Создание нового макроса
1. Для создания нового макроса в меню File выберите команду New macro.
В текущем окне станет активной закладка Variables & Macros, в дерево макросов добавляется новая запись.
Измените имя нового макроса и нажмите Enter. Имя нового макроса появится также в столбце Local на панели Library view.
Замечание: Чтобы удалить пользовательский макрос выберите в Library view имя этого макроса и выполните команду Delete в меню Edit.
Добавление аргументов
Чтобы добавить аргумент в новый макрос:
Выберите макрос на панели Library view или Variables & Macros.
Активируйте окно аргументов щелчком мыши на закладке аргументов.
В меню Edit выполните команду insert. При этом новая строка добавится к списку аргументов.
Введите имя аргумента и нажмите Enter.
Измените значение нового аргумента, открыв окно Set Actual Argument двойным щелчком мыши на имени аргумента и заполнив нужные графы.
Добавление шагов процесса к макросу
Чтобы добавить новые шаги процесса к макросу:
Правой клавишей мыши кликните на имени макроса в Library view и выберите Copy в выпадающем меню.
На закладке Variables & Macros правой клавишей выберите имя пользовательского макроса и нажмите Paste. Макрос, выбранный на панели Library view, скопировался и появился в дереве макросов внутри пользовательского макроса.
Вставка макросов в процесс
Чтобы включить пользовательский макрос в текущий процесс:
Выберите имя пользовательского макроса на панели Library view, щелкните правой кнопкой мыши и выберите команду Copy в выпадающем меню.
На вкладке Flow выберите макрос, после которого надо вставить новый процесс, щелкните правой кнопкой мыши и выполните команду Paste.
Лекция 5. Программный пакет Sentaurus TCAD. Модули Inspect и Tecplot.
Inspect
Inspect – это инструмент Sentaurus TCAD, предназначенный для построения и обработки двухкоординатных графиков, таких как одномерные профили легирования или характеристики полупроводниковых приборов в установившемся режиме (например, ВАХ). Собственный язык для написания скриптов и библиотека математических функций позволяет пользователю обрабатывать данные, получаемые из анализа кривых, а также извлекать данные из результатов моделирования и выполнять с ними некоторые операции. Inspect позволяет находить, например, значения глубины залегания p-n переходов, порогового напряжения, токов насыщения из соответствующих кривых. С помощью математических функций из собственной библиотеки можно проводить такие операции над кривыми, как дифференцирование, интегрирование или нахождение значений в максимуме (минимуме).
Для запуска Inspect необходимо набрать в командной строке Терминала команду
> inspect
При этом Inspect принимает активную директорию в качестве своей рабочей директории. Inspect также может запускаться с помощью Sentaurus Workbench или Tecplot. При запуске открывается основное окно Inspect (Рис. 1).
Рис. 1. Графический интерфейс Inspect.
Основное окно Inspect содержит несколько компонентов:
- строки меню и инструментов;
- область построения графиков, которая находится справа;
- левая часть окна содержит две области: область данных - Datasets и область кривых - Curves;
- в области Datasets отображаются имена загруженных файлов данных и входящих в них компонентов. Кнопки To X Axis, To Left Y Axis и To Right Axis, расположенные ниже области Datasets, используются для привязки данных к соответствующим осям координат;
- в области Curves отображаются наименования построенных кривых. Ниже этой области расположены кнопки New, Edit и Delete. Кнопка New используется для создания новых кривых с помощью библиотеки формул, кнопка Edit применяется для изменения графического представления кривых, с помощью кнопки Delete можно удалить выделенную кривую.
- в строке состояния внизу окна отображается информация о текущей сессии Inspect и координаты курсора в рабочем окне.
Для загрузки данных можно использовать следующие возможности:
- в командной строке набрать команду
> inspect file_name.plt
или
> inspect file_name1.plt file_name2.plt file_name.plt …
где file_nameN.plt – имя файла, который должен быть загружен. С помощью второго варианта команды могут загружаться несколько файлов данных одновременно.
