
- •Передмова “Речовина народжується з вакуума завдяки
- •Лекція перша головні параметри та опис стану газів
- •1.1. Поняття тиску і температури
- •1. 2. Електричні методи вимірювання температури
- •1. 2. 1 Метод електричного опору
- •1. 2. 2. Термопарний метод
- •1. 3. Поняття “газ” і “пара”
- •1. 4. Закони ідеальних газів
- •1.4.1. Закон Бойля–Маріотта
- •1.4.2. Закон Гей–Люссака
- •1.4.3. Закон Шарля
- •1.4.4. Об’єднаний газовий закон Менделеєва–Клапейрона
- •1.4.5. Закон Авогадро
- •1.4.6. Закон Дальтона
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція друга молекулярно – кінетична теорія газів
- •2.1. Елементи молекулярно – кінетичної теорії газів. Основне рівняння молекулярно – кінетичної теорії
- •2.2. Рівняння Больцмана
- •2.3. Дослід Кантора
- •2.4. Барометрична формула
- •2.5. Максвеллівський розподіл швидкостей молекул газу
- •2.5.1. Швидкості молекул газу
- •Запитання для самоперевірки
- •3. 2. Середня довжина вільного пробігу молекул
- •Ефузія. Закон Грехема
- •Термічна ефузія
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція четверта явища переносу в газах
- •4.1. Теплопровідність газів. Закон Фур’є
- •4.2. Дифузія в газах. Закон Фіка – основний закон дифузії
- •Коефіцієнт в’язкості
- •Між коефіцієнтом в’язкості і коефіцієнтом теплопровідності існує співвідношення
- •Запитання для самоперевірки
- •Течія газу через вакуумні магістралі
- •5.1. Число Кнудсена
- •5. 2. Ступені вакууму
- •Вважається, що
- •5.3. Режими течії газів. В’язкісний режим
- •5.4. Молекулярний режим
- •5.5. Порівняння двох режимів течії газу
- •5.6. Перепускна властивість вакуумпроводів
- •5.6.1. Провідність вакуумпроводів (в’язкісний режим)
- •5.6.2. Провідність вакуумпроводів (молекулярний режим)
- •5.6.3. Провідність вакуумпроводів (в’язкістно - молекулярний режим)
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція шоста основні визначення фізико-хімічних явищ при низьких тисках оточуючих газів
- •6.1. Визначення переходів між фізичними станами речовини. Тиск насиченої пари
- •6.2. Швидкість випарювання або сублімації речовини
- •6.3. Закономірності насиченої пари
- •6.4. Особливості конденсації
- •6.4.1. Принцип холодної стінки
- •6.4.2. Використання явищ випарювання і конденсаціі у вакуумній техніці. Напилення тонких плівок твердої речовини
- •6.4.3. Дистиляція у вакуумі
- •6.4.4. Дифузійні насоси
- •6.4.5. Лампи розжарювання
- •6.4.6. Відкачка електровакуумних приладів
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція сьома і восьма хімічні явища у вакуумі
- •7.3.2. Другий наслідок (вплив зміни тиску)
- •7.3.3. Використання у джерелах світла. Кругова реакція нагрітого вольфраму
- •7.3.3.1. Дисоціація азидів лугоземельних металів
- •Сорбційні явища
- •8.1. Сорбція і її види
- •8.1.1. Фізична адсорбція і її головні закономірності
- •8.1.1.1. Приклади фізичної адсорбції
- •8.1.2. Хімічна адсорбція
- •8.1.3. Абсорбція газів металами
- •8.2. Дифузія газів через метали
- •8.3. Поглинання газів при електричному розряді
- •8.4. Закони газовиділення металами
- •8.5. Газопоглиначі
- •8.5.1. Газопоглиначі, що випарюються
- •8.5.2. Газопоглиначі, що не випарюються
- •8.6. Знегаження скла і металів
- •Запитання для самоперевірки
- •Теоретичні основи процесу відкачки
- •9.1. Процес створення вакууму і головні параметри вакуумних систем
- •9.1.1. Швидкодія насоса. Швидкодія відкачки об’єкта
- •9.1.2. Потік газу
- •9.2. Головне рівняння вакуумної техніки
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція десята техніка отримання вакууму вакуумні насоси
