
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Болометрическиематрицы
Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
Тепловыеприемникиизлучения(ТПИ)былиразработаныдоста-точнодавно[8.3–8.6],нодонедавнеговремениимелидостаточноуз-коеприменениевосновномиз-затакихтрудносовместимыхпарамет-ров,какхорошиепороговыехарактеристики(иливысокаячувствительность)ивысокоебыстродействие.Однаковпоследнеевремякнимвновьпроявленповышенныйинтересвсвязиссовершен-ствованиемтехнологий,которыесейчаспозволяютсоздаватьнеохла-ждаемыеИК-матрицыбольшогоформата.
ХарактернымотличиемТПИотфотонныхприемниковявляетсято,чтополезныйсигналобразуетсяприизменениитемпературыприем-никазасчетэнергиирегистрируемогоизлучения,втовремякактем-пературафотонныхприемниковподдерживаетсяпостоянной.Взаимо-действиелучистойэнергиисвеществомТПИвызываетпоявлениетемпературногополяиповышениееготемпературы.Всвоюочередьэтоприводитквозникновениюкакого-либоизтепловыхэффектов(термоэлектрического,пироэлектрического,болометрического)икпоявлениювыходногосигнала.Всвязисэтимтакиепараметры,кактеплоемкостьитеплопроводность,имеютдлятепловыхПИбольшоезначение.
ИдеализированнаямодельТПИ
Нарис.8.2данапринципиальнаясхемаТПИ,вкоторойотраженыглавныеособенностииопределяющиепараметрыТПИ.
ТПИ(1)степлоемкостьюCТ
соединентепловыммостом(2)степ-
ловойпроводимостьюT
степлоотводом(3),имеющимпостоянную
температуруТ0.БезизлучениятемператураТПИравнатемпературетеплоотводаТ0,априпопаданииизлученияонаизменяетсянавеличи-
нуT.Этоприращениетемпературыможновычислитьизуравнения
тепловогобаланса:
CdTT , (8.2.1)
T dt T Ф
гдеФ–потокизлучения,падающийнаТПИ,а–коэффициентпо-глощенияизлучения.
Этоуравнениеможнопереписать
h ввиде
T0+ΔT
dTФ
T .
(8.2.1а)
1 dt CT
CTT
Величина
CTT
играетроль
2 временирелаксацииизбыточнойтемпературыпослевыключенияпо-токатеплавстационарномсостоя-
3
T0
Рис.8.2.Схематичноеизображе-
нии,аФ
CT
ции.
–рольфункциигенера-
ниеТПИ(1),тепловогомоста(2)
итеплоотвода(3)спостоянной
Очевидно,чтовстационарном
состоянии,т.е.принеизменномзна-
температуройТ0
чении
T,стационарноезначение
или
температурыТПИбудетравно
cт 0 ст 0
TTTTФT
Tст
Ф.
T
(8.2.2)
ЗависимостьT
отвременипослевключенияилипослевыключе-
нияизлучениязаписываетсякак
t
t
;

TTст1e
Tст1e TT
(8.2.3)
–t
TTстe
Tстe
t CTT.
Какобычно,примодулированномпотокетепла(падающегоизлу-чения)приращениетемпературысучетомчастотымодуляциимож-нозаписатьввиде
Tст
Ф
2212
Ф
2 2212
. (8.2.4)
T1
TCT
Попытаемсявыявитьаналогиимеждуфотонными(ФПИ)итепло-вымиприемниками.ДляТПИаналогизбыточнойконцентрацииноси-телей,котораяявляетсяпричинойвозникновениясигнала,–этодо-полнительная(избыточная)температураприемника.Чембольшеэтивеличины,тембольшеполезныйсигналФПИиТПИ.ДляФПИвпро-стейшемслучаестационарноезначениевеличиныизбыточнойконцен-трацииносителейзарядапрямопропорциональновременижизниэтихносителейзарядавразрешеннойзоне.
ДляТПИстационарноезначениевеличиныизбыточнойтемперату-
рытембольше(уравнение(8.2.2)),чемменьшетепловаяпроводимость
тепловогомоста,т.е.чемменьшеуходизбыточноготепла,возникаю-щегозасчетизлучения,натеплоотвод.Однакоаналогомвременижиз-ниносителейзарядавыступаетнетепловаяпроводимость,а,какбыло
сказановыше,отношениеCT
T.ТеплоемкостьТПИ,какэтовидно
из(8.2.2),невлияетнастационарноезначениевеличиныизбыточнойтемпературы,ноопределяетпрификсированнойтепловойпроводимо-
стивремя,закотороедостигаетсястационарноезначение
T.Как
видноиз(8.2.4),примодулированномпотокепадающегоизлучения
уменьшениеT
счастотойначинаетсказываться,если22C2.
T T
Такимобразом,чтобыудовлетворитькактребованиямвысокойчувствительности,такитребованиямбыстродействия,необходимкомпромисс:тепловаяпроводимостьдолжнабытьмала,нобольше,чем
2C2
нарабочейчастоте,т.е.должновыполнятьсянеравенство
T
T T
22C2.