.72 Mб
Скачать

Основные понятия и определения

Технология (от греч. «техно» - искусство, умение, мастерство, «логос» - наука), т.е. технология это наука об умении что-либо делать.

В производстве радиоэлектронных средств (РЭС) термин технология применяется для обозначения методов, способов и приемов обработки исходных материалов и полуфабрикатов, используемых для изготовления изделий.

Термин технология обозначает также научную дисциплину, которая занимается выявлением сущностей и закономерностей различных явлений с целью внедрения в производство новых более эффективных технологических процессов.

Технологией называется также описание процессов, состоящее из технологических карт, инструкций и т.д.

Любое предприятие выпускающее готовую продукцию характеризуется производственным процессом – это совокупность действий, в результате которых поступающее на предприятие сырье, материалы, полуфабрикаты превращаются в готовую продукцию.

Он включает в себя не только действия, связанные с обработкой деталей и сборку из них готовых изделий. Производственный процесс включает и подготовку производства и материально-техническое снабжение предприятия и ремонт оборудования и внутризаводской транспорт, энергетику и т.д.

Технологический процесс – в соответствии с ГОСТом 3.1109-73 – это часть производственного процесса, содержащая действия по изменению и последующему определению состояния предмета производства.

Построение технологического процесса предприятия, его оснащенность определяется количеством выпускаемых изделий.

В зависимости от количества выпускаемых изделий различают единичное, серийное и массовое производство.

При единичном (индивидуальном) производстве изделия выпускаются в единичных экземплярах, например уникальная радиолокационная установка для спутника. В этом случае применяют специальное оборудование и различные инструменты общего назначения. Квалификация рабочих должна быть высокой.

В серийном производстве изготовление изделий ведут чередующимися партиями. Используется оборудование специального назначения, приспособления, рабочие средней квалификации.

Массовое производство характеризуется узкой специализацией и детальной разработкой технологических процессов, применяется поточный метод, рабочие низкой квалификации.

Технологическая операция – это законченная часть технологического процесса, выполняемая на одном рабочем месте.

Технологическая операция – это основная составная часть технологического процесса изготовления изделия. В процессе выполнения технологических операций происходит качественное изменение обрабатываемых объектов, например, полупроводниковый слиток превращается в пластины; формы пластин приобретают необходимые размеры и т.д.

В технологическом процессе операции могут быть последовательными или параллельными. В зависимости от обрабатываемого объекта различают основные и вспомогательные технологические операции.

Технологические операции, выполняемые над объектами, которые при завершении технологического процесса становятся готовым изделием, называются основными (например, изготовление печатной платы).

Вспомогательные операции выполняются над вспомогательными объектами (например, изготовление шаблона для проводников платы, изготовление травителей). Следует отметить, что вспомогательные операции являются неотъемлемой частью технологического процесса и от качества их выполнения в не меньшей степени, чем от качества выполнения основных операций зависит качество готовых изделий.

Эффективным средством повышения качества готовых изделий является контроль после выполнения технологических операций. По этой причине в производственный процесс вводят контрольные операции. Их количество определяется типом и сложностью изделий.

Технологическая операция состоит из технологических переходов. Технологический переход – это законченная часть технологической операции, выполняемая одним инструментом и связанная с обработкой одной поверхности, это также часть операции, выполняемая на одном технологическом режиме.

Технологическая документация

Основными документами при разработке технологического процесса являются технологические карты. В картах указываются структура технологического процесса и его содержание. В производстве РЭС используют, в основном, такие карты как ведомость материалов, маршрутные, операционно-технологические.

Маршрутные карты определяют последовательность прохождения обрабатываемой единицы (детали, прибора, функционального узла и т.д.) по рабочим участкам и цехам.

Операционно-технологические карты (или просто операционные) разрабатываются отдельно на каждую операцию. Они содержат перечень всех переходов с подробным описанием данных о режимах, о методике контроля, измерения и т.д.

Кроме карт используются также технологические инструкции, дополняющие основные технологические карты. В технологических инструкциях указываются технологические режимы, физическое и химическое обоснование процессов. Излагается последовательность настройки, регулировки и испытаний РЭС.

Соблюдение технологической дисциплины является основным законом производства и является залогом выпуска годных изделий.

Технологический метод

Одну и ту же технологическую задачу можно решить, используя разные методы. Например, для изготовления печатной платы можно использовать субтрактивный или аддитивный методы, для легирования полупроводниковой пластины можно использовать диффузию, эпитаксию или ионное внедрение и т.д.

Разные методы характеризуются определенной сущностью происходящих при обработке явлений и совокупностью рабочих приемов. Технологические методы классифицируются по разным признакам.

В соответствии с разделением производства на технологические участки например, различают такие методы обработки как химические, термические, фотолитографические, сборки, герметизации и т.д.

В соответствии с назначением различают методы входного и выходного контроля, резки, шлифовки, травления, сушки, получения тонких или толстых пленок и т.д.

Различают также групповые и индивидуальные методы обработки. При групповых методах одновременной обработке в одинаковых технологических условиях подвергается не один образец, а целая партия. При такой обработке уменьшается разброс параметров от образца к образцу и увеличивается производительность, снижается себестоимость и т.д.