- •10.1. Головні параметри вакуумних насосів
- •10.2. Розрахунок швидкодії вакуумного насоса
- •Експериментальне визначення швидкодії насоса. Метод постійного об’єму
- •10.4. Метод постійного тиску
- •10.5. Класифікація вакуумних насосів
- •10.5.1. Насоси, що працюють на основі закону Бойля-Маріотта. Поршневий насос
- •10.5.2. Крапельний ртутний насос
- •10.5.3. Обертовий ртутний насос Геде
- •10.5.4. Пластинчато-роторний насос
- •10.5.5. Параметри пластинчато-роторних насосів
- •10.5.6. Пластинчато-статорний насос
- •10.5.7. Золотникові насоси
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція одинадцята обертові насоси (продовження)
- •11. 1. Масло для обертових насосів
- •11. 2. Вказівки при роботі з обертовими масляними насосами. Розміщення
- •11. 3. Запуск насоса
- •11. 4. Вимикання обертового насоса
- •11. 5. Обертові газобаластні насоси
- •11. 6. Багатопластинчасті насоси
- •11. 7. Двороторний насос Рутса
- •11. 8. Молекулярний обертовий насос
- •11. 9. Молекулярний насос Гольвека
- •11. 10. Насос Зігбана
- •11.12. Переваги та недоліки механічніх молекулярних насосів Переваги:
- •Недоліки:
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція дванадцята пароструминні насоси
- •12. 1. Пароструминний насос Геде
- •12. 2. Дифузійно-конденсаційний насос Ленгмюра
- •12. 3. Парортутні дифузійні насоси
- •12. 4. Металеві парортутні дифузійні насоси
- •Дійсно, з рівняння Бернуллі випливає, що
- •12. 7. Переваги й недоліки парортутних насосів
- •12. 8. 1. Робочі рідини для паромасляних насосів
- •12. 9. Металевий розгінний паромасляний насос
- •12. 10. Зауваження до роботи з пароструминними насосами
- •12. 11. Запуск і зупинка пароструминних насосів
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція тринадцята насоси високого вакууму
- •13. 1. Іонні насоси
- •13. 2. Металеві іонні насоси
- •13. 3. Скляний іонно-сорбційний насос
- •13. 4. Магніторозрядний іонно-сорбційний насос
- •5. Кріогенні адсорбційні насоси
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція чотирнадцята вимірювання низьких тисків
- •14.1. Класифікація манометрів
- •14. 2. Деформаційні манометри
- •14. 3. Рідинні манометри
- •14.4.1. Методи градуювання манометра Мак-Леода
- •Запитання для самоперевірки
- •Теплові манометричні перетворювачі
- •15. 1. Манометр опору
- •15. 2. Термопарний манометричний перетворювач лт - 2
- •15. 3. Іонізаційні манометричні перетворювачі
- •15. 4. Іонізаційний манометр Байярда – Альперта
- •15. 5. Радіоактивний манометр ( альфатрон )
- •15. 6. Груба оцінка вакууму
- •Запитання для самоперевірки
- •Лекція шістнадцята вимірювання парціальних тисків
- •16. 2. Омегатрон
- •16. 3. Тропатрон
- •17. 2. Типові вакуумні системи
- •17. 3. Розрахунок тривалості відкачки вакуумної системи
- •Запитання для самоперевірки
- •Література
- •61002 , Харків, хнамг, вул. Революціі , 12
- •61002, Харків, вул.Революції, 12
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ
ХАРКІВСЬКА НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ МІСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА
Є.В. ШЕПІЛКО
КОНСПЕКТ ЛЕКЦІЙ
З КУРСУ “ ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНІ УСТАНОВКИ
ТА ПРИСТРОЇ. ВАКУУМНА ТЕХНІКА”
(для студентів 3 курсу денної форми навчання
спец.7.090605 “Світлотехніка і джерела світла”)
ХАРКІВ - ХНАМГ- 2005
Конспект лекцій з курсу “Електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка” (для студентів денної форми навчання спеціальності “Світлотехніка і джерела світла”, спеціалізації 7.090606). Авт. Є.В.Шепілко. - Харків: ХНАМГ, 2005. - 122 с.
