36. Элементное картирование в схпээ

Изображение с энергетической фильтрацией элемента получают путем выбора электронов таким образом, чтобы энергоселектирующая щель спектрометра была установлена на пропускание электронов с конкретным значением потери энергии. Поскольку сигнал отданного элемента в спектре накладывается на большой фон, то энергетически-фильтрованное изображение является суперпозицией изображения в пике данного элемента и фона. Поэтому для получения чистого изображения распределения данного элемента из него необходимо вычесть изображение фона. Вычитание фона в процессе энергетической фильтрации начали проводить достаточно давно. В настоящее время широко применяются два метода, в которых используется обработка данных в персональных компьютерах – двух- и трехоконный методы.

37. Особенности метода энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (эдра)

В отличие от метода спектроскопии характеристических потерь энергии электронов, несмотря на определенные попытки добиться улучшения разрешения энергетического разрешения метода СХПЭЭ, в этом направлении не было достигнуто существенных успехов, которые были бы внедрены в практику метода ЭДРА и его применения для решения различных аналитических задач. До сих пор этот метод является наиболее стандартным и надежным методом в области аналитической электронной микроскопии и применяется достаточно широко.

Эмиссия рентгеновского излучения – явление, обусловленное возбуждением внутренних оболочек падающими электронами, то есть, когда электрон с внутренней оболочки переходит на более высокий энергетический уровень, вакансия на внутренней оболочке заполняется электроном с более высокого энергетического уровня, что приводит к эмиссии характеристического рентгеновского излучения с энергией, равной разности энергии этих двух энергетических уровней.

Рентгеновские характеристические фотоны обозначаются такими символами, как Кα₁, Кα₂ и т.п. Символ «К» обозначает рентгеновский фотон, излучаемый при переходе электрона с внешней оболочки на К-оболочку.

Греческие буквы и числа (например, α₁ и α₂) обозначают конкретные фотоны, образующиеся за счет перехода, соответствующего конкретному характеристическому излучению.

Поскольку характеристическое рентгеновское излучение имеет конкретную энергию, соответствующую каждому элементу, то, измеряя энергию пика излучения, можно проводит идентификацию элементов. При этом, измеряя интегральную интенсивность пика, можно определить количественное содержание данных элементов в веществе. Необходимо отметить, что когда атом с вакансией переходит из возбужденного в основное состояние, то вместо рентгеновских характеристических фотонов может излучаться Оже-электрон. Вероятность эмиссии характеристического рентгеновского излучения возрастает с увеличением атомного номера, в то время как, напротив, вероятность эмиссии Оже-электронов – уменьшается. Таким образом, метод ЭДРА наиболее полезен для анализа тяжелых элементов, особенно когда концентрация элемента является низкой.