- в случае, когда Inspect уже запущен, можно использовать команду из Главного меню File > Load Dataset или соответствующую кнопку на панели инструментов. В результате открывается диалоговое окно, в котором можно ввести имя файла или выделить файлы, которые должны быть загружены. При этом также возможно загрузить несколько файлов данных одновременно.
После загрузки файла данных его имя отображается в области Datasets. В средней части области Datasets появляется список групп данных в этом файле, а ниже – список подгрупп данных (рис. 1).
Рис. 1. Окно Inspect, в котором отображена информация о загруженном файле данных в области Datasets.
Для построения двухкоординатных графиков в Inspect необходимо явно указать данные, которые должны откладываться по осям координат (Inspect не выполняет это действие автоматически, поскольку в файле данных может содержаться большое количество разнообразных данных, из которых пользователь может выбрать произвольную пару для отображения в виде графика). Для этой цели используются кнопки To X Axis, To Left Y Axis и To Right Axis.
Например, для построения зависимости тока стока от напряжения на затворе (затворной характеристики) полевого транзистора на основании данных, хранящихся в файле n1_des.plt (рис. 2), необходимо выполнить следующие действия:
- выделить имя файла n1_des в верхней части области Datasets;
- выбрать имя gate в средней части области Datasets;
- выбрать OuterVoltage в нижней части области Datasets;
- нажать кнопку To X Axis;
- аналогично определить данные, которые будут откладываться по оси Y, последовательно выбрав имена drain и TotalCurrent и нажав кнопку To Left Y Axis или To Right Axis.
Аналогичным образом можно построить несколько графиков в одной системе координат.
Рис. 2. Затворная характеристика полевого транзистора.
Внешний вид рабочего окна, включая толщину и цвет всех линий, легенду, сетку, рамки можно отредактировать, пройдя по команде Главного меню Edit > Plot Erea. Изменить параметры осей координат можно с помощью команды Главного меню Edit > Axes. К графикам могут добавляться метки. Для этого используйте команду Главного меню Edit > Labels > Add.
Вспомогательные функции по обработке данных размещаются в пункте Curve Главного меню. Команда Curve Data позволяет просмотреть данные, по которым построена кривая в форме таблицы. Команда Intersect X ? позволяет определить координату пересечения кривой с осью Х, если оно существует. Команда Inspect открывает диалоговое окно Inspector (рис. 3), с помощью которого можно определить координаты и их разницу между двумя точками, выделенными курсором.
Рис. 3. Диалоговое окно Inspector.
Для математической обработки кривых используются возможности, открывающиеся при нажатии кнопки New в нижней части области Curves. При этом открывается диалоговое окно Create Curve, в котором можно выбрать операцию, которую надо выполнить над кривой. Результатом выполнения операции могут быть скалярная величина (например, максимум или минимум функции, отображаемой с помощью кривой) или новая кривая (например, при выполнении операций дифференцирования или интегрирования), над которой можно производить все действия, доступные для исходной кривой.
Tecplot SV
Tecplot SV является передовым инструментом визуализации для изучения и анализа характеристик 2D и 3D устройств. Кроме того, с помощью Tecplot пользователь может получить часть данных вдоль выбранной оси координат или вдоль произвольной линии, а также построить поперечное сечение 3-х мерной структуры и выполнять математические операции на извлеченных данных.
Tecplot – инструмент современного уровня для визуализации 2D и 3D устройств. Он позволяет также извлекать из всего массива данных срезы вдоль выбранной координатной оси или определенной пользователем линии в 2D-устройстве, получать двумерные сечения 3D-устройств, выполнять математические операции над извлеченными массивами данных.
Запуск Tecplot
Tecplot можно запустить из командной строки окна Терминал, не открывая при этом какого-либо файла данных. Для этого необходимо набрать
> tecplot_sv
в командной строке и нажать Enter.
