
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
10 Blip 10
PbSe(196К)
9
10
PbS(77К)
lnSb(77К)
GeAu(77К)
HgCdTe(77К) SiGa(4,2К)
PbSnTe(77К)
PbSe(300К)
8
100 12 3 4 5 67 8 9 1011121314 15161718Длинаволны,мкм
Рис.7.41.СпектральныезависимостиобнаружительнойспособностиразличныхФП:
вскобках–температура,К
изготовитьФПсобнаружительнойспособностьюблизкойкхаракте-ристикамидеальногоприемника.Всоответствиистеориейобнаружи-
тельнаяспособностьфоторезисторовв 2разменьше,чемуфото-вольтаическогоприемника.
НовыеразработкивобластиФПсвязаныссозданиеммногоэле-
ментныхфотоприемныхустройств–линееки вбольшейстепени–матрицФП.
Дляболееподробногоизучениярассмотренныхвглаве7вопросовавторырекомендуютознакомитьсясрекомендованнойлитературой.
ЛИТЕРАТУРА
ПикусГ.Е.Основытеорииполупроводниковыхприборов/Г.Е.Пи-кус.– М. :Физматгиз,1965.– 448с.
Техникаоптическойсвязи.Фотоприемники/подред.У.Тсанга.– М. :Мир, 1988.–528с.
МоссТ.,БаррелГ.,ЭллисБ.Полупроводниковаяоптоэлектроника.–М. :Мир,1976.–432с.
РжановА.В.Электронныепроцессынаповерхностиполупроводни-ков.– М. :Наука,1971.– 480с.
ОвсюкВ.Н.Электронныепроцессывполупроводникахсобластямипространственногозаряда/Новосибирск:Наука,1984.– 256с.
Полупроводниковыеформирователисигналовизображения/подред.П.Йесперса,Ф.ВандеВиллеи М.Уайта.– М. :Мир,1979.–576с.
Приборысзарядовойсвязью/подред.Д.Ф.Бпарби.–М.:Мир,
1982.– 240с.
СекенК.,ТомпсетМ.Приборыспереносомзаряда.–М.:Мир,1978.– 327с.
ГЛАВА8
ОСНОВНЫЕНАПРАВЛЕНИЯРАЗВИТИЯТЕХНИКИ
РЕГИСТРАЦИИОПТИЧЕСКОГОИЗЛУЧЕНИЯ
ВВЕДЕНИЕ
Вэтойглавебудутрассмотреныосновныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучениянабазетехпринциповиприемников,которыеобсуждалисьвпредыдущихглавах.Преждевсе-гоопределимтецели,которыемыхотелибыдостичьспомощьюпри-емниковизлучения.Этицелимногочисленныиразнообразны,начинаяспростейшейзадачи–определенияналичия(илиотсутствия)излуче-ния,егоинтенсивности,спектральногосостава;доболеесложных–определенияформыобъекта,егокоординатвпространстве,скоростиит.д.,и,наконец,–адекватноговоспроизведенияобликаобъектанамо-ниторах.Другимсловами,цельюпримененияприемниковизлученияявляетсяорганизациятого,чтоназываетсятехническимзрением–ана-логомзрениячеловекавнедоступныхдляглазаспектральныхдиапа-зонахиобластяхпространства.
Целипримененияоптическихсистемиихстроение
Очевидно,чтодостижениеэтихцелейнеможетбытьдостигнутоприиспользованиитолькоприемниковизлученияитребуетвведениядругихоптических,механическихиэлектронныхэлементов,чтовце-
ломобразуетоптико-электроннуюсистему(ОЭС).Такиесистемыимеютдостаточносложноеустройство[8.1,8.2].Помимоусиленияпотокаизлучения,ониимеютиряддругихназначений,например,гео-метрическуюиспектральнуюфильтрациюпотокаизлучения(диа-фрагмы,фильтры),пространственноесканированиепотокаизлучения,котороеоченьмногообразносамопосебе–вращающиесязеркалаипризмы,вращающиесяинеподвижныерастры,системыобработкиинформациииисполнительныемеханизмы.Оптико-электроннымина-зываютприборы(системы),спомощьюкоторыхсведенияоразмере,форме,положениииэнергетическомсостояниитела,содержащиесявпотокеизлучения,извлекаютсяпутемегоспециальнойобработкиипреобразованиявэлектрическийсигнал,которыйтакжеобрабатывает-сясцельювыделенияизшумовипоследующейрегистрации.
