3)Метод реактора вертикального типа

Для работы с расплавами, обладающими повышенной реакционной способностью к образованию оксидов, применяют этот тип, в котором пластины 2, закрепленные на держателе 1, погружают в расплав 5, находящийся на тигле 6. При погружении пластин в расплав они разрывают оксидную пленку и соприкасаются с ним. Удаление оксида с поверхности с одновременным повышением производительности процесса достигают при использовании реаторов с кассетами пенального или шиберного типа. Кассета устройства пенального типа состоит из двух частей – корпуса 7 с ячейками 5 для расплавов и подвижной чисти кассеты 8 с углублениями для пластин 2. После расплавления и достижения расплавом заданной температуры часть кассеты 8 продвигается, механически снимая слой возможных оксидов с поверхности расплава, в результате чего на поверхность подложки поступает чистый расплав. Создание в кассете нескольких ячеек для различных расплавов делает возможным изготовление многослойных структур. В кассете шиберного типа подвижной частью является шибер 9 с окнами. Совмещая окна и ячейки с расплавами 5, которые находятся над пластинами в нижней части кассеты 7, осуществляют контакт расплавов с поверхностью пластин.