Внешний вид основного окна Tecplot представлен на рис. 1
Рис. 1. Внешний вид основного окна Tecplot
Основное окно содержит строку меню, боковую панель инструментов Synopsys, строку состояния, и рабочее пространство Tecplot, которое представляет собой чистый лист, обведенный рамочкой. Внизу окна находится строка состояния, в которой представляется полезная информация о функции, выполняемой инструментом, выбранным на панели инструментов с помощью мышки, и/или о положении курсора внутри рабочего пространства Tecplot.
Панель инструментов Synopsys
Панель инструментов Synopsys находится в левой части основного окна Tecplot и содержит области иконок инструментов, клавиши вызова и удобные панели для быстрого выбора полезных функций Tecplot.
- в верхней строке находятся кнопки Load (загрузка) и Update Data (Обновление данных) с помощью которых происходит загрузка и обновление данных. Следующие три инструмента: Reset, Redraw и Last View используются для изменения объекта, представленного в рабочей области.
- во второй строке находятся инструменты Link (Связь) и Unlink (Обрыв связи), которые позволяют связывать между собой изображения, представленные в разных рамках рабочей области. Этот инструмент особенно полезен при необходимости синхронного представления данных. Инструмент Fit (Подгонка) позволяет изменять размер изображения в рамке так, чтобы оно занимало всю рабочую область. Инструмент Arrange (Расставить) размещает все рамки на листе рабочей области. Инструмент All Frames (Все рамки) может находиться во включенном или выключенном состоянии. Когда All Frames включен, действие, которое выполняется в одной рамке, автоматически будет выполнено и в других.
- находящийся в третьей строке инструмент Measure (Измерение) позволяет измерять расстояние и смещение двух точек, отмеченных на объекте. Инструмент Integral (Интеграл) используется для вычисления интегрального значения выбранного параметра структуры или, в случае двухкоординатного представления, интеграла величины, представленной выбранной кривой. Инструмент Data Probing (Тестер) позволяет определять текущее значение переменной в выбранной точке структуры. Инструмент Rotate (Поворот) позволяет получать один из шести видов 3D-структуры. Инструмент Zoom (Масштаб) используется для изменения масштаба изображения.
- в четвертой строке инструмент Insert Text (Вставить текст) во включенном состоянии позволяет добавлять текст к изображению в рабочей области. Инструменты Draw Line (Нарисовать линию), Draw Rectangle (Нарисовать прямоугольник) и Draw Ellipse (Нарисовать эллипс) используется для рисования соответствующих фигур. Инструмент Adjuster Tool (Инструмент выбора) позволяет выбрать объект в рабочей области.
Tecplot может использоваться в режимах представления 2D и 3D-изображений или двухкоординатных графиков.
Режим представления 2D/3D-изображений автоматически активизируется при загрузке файлов, которые отображают структуру прибора (например, файлы формата .tdr или файлы сетки и данных DF-ISE) (Рис.2).
Рис. 2. Основное окно Tecplot в режиме представления 2D/3D-изображений.
