6. Фундаментальные уравнения основных физических процессов в полупроводниковой структуре.
6.1.1. Уравнения
Пуассона.
Набла*эпсилон*набла*фи
= -q(p-n+NД+
- N-A)
Дельта
фи = -ро/эпсилон ноль*эпсилон
Эпсилон
= эпсилон ноль* эпсилон(x,
y,
z)
Заряд
электрона по абсолютной величине – q
Электростатический
потенциал с координатами в какой-то
структуре – фи.
6.1.2. Уравнения
непрерывности.
-R
Превышение
скорости генерации над скоростью
рекомбинации –R
6.1.3. Уравнения
для плотности токов
Jn
= - qn*мю(эн)*набла*фи+g*фи(тэ)+мю(эн)*набла*n
Мю(эн)
– подвижность
Фи(тэ)
– электронный потенциал
Фи(тэ)
= kT/q
Jp=
-qp*мю(пэ)*набла*фи-q*фи+мю(пэ)*набла*p
J
= Jn+
Jp
6.1.4. Уравнение
переноса Больцмана. Кинетическое
уравнение.
Дэ*f/дэ*t+v*набла(эр)*f+k(с
точкой)* набла(ка)*f
= (дэ*f/дэ*t)ст
f
– одночастная функция распределения
носителей заряда
v-
скорость заряда
f=f(r,k,t)
r=r(x,y,z)
k=k(x,y,z)
дэ*f/дэ*t
– интеграл столкновений
Из
уравнения можно получить другие
уравнения, в итоге оставить только это
и Пуассона. Фундаментальное уравнение!