Автор: Є.В. Шепілко
Рецензент: В.Я. Колот
Рекомендовано кафедрою світлотехніки та джерел світла,
протокол № 1 від 2 .10. 2004 р.
Передмова “Речовина народжується з вакуума завдяки
новому радіоактивному процесу …”
П. А. Дірак
“Фізичний вакуум – фундамент нашого світу,
це ніщо, що породжує все. ”
Д. фіз.-мат. наук Богдан Гнатик
Вакуумна техніка є важливою спеціальною дисципліною в технічних навчальних закладах і її вивчення без систематичного курсу буде пов’язано з певними труднощами.
Головна мета цього конспекта – допомогти студентам у вивченні курсу “Вакуумна техніка” і в отриманні навичок для виконання різних практично необхідних розрахунків.
Слово “вакуум” у перекладі з латинської означає “пустота” і це дійсно справедливо у світлі нових досліджень і теорій. Але для розуміння питань дисципліни використовують визначення, що вакуумумом називають стан газу з тиском нижче атмосферного. Ясно, що таких станів газу може бути багато, тому умовно вакуум поділяють на такі ступені, як низький, середній, високий і надвисокий. Оскільки вакуум це – стан газу, то необхідно знати закони, за яким можуть змінюватися стани газу.
У дисципліні “Вакуумна техніка” вивчаються техніка отримання і вимірювання вакууму, будова і розрахунок елементів та обладнання, з яких складаються вакуумні системи. Без використання вакуумної техніки неможливі як створення сучасних нових технологій, так і розвиток науково-технічного прогресу.
Для полегшення вивчення курсу наведений матеріал розміщений у послідовності зростання складності.
Лекція перша головні параметри та опис стану газів
1.1. Поняття тиску і температури
Будь-який стан газу характеризують в основному трьома параметрами: тиском, температурою і об’ємом. Зміна будь-якого з цих параметрів відповідає новому іншому станові газу.
З механіки відомо, що тиском називають відношення сили, яка діє перпендикулярно до поверхні, до значення площі цієї поверхі:
,
(1.1)
Тобто
це сила, яка перпендикулярно діє на
одиницю площі і вимірюється в одиницях,
що називаються “паскаль” [Па
= н/м
].
Але у вакуумній техніці більше
використовують одиницю “Торр”,
яка значно менша одного паскаля (1
Торр
= 1 мм.рт.ст.
=133 Па).
Поняття про температуру ми розуміємо інтуїтивно, відчуваючи різницю між гарячим і холодним тілом, а також знаємо, що при нагріванні тіло може змінювати свої фізичні властивості, наприклад, змінюються розмір, густина, оптичні якості і т.п..
Д
Рис. 1.1
С,
назвали температурною шкалою за Цельсієм.
Оскільки зниження температури на один
градус зменшує тиск газу на 1/273
частину від значення при 0
,
то очевидно, що нижче ніж -273
С
температура газу знизитися не може і
цю температуру назвали абсолютним нулем
за Цельсієм. Якщо відлік нуля вести від
-273
,
то таку шкалу називають абсолютною
температурною шкалою і відстань між
сусідніми поділками називають градусом
Кельвіна (
К).
Для відрізнення температуру за Цельсієм
позначають малою буквою t,
а за Кельвіном –
T. Ясно, що
T
К
= t
С
+ 273.