- на панели инструментов также отображается список region/material (области/материалы), а также список field (поля), в отношении которых применяются некоторые инструменты, позволяющие активизировать или отключать различные способы представления, например, делать видимой или невидимой сетку конечных элементов. Кроме того, можно изменять способ изображения объекта, например, менять угол зрения. Перечисленные области обведены черной рамочкой на рис. 2;
- список полей (fild), расположенный под панелью инструментов, отображает все поля, характеризующие структуру. В виде полей представляются, например, распределения примесей или/и дефектов, плотности токов, напряженность электрического поля и т.п. Изображение объекта в области просмотра изменяется соответственно с выбором поля из этого списка;
- список region/material располагается ниже списка полей и содержит названия всех материалов, присутствующих в структуре. Действия с помощью различных инструментов Tecplot могут выполняться над отдельным материалом или группой материалов, выбранных в этом списке;
- панель инструментов, расположенная внизу, используется для управления видом структуры в рабочей области;
- некоторые кнопки, включая Grid (Сетка), Boundary (Границы), Vector (Вектор), Contour (Контур) и Translucency (Полупрозрачность) используются для переключения между включенными и выключенными состояниями соответствующих способов изображения структуры и полей;
- опции Display Exclusively (Изображать только выбранную область), Display On (Включить изображение выбранной области) и Display Off (Выключить изображение выбранной области) управляют изображением отдельной области структуры. При активации опции Display Exclusively изображение всех областей структуры, кроме выбранной отключается автоматически;
- группа опций Cut (Профиль), включая X Cut, Y Cut и Z Cut, позволяют строить профили вдоль выбранных осей. Инструмент Slicer (Слои) используется для построения одного или группы сечений трехмерной структуры.
Режим построения двухкоординатных графиков автоматически активируется, когда в программу загружается файл, содержащий график (например, файл с расширением .plt).
При этом вид боковой панели инструментов изменяется. Теперь для быстрого доступа к данным и графикам на ней отображается четыре списка (обведены черной рамочкой на рис. 3).
Рис. 3. Основное окно Tecplot в режиме построения двухкоординатных графиков.
- верхний список содержит имя загруженного массива данных, отображаемых по оси Х (чтобы просмотреть список и выбрать массив данных, щелкните на нем мышкой);
- второй список содержит имена всех данных, входящих в выбранную группу (drain hCurrent, gate Charge);
- в третьем списке находятся имена загруженных файлов;
- названия всех построенных кривых перечислены в последнем списке.
Загрузка файлов данных
В Tecplot могут быть загружены два типа файлов:
- файлы с расширением .tdr, например, nmos_mdr.tdr. Этот тип файлов содержит описание структуры устройства, сетки и численные значения полей величин, характеризующих структуру. Этот тип файлов могут открывать некоторые другие программы TCAD, включая Sentaurus Structure Editor, Mesh и Sentaurus Device.
Замечание. В формате DF-ISE должны загружаться два файла: .grd (содержит структуру устройства и сетку), и .dat (содержит данные о полях в структуре).
- другой тип файлов – файлы DF-ISE формата двухкоординатных графиков с расширением .plt, например n1_des.plt. Данные, содержащиеся в таких файлах могут быть использованы Tecplot для построения двухкоординатных графиков.
Для загрузки файлов данных в открытом окне Tecplot выберите в меню File команду Load. При этом откроется диалоговое окно Read Synopsys File:
Рис. 4. Диалоговое окно Read Synopsys File.
По умолчанию в списке Files показаны файлы с расширением .tdr и .plt, имеющиеся в текущем каталоге. Для загрузки определенного файла либо введите имя файла в окне File to be Added, либо выберите файл в списке Files и нажмите кнопку Add. Имена добавленных файлов появляются в списке Selected File(s).
Замечание. При использовании файлов DF-ISE файлы структуры .grd и данных .dat должны быть загружены вместе.
После загрузки файла в рабочей области Tecplot появляется изображение структуры прибора. Например, на рис. 5 приведено изображение окна Tecplot после загрузки файла nmoc_mdr.tdr.
Рис. 5. Структура n-МДП транзистора с распределением потенциала.
При загрузке файлов двухкоординатных графиков в левой части окна Tecplot появляются панели и кнопки, предназначенные для работы с двухкоординатными графиками. В рабочей области открывается новая рамка, в которой строится график. Причем по осям x и y откладываются значения первой связанной пары данных, имеющихся в загруженном файле. Для построения графиков, соответствующих другим зависимостям, пользователь должен вручную указать, значения каких величин следует откладывать по каждой из осей.
