
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Теплопроводностьжидкостей
Посравнениюствердымителамимеханизмтеплопроводностижидкостейимеетрядотличий,обусловленныхособенностямиихато-марногостроения.
Нарядусколебаниямивжидкостиимеетсявозможностьсвободно-
годвижениямолекул,причеммолекулымогутдиссоциироватьнаио-ны,еслирассматриваемаяжидкостьявляетсяэлектролитом.Дляжид-костейхарактерноналичиеближнегопорядка,т.е.упорядоченногорасположенияатомов,впределахнебольшойпоколичествуатомовгруппы.Приэтомотсутствуетдальнийпорядок,которыйотражаетсявтрансляционнойсимметриикристаллов.Из-заперечисленныхособен-ностейтеоретическоеописаниетеплопроводностижидкостейвстреча-етсерьезныетрудности.
Отсутствиеупорядоченностиврасположениимолекулприводиткменьшейтеплопроводностижидкостейпосравнениюсбольшинством
твердыхтел.Повышениетемпературывызываетувеличениехаотиче-скогодвижениячастицжидкостииуменьшениекоэффициентатепло-проводности.
Вкачествепримера,иллюстрирующегорольфазовогосостоянияве-
щества,приводимтеплопроводностьльда,водыиводяногопара[1.12].
Твердоетело(ледпри273К)k2,22Bт/(мК).
Вода(при373К)k0,681Bт/(мК).
Водянойпар(при380К)k0,0246Bт/(мК).
Вмикросистемнойтехникеразнообразныекомпоненты,какправи-ло,работаютвгазовой,анежидкойсреде.
1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
Данныйспособтеплопередачиосуществляетсяспомощьюэлек-тромагнитныхволн,распространяющихсясоскоростьюсветаc29979108м/с.Приэтомневажно,имеетсямеждуобменивающи-
мисяэнергиейтеламикакая-либосредаилителанаходятсяввакууме.Энергияизлученияиспускаетсяипоглощаетсяквантами(фотонами),
которыеобладаютэнергией
hиимпульсом
ph,гдеи–
частотаидлинаволныэлектромагнитногоизлучения.
Когдателонагрето,свободныеэлектронымогутпереходитьнабо-леевысокиеэнергетическиеуровни.Ввозбужденномсостоянииэлек-троннаходитсянекотороевремя,азатемпереходитнасвободныеуровнисменьшимиэнергиями.Приэтомиспускаетсяфотонсэнерги-ей,равнойразностиуровней,междукоторымибылосуществленпере-ход.Влюбоймоментвременисуществуетмногоэлектронов,которыеучаствуютвпереходах,поэтомуэлектромагнитноеизлучениераспре-деленопоспектручастот.Этоизлучениезависиттолькооттемперату-рытела.
Тепловомуизлучениюсоответствуетдиапазондлинволнот0,1до
100мкм.Глазчеловекаспособенвосприниматьэлектромагнитноеиз-лучениевдиапазоне0,38...0,76мкм,чтосоставляеттолькомалую
частьспектратепловогоизлучения,неговоряорадиоволнах,рентге-новскомигамма-излучении.
Основныепонятияизаконы
Дляколичественногоописаниярадиационногоспособапередачитеплаиспользуетсярядспецифическихпонятийизаконов,которыепредставленыздесьвкраткойформе.Болееподробноеизложениерас-сматриваемыхвопросовимеетсявспециальныхучебникахимоногра-фиях[1.13,1.14]ивглаве4даннойкниги.
Количестволучистойэнергии,переносимойвединицувремениче-резпроизвольнуюповерхность,именуетсяпотокомизлученияФиизмеряетсявваттах(Вт).Плотностьпотокаизлученияопределяетсякакпотокизлучения,приходящий(илиисходящий)наединицупо-верхноститела,повсевозможнымнаправлениямвпределахполусфе-рическоготелесногоугла:
E=Ф
A
[Вт/м2].
Потокизлучения,попадающийнатело,делитсянатричасти:по-глощаемую,отраженнуюипропускаемуютелом.Учитываяэтоизаконсохраненияэнергиидляплотностипотокаизлучения,вобщемслучаеможнонаписать
EEпEoEпр,
иливбезразмернойформе:
EпEoEпрard1, (1.3.1)
E E E
где
Eпa,
E
Eorи
E
EпрdE
–соответственнопоглощательная,от-
ражательнаяипропускательнаяспособноститела.
Если
a1,r0,d0,
тотелоименуетсяабсолютночерным,при
r1,
ad0телоотражаетвсеизлучение,например,зеркальноили
диффузно.Еслиd1,ar0,тотелоявляетсяпрозрачным.
Излучениесповерхноститела,зависящеетолькооттемпературыисвойствданноготела,именуютсобственным.Притеплообменевыде-ляюттакжепотокипадающегоипоглощенногоизлучения.
Суммапотоковсобственногоиотраженногоизлученияназывается
потокомэффективногоизлучения:
EэфEсEoEсrE, (1.3.2)
гдеE–падающеенателоизлучение.
Разностьпотоковсобственногоипоглощенногоизлученияимену-ютсяпотокомрезультирующегоизлучения:
EpEcEпEcaE. (1.3.3)
В1900годуМ.Планктеоретическиустановил,чтоэнергиятепло-вогоизлучениясединицыповерхностиабсолютночерноготелавин-терваледлинотдоdописывается выражением
dEJd
C1 dВт, (1.3.4)
2
5expC21
м
T
hc
где
С12
с23,74181016Втм2;
С2 1,4388102мК;
k
JdE
d
–интенсивностьизлученияВт.
м3
ГрафическоепредставлениезаконаПланкаданонарис.1.6.