ВобщемслучаеОЭСхарактеризуются:
полемобзора–пространственнымугломсвершинойвцентревходногозрачкаоптическойсистемы,впределахкоторогообъектна-блюденияможетбытьобнаруженОЭС.Полеобзоразадаетсялиболи-нейнымугломрастворасоответствующегопространственногоугла(присимметричномполеобзора),либопроизведениемзначенийли-нейныхугловвдвухвзаимноперпендикулярныхнаправлениях,на-пример,3030,2525;
мгновеннымполемзрения–пространственнымугломсверши-нойвцентревходногозрачкаоптическойсистемы,впределахкоторо-гообъектможетбытьобнаруженвданныймоментвремени;
временемобзора–временемпросмотраполяобзора,илиобрат-
нойвеличиной–числомкадроввединицувремени;
разрешающейспособностью–наименьшимугломмеждудвумяточечнымиисточникамиизлучения,которыемогутбытьраздельно
обнаруженыприбором;
разрешающейсилой–величиной,обратнойразрешающейспо-
собности;
порогомчувствительности–наименьшимпотокомизлучения
илинаименьшейосвещенностью,придействиикоторыхнавходнойзрачокоптическойсистемыОЭСобеспечиваетсязаданнаявероятностьобнаруженияилиточностьвоспроизведенияизображенияцели.Втеп-ловизионныхсистемахпорогчувствительностивыражаетсяразностьютемпературдвухабсолютночерныхтел(АЧТ),которыеудаетсязаре-гистрировать.
ОЭСможноклассифицироватьпообластиспектральнойчувстви-тельности,способуобнаружения,решаемымзадачамиспособуобра-боткиинформации.
Поспектральнойчувствительностиприемникиделятсянаспектральныеиинтегральные.Интегральнымсчитаютприемник,ра-ботающийвнутриодногоспектральногодиапазона,например,видимо-го–0,35…0,78мкмилиинфракрасного(ИК)–3…5мкм.Еслиприем-никиуказанныхтиповустановленысовместно,например,впомехозащищеннойголовкесамонаведенияракетытипа«Стингер»,тоговорятужеомногоспектральнойОЭС.Подспектральнымипонима-ютОЭС,работающиевсравнительноузкойполоседлинволн,хотясамопонятиеузости–весьмаотносительно.Спектральныеприемникиделят[8.4]:
наФПультрафиолетовойобласти–0,01...0,38мкм;
наФПвидимойобласти–0,38…0,78мкм;
наФПИК-области–0,78мкм…1мм.
КИК-системамотносятся,например,приборыночноговиденияисоответствующиеприцелы,работающиенадлиневолныоколо1,4мкм.Вместестем,работатакихприбороввозможнатольковусло-вияххотяиоченьслабой,ноподсветки,например,звезд.ДиапазонсобственнотепловизионныхИКОЭСначинаетсяпримернос3мкм.Этохорошодемонстрируеттепловизионнаякамеранаосновеобъем-ногоInAs,окоторойбудетсказанониже.
ПоспособуобнаруженияобъектанаблюденияОЭСделятся:
наактивные–сиспользованиемискусственнойподсветки,на-пример,лазернаялокация,аналогичнаярадиолокации;
напассивные–сиспользованиемсобственногоизлученияцелиилиестественнойподсветкиокружающейсреды.
ВернемсякспектральнымхарактеристикамОЭС.Помимовидимо-
годиапазона,вближнейИК-областиимеетсяещедвеобластисмалымпоглощениемизлученияватмосфере,такназываемыеокнапрозрачно-сти,расположенныевдиапазонедлинволнприблизительноот2до5мкмиот8до12мкм.ИменнопоэтомукэтимдиапазонампроявляютнаибольшийинтереспотенциальныепотребителиОЭС.Причемболеедлинноволновойдиапазоннаблюдения(8…12мкм)представляетсяболеепредпочтительным,есливажнадальностьнаблюдениявуслови-яхограниченнойвидимости–втумане,дымуит.п.,чтообусловленоменьшимрассеяниемдлинноволновогоизлученияначастицахтумана
ит.д.ЭтотдиапазонвключаетвсебятакжедлинуволныизлученияСО2лазеров–10,6мкм,которыеиспользуютсякакмощныеинеболь-шиеповесуисточникиизлучениядлялазернойлокацииисистемна-ведения.Диапазонсвыше8мкмтакжегораздопредпочтительнейпринаблюдении,например,заработойдвигателялетящейракеты,факелкоторойсильноэкранируетсяпродуктамисгорания.Спектральныйдиапазонболее20мкмиспользуетсядлянаблюденийвкосмическом(втомчислевоколоземном)пространстве,гдеатмосфераотсутствуетиизлучениенепоглощается.
Вэтойкнигемынеобсуждаемпроблему,связаннуюсодновре-меннымпопаданиемнаФПизлученияобъектаиокружающегоегофо-
на,заметимтолько,чтоналичиефона,аимреальновыступаетизлуче-ниеЗемли,ограничиваетспособностьприемниковобнаруживатьизлучениенизкотемпературныхобъектов.