На рис. 6 изображено рабочее окно Tecplot после загрузки файла n1_des.plt. Обратите внимание, что в рабочей области построена зависимость выходного напряжения на затворе от времени. Эта пара данных – первая в последовательности данных, записанных в файле.
Рис. 6. Окно работы с двухкоординатными графиками.
Обновление и автоматическая перезагрузка данных
Tecplot позволяет обновлять данные, отображаемые в рабочем окне программы, в автоматическом или ручном режиме. Опции обновления данных доступны в меню File:
Опция |
Функция |
Quick Data Update |
Перезагружает последний из загруженных файлов данных |
Update Data |
Открывает диалоговое окно загрузки файла для обновления данных из файла, определяемого пользователем |
Auto Update |
Открывает диалоговое окно выбора временного интервала (в секундах), по истечении которого последний из загруженных файлов данных перезагружается автоматически (рис. 7) |
Рис. 7. Диалоговое окно выбора временного интервала для автоматического обновления данных.
Сохранение и печать
Текущая сессия Tecplot может быть сохранена с помощью команды Save Setup меню File. Команда сохраняет в файле с расширением .lpk все данные, имеющие отношение к текущей сессии, в том числе файлы данных, которые были открыты, и рамки, в которых были изображения структур и графики. Сохраненный файл можно открыть позднее с помощью команды Load Setup меню File.
Виды и графики из рабочей области можно распечатать на принтере, поддерживающем язык PostScript, или сохранить в файле с помощью команды Print из меню File, а также экспортировать в файлы других форматов, например, .eps, .png или .tiff, используя команду Export из меню File. Параметры страницы настраиваются с помощью команды Paper Setup.
Просмотр структуры и данных
При
загрузке файла формата .tdr
в новой рамке отображается сечение или
внешний вид структуры, в которой различные
области залиты разными цветами в
соответствии со значением величины,
выбранной в поле Field
на левой панели окна Tecplot.
Переключение между списком
областей/материалов осуществляется
кнопкой
.
Определить
значение некоторого физического
параметра структуры в любой ее точке
можно с помощью инструмента Тестер
,
расположенного на боковой панели
инструментов. Чтобы провести «измерение»
надо активизировать инструмент, кликнув
на его иконке мышкой, а затем кликнуть
на изображении структуры в той точке,
в которой определяется значение
параметра. При этом откроется диалоговое
окно Тестера
(рис. 8).
Рис. 8. Диалоговое окно инструмента Тестер.
В диалоговом окне отображается вся информация о выбранной точке, включая ее координаты и значения параметров физических величин, определенных для рассчитанной модели, а также информация об окружающих точку элементах. Для перемещения по списку параметров используйте кнопки Scroll Up (Прокрутка вверх) и Scroll Down (Прокрутка вниз).
Для сравнения приводятся также значения координат и физических параметров центра ячейки, к которой принадлежит выбранная точка (кнопка Cell Center). Чтобы определить значения физических параметров в точке с известными координатами, введите их значения в диалоговом окне, открывающемся кнопкой Probe At…
Лекция 6. Программный пакет Sentaurus TCAD. Модули Sentaurus Structure Editor, Sentaurus Device и Sentaurus Workbench. Построение эксперимента.
Sentaurus Structure Editor
Sentaurus Structure Editor предназначен для редактирования двумерных и трехмерных структур и трехмерной эмуляции процессов.
В режиме эмулятора процессов (Procem) Sentaurus Structure Editor переводит шаги технологических операций, такие как травление и осаждение, фотолитография, полировка, в геометрические действия. Например, на стенки геометрически сгенерированной щели может быть осажден тонкий слой оксида при помощи эмуляции операции осаждения.
Новые алгоритмы позволяют, в частности, моделировать направленное травление, которое используется в изготовлении ячейки флэш-памяти, и качество которого (наклон боковых стенок вытравленной щели) сильно сказывается на характеристиках прибора.
