
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Параметрытпи
ВведемкоэффициентпреобразованияизбыточнойтемпературыввыходноеэлектрическоенапряжениеТПИ–KV.
T
Тогда,используя(8.2.4),получим:
VKT
KФ
12212
KФ
22C212
. (8.2.5)
T T T
Вольт-ваттнаячувствительность,определениекоторойбылоданоранее,дляТПИравна
Ф
V

K
12212
K
22C212
. (8.2.6)
T T T
Каквидноиз(8.2.6),нанизкихчастотах,если
T T
22C2,вольт-ваттнаячувствительностьобратнопропорциональнатепловойпрово-димоститепловогомостаинезависитоттеплоемкостиТПИ.Мини-мальноезначениетепловойпроводимостиили,чтотожесамое,мак-симальноезначениетепловогосопротивлениявидеальномслучаеобеспечивается,еслиТПИнаходитсяввакууме,полностьюизолиро-ваноттеплоотвода,аохлаждениеТПИосуществляетсятолькозасчетизлучения.ВэтомслучаеможнооценитьпредельныехарактеристикиТПИ,нопрежденужнорассмотретьосновныемеханизмышума.
МеханизмышумавТПИ
СрединаиболееважныхмеханизмовшумавТПИнужновыделитьтепловойшум(шумДжонсона),шумтепловыхфлуктуаций,фоновыйшумишумтипа1/f.Рассмотримэтивидышумаподробнее.
СпектральнаяплотностьтепловогошумадляТПИ(резистора),
имеющего сопротивлениеR,записываетсякак
ш1 1
V24kTRf. (8.2.7)Шумтепловыхфлуктуацийвызываетсяфлуктуациямитемпера-турыТПИ,которыевсвоюочередьопределяютсяизменениямитепло-войпроводимоститеплового моста,иравен
2
V
K
2 2 4kT2fш2 122
. (8.2.8)
T
Радиационныйтеплообменмеждуприемником,имеющимрабочуютемпературуT1,иокружающейсредой(фоном),имеющейтемпературуT2,приводитктакназываемомуфоновомушуму,которыйдляуглаполязрениянафон,равного2,составляет:
8k0AfT5T5
ф
V2K21 2
T122
, (8.2.9)
гдеk–постояннаяБольцмана;0
постояннаяСтефана–Больцмана;
A–площадьТПИ;T1,2
ответственно.
температураТПИиокружающейсредысо-
Шумтипа1/fописываетсяэмпирическойформулой:
V2k
a
I f, (8.2.10)
b
1f 1ff
гдекоэффициентипоказателистепенимогутбытьразличныдляраз-ныхприемниковивбольшойстепенизависятоттехнологииизготов-ления.
Полнаяспектральнаяплотностьшумаявляетсясуммойвсехпере-
численныхвидовшума:
2 2 2 2 2
Vш.полнVш1Vш2VфV1f.
(8.2.11)
Мощность,ограниченнаяшумом,
дляидеальноготепловогоприемника
Рассмотрим,каковофундаментальноеограничениенавеличинумощности,ограниченнойшумом,дляидеальноготепловогоприемни-ка.ЕслиТПИнаходитсяввакууме,полностьюизолированоттеплоот-водаиохлаждаетсятолькозасчетизлучения,топороговыехарактери-стикиТПИдажеприминимизациивсехостальныхвидовшумовограничиваютсяшумамифоновогоизлучения.Вэтомслучаесредне-квадратичнаяфлуктуацияпадающегонаТПИиизлучаемогоимпото-ковизлученияравна
2 0
5 5
Ф8kAfT1
T2
. (8.2.12)
Еслисчитать,чтотемператураТПИиокружающейсредыодинако-
вы,то
T1T2T
исреднеквадратичнаяфлуктуацияпотоковизлуче-
нияравна
Ф216k0AfT5.
(8.2.13)
ДляТПИсплощадью1см2вполосе1Гцприпреобладаниифо-тонногошумамощность,эквивалентнаяшуму,поопределениюравнафлуктуациипотокаизлученияприотсутствиидругихтиповшумовзаисключениемфотонного.Тогда:
МЭШ=Ф*
Ф2
8kT5T5. (8.2.14)
п Af
0 1 2
п
ВеличинуФ*
называюттакжеудельнымпороговымпотоком.Рас-
считанноезначениеМЭШвзависимостиоттемпературыокружающейсреды(фона)дляразнойтемпературыТПИпри1данонарис.8.3.
–9
10
–10
10 1
12
МЭШ,Вт/Гц
–11210
–123
10
4
–13
10
–14
10
–15
10
0 100200 300 400 500600
T2,К
Рис.8.3.МЭШидеальногоТПИвзависимостиоттемпературыфона:
TТПИ=290К(1);195(2);77(3);4,2(4)
Каквидноизрисунка,уменьшениеМЭШприуменьшениитемпе-ратурыТПИвбольшойстепенизависитоттемпературыфона.Если
положить
T2290К,т.е.ориентироватьсянатемпературуЗемли,то
приизменениирабочейтемпературыТПИот290до4,2КМЭШизме-
нитсянезначительно–от51011до
41011
Вт/Гц1/2.Еслижетемпе-
ратурафонасоставляет20К,тоМЭШидеальногоТПИизменитсяот
51011до41013Вт/Гц1/2.
СпектральнаячувствительностьТПИвпринципепочтипостояннавширокомспектральноминтервале,чтоявляетсяоднимизглавныхих
достоинств.Этодостигаетсятем,чтоэнергияпоглощенногофотонавТПИпреобразуетсявтеплонеселективно.Дляувеличениячувстви-тельностиТПИирасширенияспектральногодиапазонаповерхностьчувствительногоэлементапокрываюттонкимслоемчерни,приближаякоэффициентпоглощениякединице.Ограниченияпоспектручувст-вительностиТПИобычносвязаныскоэффициентомпропусканияокнаФПвкоротковолновойобластиискоэффициентомотраженияипро-пусканиемокна–вдлинноволновойчасти.
ТПИбываютнесколькихвидов:
термоэлементы;
болометры;
оптико-акустическиепреобразователи;
пироэлектрическиеприемники;
калориметры;
тепловыепреобразователиизображения.
Вданномпараграфемырассмотримтолькоболометры.