λ0



Применяя обычное условие
21,0
максимума
dE0
d
изуравнения
16,8
12,6
8,4
4,2
600К
(1.3.4),получаемзаконсмещения
Вина,связывающийдлинуволны,
накоторойимеетместомаксимумизлучения,итемпературутела:
maxT2,898103мК.(1.3.5)Помереувеличениятемпера-
турымаксимумизлучениясмеща-етсявобластьболеекоротких
0 2 4 6 8
λ,мкм
волн.
Рис.1.6.Распределениеинтенсивно-стиизлученияпоспектруизлучения
абсолютночерноготела
ИсходяизформулыПланка,можнополучитьвыражениедля
плотностипотокаизлученияабсо-лютночерноготела,длячегоне-
обходимопроинтегрировать(1.3.4)повсемдлинамволн:
EТ
C1
dT4. (1.3.6)
05expC21
kT
Здесь–постоянная,равная567108Вт/(м2К4).
Соотношение(1.3.6)носитназваниезаконаСтефана–Больцмана.Малостьприводитктому,чтопритемпературах,незначительноот-личающихсяоткомнатной,вкладрадиационноготеплообменаотноси-тельноневеликпосравнениюсдругимивидамитеплообмена.
Вкачествепримеранайдемвеличинутепловойпроводимости,свя-
заннуюсрадиационнымтеплообменомдлядвухблизкорасположен-ныхабсолютночерныхпластин.Предположим,чтотемператураодной
пластиныT1T0T,адругойTT0,причем
TT0.Тогдаэнер-
гия,передаваемаяотболеенагретойпластинык«холодной»,будетравна
4 4
4 3 4 3
ET1
T0
T0
4T0Т...T0
4T0T. (1.3.7)
Ввыражении(1.3.7)воспользовалисьразложениемврядТейлора
помаломупараметруT
иограничилисьдвумячленамиряда.При
t300С
составит
тепловаяпроводимостьединичногоучасткаповерхности
3 2
G4T0
6,1Вт/(м
К).
Вомногихслучаяхэтосущественноменьшепосравнениюсдру-гимивидамитеплообмена.Радиационныйтеплообменбыстровозрас-таетсувеличениемтемпературы.Практическиегонеобходимоприни-матьвовниманиедлякомпонентовмикросистем,работающихприпониженномдавлениииливвакууме.
Помимотрехкоэффициентов
a,r,d,дляописаниярадиационных
свойстввводитсякоэффициентизлучательнойспособности,опреде-ляемыйкакотношениеплотностипотокасобственногоизлучениятвердоготелакплотностипотокаизлученияабсолютночерноготелапритойжетемпературе:
ET
T4
. (1.3.8)
Коэффициентпоказываетстепеньчернотытела,иеговеличиналежитвинтервале01.
Междупоглощательнойиизлучательнойспособностямител,нахо-дящихсявтепловомравновесии,существуетзависимость,выражаемаязакономКирхгофа:
a. (1.3.9)
Хорошиепоглотителитела,такимобразом,являютсяихорошимиизлучателями.Каждыйизприведенныхвышекоэффициентовзависитиотдлиныволныизлучения.Дляпрактическихцелейспектризлуче-нияразбиваютнаучастки,впределахкоторыхэтикоэффициентыпо-
стоянны.Тела,длякоторых
1,называютсясерыми.Плотностьпо-
токасобственногоизлучения,испускаемогосерымтелом,описываетсявыражением:
ET4.
Припроектированиитермическихсенсоровприходитсяиногдаучитыватьугловоераспределениеизлученнойилипоглощеннойтеп-
Еп
φ
dA1
dEφ
dA2
ловойэнергии.Такаяситуациявоз-никает,например,когдатермическийсенсорохраннойсигнализацииполу-чаетэнергиюотнекоторогообъекта,появившегосявполеегозрения.За-конСтефана–Больцмана(1.3.6)опре-деляетсуммарноесобственноеизлу-чениеповсемнаправлениямполусферынадучасткомнагретойповерхности.
Распределениеэнергииизлученияпоразличнымнаправлениямуста-навливаетсязакономЛамберта
Рис.1.7.ОриентацияплощадоквзаконеЛамберта(1.3.10)
(1760год).Есликоличестволучистой
энергии,передаваемойэлементарной
площадкой
dА1
поверхностителана
площадку
dА2,расположеннуюнарасстоянииrподугломкнор-
мали,обозначитьdE(рис.1.7),топозаконуЛамберта
2 1 2
dEEпdАdАcos, (1.3.10)r
где
Eп–плотностьпотокаизлучениявнаправлениинормаликпо-
верхности.
Проинтегрировав(1.3.10)пополусферерадиусаr,можноустано-витьсвязьмеждуобщейплотностьюпотокаизлученияEиплотно-
стьюпотокавнаправлениинормали
EE
п
Eп:
T4
. (1.3.11)
ИззаконаЛамбертаследует,чтомаксимальноеизлучениетепловойэнергиипроисходитвнаправлениикнормаликнагретомуучасткупо-
верхности.Дляреальныхтел,укоторых
1,угловоераспределение
зависитотвидаматериалаиособенностейобработкиповерхности.Уполированныхметалловзаметнаядоляэнергииизлучаетсявнаправле-нии,касательномукповерхности,аудиэлектриковэнергияизлучаетсяпреимущественнопонормалииприувеличенииугладо90падает
донуля.
Прозрачнаясреда,вкоторойраспространяетсятепловоеизлучение,частичнопоглощаетирассеиваетего.Уменьшениеинтенсивностииз-лученияприпрохождениирасстоянияxописываетсязакономБугера:
JJ0ex,
где–коэффициентослабленияизлучениясдлинойволны.