Некоторые области структуры могут быть сделаны прозрачными для лучшей визуализации. Имеется возможность интерактивного описания профилей легирования и стратегии построения сетки. Возможно совместное использование графического интерфейса и командной строки.
Sentaurus Device
Sentaurus Device (sdevice) – это программа многомерного моделирования нового поколения для моделирования электрических, термических и оптических характеристик полупроводниковых приборов на основе кремния и полупроводников сложного состава. Sdevice позволяет оценить, как работает устройство, а также оптимизировать параметры прибора и его характеристики в зависимости от требуемого результата.
Sentaurus Device позволяет моделировать работу широкого спектра полупроводниковых устройств, включая наноразмерные КМОП транзисторы, FinFET, КМОП датчики изображения, флеш-память, крупные мощные транзисторы, SiGe биполярные гетеротранзисторы, аналоговые/высокочастотные транзисторы, светоизлучающие диоды, лазеры. Кроме того, Sentaurus Device делает возможным анализ и оптимизацию электростатического разряда (ESD), единичного случайного сбоя (SEU) и кратковременной ошибки. Пакет позволяет извлекать SPICE модели и проводить статистический анализ работы устройства уже на ранних этапах проектирования.
Sentaurus Device пригоден для анализа:
- структур традиционных СБИС вплоть до 100 нм топологии;
- устройств SOI, где обеспечивается хорошая сходимость и точность расчетов;
устройств с двойным затвором и FinFET, в которых необходимо учитывать квантовые эффекты, определяющие транспорт носителей заряда;
устройства на основе SiGe;
тонкопленочные транзисторы;
устройства оптоэлектроники;
гетеропереходы в составе HEMT (high-electron-mobility transistor – транзистор с высокой подвижностью электронов, ВПЭ-транзистор) и HBT (heterojunction bipolar transistor – биполярный гетеротранзистор);
полупроводниковые силовые и радиочастотные устройства.
Главные особенности Sentaurus Device это:
- Возможность выбора 1-мерной, 2-мерной, и 3-х мерной геометрии.
- Выбор материалов, включая гетеропереходы.
- Полный набор реальных моделей транспорта носителей заряда: дрейфово-диффузионная, термодинамическая, гидродинамическая, квантовая.
- Усовершенствованная модель туннелирования для расчета затворных утечек.
- Модели инжекции горячих носителей для решения вопроса надежности приборов.
- Расчет устройств оптоэлектроники, включая светодиоды и лазеры.
- Набор различных режимов анализа: постоянный ток, переходный процесс, переменный ток, гармонический баланс, смешанная волна.
- Действенные численные алгоритмы с беспрецедентной устойчивостью.
- Современное программное обеспечение, обеспечивающее простое внедрение новых моделей.
Sentaurus Workbench
Обычно процесс моделирования предполагает, что пользователь запускает несколько приложений последовательно. Sentaurus Workbench интегрирует программы моделирования в единую среду и осуществляет их взаимосвязь, что делает организацию численного эксперимента простой и удобной. Он позволяет с помощью графического интерфейса спроектировать, организовать и выполнить моделирование, начиная с задания параметров технологического процесса и заканчивая оптимизацией электрофизических режимов работы устройств в составе электрической схемы. Sentaurus Workbench автоматически управляет информационными потоками, что подразумевает подготовку пользователем входных файлов, задание параметров модели, настройку и выполнение вычислений и визуализацию результатов.
Sentaurus Workbench позволяет пользователю определять параметры и переменные для запуска параметрического анализа. Задав набор входных параметров (так называемое дерево экспериментов, DoE) – например, различное время отжига пластины, или дозу ионной имплантации, на выходе можно получить различные электрофизические характеристики прибора, а также оптимизировать их.
Формат записи файлов – TDR предназначен для рационального накопления, чтения и записи большого количества научных данных. Sentaurus Workbench включает также графическое средство для просмотра и редактирования таких файлов – Sentaurus Data Exlorer.