МНОГОЭЛЕМЕНТНЫЕПРИЕМНИКИИЗЛУЧЕНИЯОБЛАСТИПРИМЕНЕНИЯИПРЕИМУЩЕСТВА
Впринципебольшинствозадачпообнаружениюизлучающегообъекта,стоящихпередОЭС,можнорешитьсприменениемодиноч-ногоприемникаизлучения.Однаконапрактикередкоприходитсяиметьделосодиночнойнеподвижнойточечнойцельюсизвестнымикоординатами.Вобщемслучаецельнадонайти,фиксироватьеепере-мещение,определитьформуиспектральныйсоставизлучения.Оче-видно,чтоприиспользованииодиночногоприемникасканирование(т.е.последовательный«осмотр»приемникомпространства)необхо-димо,аэтотребуетусложненияОЭСзасчетвведениямеханической(илидругой)системысканирования.Ужеодноэтообстоятельствоприводитктому,чтодлясозданиятелевизионнойкартиныилителеви-зионногокадравсовременныхсистемах,например,видеокамерах,ис-пользуютсовокупностьприемниковизлучения,расположенныхвпра-вильномгеометрическомпорядке–матрицыФПсразмерностью,равнойразмерностителевизионногокадра.ТогдакаждыйотдельныйФП,входящийвсоставматрицы,вданныймоментвременипринимаетизлучениесэлементарассматриваемогообъекта,асчитываниесигналасовсехэлементовпозволяетсоздатьизображениеобъекта.Дажеприиспользованииматрицыприемниковизлучениявслучаенеобходимо-стисканированиевсе-такиприменяют–такназываемоепокадровоесканирование,когдапослесозданияодногокадраОЭСпросматривает
соседнееповертикалиилигоризонталиполе.Известно,чтосовремен-ныематрицывидимогодиапазонадлинволндостигаютразмерности10001000элементовиболееилучшиеизних,по-видимому,установ-ленынакосмическихаппаратах.Панорамныеснимки,переданныесповерхностиМарса,содержатвсебедесяткиисотникадровуказанно-горазмера,чтоявляетсярезультатомпокадровогосканирования.Вря-деслучаевпокадровоесканированиеобеспечиваетсязасчетдвижениясамогоаппаратасОЭС.
НоупрощениеОЭСприиспользованииматрицыФП–этотолькооднасторонадела.Неменееважноувеличениеотношениясигнал/шум
приодинаковомвремениформированиякадра.Рассмотримэтонапримере.Пустьнеобходимопросмотретьполесчисломэлементовразложения102102=10000иполучитьизображениевтелевизионномстандарте,т.е.25кадроввсекунду.ТогдавремяпросмотраодногоэлементаразложенияприиспользованииодноэлементногоФПсоста-вит410–6с,априиспользованииматрицысчисломФП,равнымчис-луэлементовразложения,–410–2с.
Вглаве6былиприведенырасчетирисунок,показывающий,какнарастаетконцентрацияизбыточныхносителейзарядапослевключения
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|

0,8
U/U0
0,6
0,4
0,2
0t1
2 4t2
t/τ
6 8 10
Рис.8.1.ЗависимостьнарастаниясигналаФПотвремени:
времяпросмотраодногоэлементаизображенияприиспользованииодноэлементногоФП–t1;приис-пользованииматрицы–t2;масштабповременинесоблюден
освещения.Точнотакжебудетзависетьотвремениисигналнавходеусилительноготракта.ЗависимостьсигналаФП,нормированногонамаксимальноезначениеэтогосигналаприданномуровнеосвещенно-сти,отвремени,нормированногоквременижизнинеосновныхноси-телейзаряда(временирелаксациифотосигнала),показананарис.8.1.Вернемсякрассмотренномупримеру.ПриформированиикадраоднимФПвремя«рассматривания»каждогоэлементаизображенияравноt1.ПрииспользованииматрицыФПкаждыйФПматрицы«рассматрива-ет»свойэлементизображениявтечениевсегокадра.Этовремяt2= nt1,гдеn–числоэлементоввматрице.Изрисункаочевидно,чтововто-ромслучаесигналгораздобольше.Таккакчащевсегошумпропор-ционаленкорнюквадратномуизсигнала,тоотношениесигнал/шумвозрастаетпропорциональнокорнюквадратномуизчислаФПвмат-рице.Дляиспользованияэтогопреимуществаиспользуютрежим,ко-торыйбылрассмотренвглаве7икоторыйназываетсярежимомнако-плениязаряда(см.рис.7.27и7.28).Режимнакоплениязарядапозволяеткаждомуфотоприемникуработатьвсевремякадра,участвуявформированииизображения.
Такимобразом,преимуществоматричныхФП,котороедоопреде-
ленногопределаувеличиваетсясростомчислаэлементовматрицы,илиформатаматрицы,обусловливаетогромныйинтерескразработ-камвэтойобласти.
Теперьрассмотримрезультаты,достигнутыевсовременнойфото-электронике.Приэтомнебудемописыватьтолькорекордныерезуль-
таты,ауделимбольшевниманиядостижениямвотечественнойнаукеитехнике.
Изогромногомассиваразработоквэтойобластирассмотримли-нейчатыеиматричныеприемники,чувствительныевдиапазонедо20…25мкм,наосноветвердыхрастворовPb1–xSnxTe:In;чувствитель-ныевдиапазоне8…14мкм,наосноветвердыхрастворовCd1–xHgxTe;вдиапазоне1…3,2мкм,–наосновеInAs.Взаключениебудутизученыпринципы«оцифровки»сигналаиприборы,отображающиеоптиче-скуюинформацию,т.е.дисплеиразныхтипов.
Кромефотоэлектрическихприемниковизлучения,дляполнотыкартиныбудутрассмотреныболометры–одинизвидовтепловыхпри-емниковизлучения.