Визуализатор Tecplot SV в составе Sentaurus Workbench позволяет строить разрезы любой структуры, причем имеется возможность работать в двух- и трехмерном режиме.
При помощи подпрограммы Calibration Kit в составе Setaurus Workbench Advanced можно калибровать профили, смоделированные в Sentaurus Process, TSUPREM-4, и Dios, по профилям, полученным методом вторичной ионной масс-спектроскопии.
Работа с Sentaurus Workbench.
Для выполнения проекта с помощью Sentaurus Workbench необходимо чтобы все файлы, используемые в проекте, находились в одной директории.
Для запуска Sentaurus Workbench наберите в командной строке:
> swb
Задайте директорию, к которой Sentaurus Workbench должен обращаться в процессе выполнения проекта, с помощью пункта меню Edit > Attach Root.
На рис. 1 представлен вид основного окна Sentaurus Workbench. Черной рамкой выделены иконки, изображающие используемые в проекте приложения, строку с наименованиями параметров и ячейки, содержащие значения параметров, присваиваемые в ходе выполнения эксперимента. Каждая такая ячейка называется узлом эксперимента и имеет персональный номер. Полная совокупность узлов, включая ячейки со ссылками на приложения, в последовательности, соответствующей обращениям к ним в ходе моделирования, составляет численный эксперимент. При использовании набора параметров возможно построение произвольного количества экспериментов с одной и той же последовательностью вызываемых приложений. В строке параметров содержатся наименования всех характеристик, которые будут получены в результате моделирования. По завершении вычислений значения параметров заполняют соответствующие столбцы.
Рис. 1. Основное окно Sentaurus Workbench.
Полную справку о каждом узле эксперимента можно получить, установив курсор на нужный узел и дважды щелкнув кнопкой мыши. При этом открывается окно, внешний вид которого представлен на рис. 2.
Рис. 2. Окно информации об узле эксперимента.
В окне информации пользователь может изменять только статус узла, что может оказаться полезным в некоторых ситуациях. Индикатором текущего статуса узла является цветовая заливка ячейки. Цветовая шкала, расположенная в правом нижнем углу основного окна Sentaurus Workbench (рис. 3), поясняет соответствие между цветом ячейки и текущим статусом узла эксперимента.
Рис. 3. Цвета, соответствующие различным статусам узла.
Изменить представление информации об эксперименте можно с помощью команды Главного меню View > Tree Option, отмечая или снимая отметку у различных опций.
Чтобы запустить проект сначала, необходимо удалить результаты предыдущего выполнения. Для этого выполните команду Главного меню Project > Clean up. В открывшемся диалоговом окне Clean Up Options (рис. 4) отметьте объекты, которые должны быть удалены, и нажмите OK.
Рис. 4. Диалоговое окно Clean Up Options.
Sentaurus Workbench удалит все отмеченные данные, связанные с предыдущим выполнением проекта и будет готов к новому запуску. При этом цветовая заливка ячеек изменится с желтого (что обозначает «расчет выполнен») на белый (обозначает «расчет не проводился»). Если в ячейках не показаны номера узлов, выполните команду Главного меню View > Tree Options > Show Node Numbers.
Существует несколько вариантов запуска проекта на выполнение. Это можно сделать, выполнив команду Главного меню Project > Run, или нажав комбинацию клавиш Ctrl + R, или соответствующую иконку на панели инструментов. При этом открывается диалоговое окно Run Project (рис. 5), и, чтобы запустить проект на выполнение целиком, достаточно нажать кнопку Run этого диалогового окна.
Рис. 5. Диалоговое окно Run Project.
Если требуется выполнить действия, соответствующие лишь некоторым узлам эксперимента, в поле Nodes введите номера этих узлов, разделяя их пробелом.
Перед тем как выполнить расчет Sentaurus Workbench выполняет препроцессорную подготовку входных файлов, которая включает проверку синтаксиса и замену параметров и переменных их значениями. После препроцессорной подготовки Sentaurus Workbench создает входные файлы в формате pp<node_number>_<tool_name>.cmd и pp<node_number>_des.par (файл параметров для Sentaurus Device). Часть эксперимента, соответствующая определенному узлу, может быть выполнена только после того, как такие файлы созданы. Препроцессорная подготовка выполняется автоматически непосредственно перед выполнением расчета в определенном узле, а также может проводиться отдельно без выполнения моделирования. Для того, чтобы выполнить только препроцессорную подготовку запустите команду Главного меню Project > Preprocessor или нажмите комбинацию клавиш Ctrl + P.
В процессе выполнения эксперимента вся информация в реальном времени отражается в окне протокола Project Log. По окончании расчета значения переменных отображаются в соответствующих столбцах основного окна Sentaurus Workbench.
Создание нового эксперимента.
Для создания нового эксперимента, в первую очередь, надо открыть бланк проекта с помощью команды Главного меню Project > New или, нажав иконку с изображением чистого листа. При этом создается временный файл с именем, имеющим вид: g_lnx_2879_0.tmp, которое появляется в дереве каталогов в левой части основного окна Sentaurus Workbench. Строка инструментов бланка не содержит иконок приложений, из которых составляется проект. Чтобы добавить приложение в проект дважды щелкните правой кнопкой мыши, установив курсор в ячейку с надписью No Tools под ячейкой с надписью Family Tree (рис. 6). После этого откроется диалоговое окно Add Tool (рис. 7).
Рис. 6. Область окна, в которую добавляются новые приложения, составляющие проект.
Рис. 7. Диалоговое окно Add Tool.
В диалоговом окне Add Tool необходимо выбрать нужное название из базы приложений DB Tool (это может быть sprocess, sdevice, inspect или какое-либо другое). В окне Tool Name вводится имя, которое пользователь присваивает этому приложению в конкретном проекте. Это имя не обязательно должно совпадать с названием приложения, что особенно удобно, когда одно и то же приложение используется в проекте несколько раз. Так, например, инструменту sprocess могут быть присвоены имена sprocess1, или sprocess2, или любое другое по выбору пользователя. Чтобы иметь возможность открывать файлы, созданные с помощью Ligament, отметьте опцию Use Ligament и нажмите OK. Чтобы запустить Sentaurus Process в режиме пакетной обработки кликните правой кнопкой мыши по иконке sprocess, появившейся в столбце Family Tree, и в выпадающем меню выберите команду Edit Input > Preferences, которая вызывает диалоговое окно Edit Preferences. В появившемся окне отметьте опцию Start in batch mode и нажмите OK. После этого появляется диалоговое окно Create Default Scenario, в котором нужно задать имя для нового сценария.
После этого можно загрузить командные файлы и файл шаблонов, которые будут использоваться Sentaurus Process и Ligament. Если такие файлы были созданы раньше с помощью текстового редактора или при выполнении другого проекта, удобно импортировать готовые файлы в новый проект. Для этого кликните правой кнопкой мыши по иконке sprocess и выберите команду Import File > Ligament Flow или Import File > Ligament Layout в зависимости от того, какой файл хотите загрузить. В открывшемся диалоговом окне выберите имя нужного файла и нажмите Open. Можно использовать также команду Edit Input > Ligament Layout чтобы вызвать Ligament Layout Editor и нарисовать новый шаблон.
Для добавления следующего инструмента щелкните правой кнопкой мыши по иконке sprocess и выберите команду Add. В открывшемся диалоговом окне Add Tool выберите новый инструмент из списка, задайте ему имя, снимите отметку у опции Use Ligament и выберите опцию After Selected Tool. Таким же образом, как для sprocess, задайте пакетный режим работы для нового приложения. Аналогично добавляются все нежные для проекта приложения. Чтобы сохранить созданный проект выберите в Главном меню команду Project > Save As, если нужно, измените имя файла.