
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Фотосопротивления
Фотосопротивления,илифоторезисторы,какприемникиизлученияоснованынаиспользованииэффектафотопроводимости.Вглаве6бы-лорассмотреноравновесноесостояниеполупроводников.Вэтомслу-чаетермическогоравновесияэлектрическуюпроводимостьтвердого
тела0
можноопределитькак
0qn0np0pqpbn0p0,
гдеn,p–подвижностьэлектронов(дырок)иbn
p.
ПриприложениинапряжениявобразцеполупроводникавозникнетэлектрическоеполеиэлектрическийтоквсоответствиисзакономОма:
jEqpbn0p0E. (7.3.1)
Приосвещенииполупроводникаизлучением,приводящимквоз-никновениюсвободныхносителейзаряда,проводимостьобразцаи,следовательно,токчерезнегопринеизменномэлектрическомполеувеличатся.Появлениедополнительнойпроводимостиисвязанногосэтимдополнительноготокаподвоздействиемизлученияназываетсяфотопроводимостью.Есликонцентрацияизбыточныхнеравновесных
электронов(дырок)равнащениибудетравна
np,тополнаяпроводимостьприосве-
qpbn0np0p
qpbn0p0qpbnp0,
аполныйтокравен
jqpbn0np0pE0E. (7.3.2)
Величинаизбыточноготока
jE
зависиткакотпараметров
полупроводника,такиотинтенсивностиизлученияиегокоэффициен-тапоглощения.
Фотопроводимостьможновычислитьнаосноверассужденийирасчетовизпредыдущихглав,нонижемысделаемэтоещераз,только
ужедляобразцаконечныхразмеров,т.е.дляреальнойсхемыизмере-нияфотопроводимости.Рассмотримдляэтогосхему,изображеннуюнарис.7.16.
L x
0
Е
d
y
Рис.7.16.Схематическоеизображениеобраз-цаполупроводника,ккоторомуприложеноэлектрическоеполеЕинакоторыйпадает
излучение
Передтемкакперейтикрасчету,необходимосказатьоразличномрассмотренииявленияфотопроводимостивизоляторахиполупровод-никах.Хотяразделениемеждуизоляторамииполупроводникамивдос-таточнойстепениусловное(так,одноитожевеществопривысокойтемпературеможетбытьполупроводником,апринизкой–изолятором),темнеменееоносуществуетиможноопределитьегоследующимобра-
зом.Визолятореконцентрацияравновесныхносителейзарядаобычногораздоменьшеконцентрациинеравновесныхносителей,возбуждаемыхизлучением,тогдакаквполупроводникахситуацияобратная.
Какдлявысокоомных,такидлянизкоомныхматериаловуравне-ниями,описывающимифотопроводимость,являются:
уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок;
уравнения,описывающиедвижениеносителейвэлектрическомполе,т.е.уравнениядляполноготока,включающегоэлектронныйидырочныйкомпоненты.
Крометого,длянизкоомныхматериаловиспользуетсятакжеурав-
нениенейтральностивкаждойточкеобъемаполупроводника,адлявысокоомныхматериалов,гдепроисходитразделениезарядов,–урав-нениеПуассона,котороеопределяеттребования,накладываемыенапространственныйзаряд.
Вкачествебольшинстваприемниковнаосновеэффектафотопро-водимостииспользуютсянизкоомныематериалы,поэтомудалееимен-ноимибудетуделеноосновноевнимание.
ФОТОРЕЗИСТОРЫ
Вглаве6дляоднородноосвещенногополупроводникабылополуче-норешениедиффузионногоуравнения,определяющегораспределениеизбыточныхносителейзаряда.ЕслинаосвещаемойповерхностискоростьповерхностнойрекомбинацииравнаS,аобразецдостаточнотолстый,так
чтовыполняютсяусловияkd
1,dL
1,тораспределениеизбыточной
концентрациипотолщинеобразцазаписываетсякак[7.3]
,
–ys*kLe
L1s*eky
nypyg0
k2L211s*
гдеs*S,аостальныеобозначениявведеныранее.
L
Длярасчетафотопроводимостиважнознатьполноечислонеравно-
весныхдырок(электронов)врасчетенаединицуосвещаемойплоща-
ди.ЭтавеличинаобозначаетсяP
d
иравна
Ppdy. (7.3.3)
0
Длятехжеусловий,прикоторыхполученорешениедля
Pсправедливо:
p,для
P kg0
kLs*kLekdkLs*
1e
kd.
22 *
kL1
1scthd
2L
Рассмотрим,какформируетсясигналвконкретнойцепиприосве-щениифоторезистора.
Схемавключенияфоторезисторапоказананарис.7.17.Падающее
излучениеприводиткуменьшениюсопротивленияфоторезистора
Rф,
чтовызываетувеличениетока,иувеличениепадениянапряженияна
сопротивлениинагрузкиRн
[7.3].
ивходногонапряжениянаусилителе
С
h
Rф Rн
v0
Рис.7.17.Схемавключенияфоторезистора
Еслиизлучениесинусоидальномодулированное,тосигналнавхо-деусилителябудетравен
vус
v0RнR2G
ф

2 2212
RнRф1
где–частотамодуляцииизлучения;–времяжизнинеравновес-ныхносителейзаряда.
Прималыхизмененияхпроводимостимаксимальноенапряжениесигналадостигается,когдасопротивлениенагрузкиравносопротивле-ниюфоторезисторавтемноте.Вэтомслучае
vус
v0RфG
2212
v0b1P
2212
, (7.3.4)
41
4dbn0p01
гдеbn
рок.
p,аn0,p0
равновесныеконцентрацииэлектроновиды-
Впростейшемслучае,когдаскоростьповерхностнойрекомбина-цииравнанулю,напряжениефотосигналаравно
v0b1g01ekd
vус
2212
. (7.3.4а)
4dbn0p01
Максимумфотосигналадостигаетсяпривыполнениисоотношенияbn0p0,чтолегкополучить,дифференцируяравенство(7.3.4а).Таккакобычноподвижностьэлектроноввышеподвижностидырок,тодляоптимизациичувствительностинужноиспользоватьматериалp-типа
проводимости.Приэтомконцентрациядырокдолжнабытьравна
p0nib.
Вольт-ваттнаячувствительностьфоторезисторапринулевойско-ростиповерхностнойрекомбинациизаписываетсякак
v0b11ekd
Sv
8hcwldp0
12212
, (7.3.5)
гдеh–постояннаяПланка;c–скоростьсвета;wl–освещаемаяплощадьфоторезистора.
Обнаружительнаяспособностьфоторезистораприограничении
джонсоновскимшумомпритехжепредположенияхравна
vb11ekdq
12
* 0 p
D
12 12
. (7.3.6)
12
4hcld
2p0kT 122
Каквидноиз(7.3.6),длядостижениямаксимальногозначенияоб-наружительнойспособностинеобходимопомимотребований,обсуж-даемыхвыше,иметькакможноболеевысокоезначениеподвижностидырокиихнизкуюконцентрацию.Припреобладаниигенерационно-рекомбинационногошумаобнаружительнаяспособностьфоторезисто-разаписываетсякак
121ekdn
p12
D*
0 0
12 12
2hcnid 122. (7.3.6а)
Вэтомслучаеобнаружительнаяспособностьслабеезависитотвременижизниинезависитототношенияподвижностей.Концентра-цииравновесныхэлектроновидырокдолжныбытьбольшими.Это
противоречиттребованию
bn0p,котороедолжнобытьвыполнено
дляполучениямаксимальнойчувствительности,инапрактикенеобхо-димоискатьприемлемоедляданногоконкретногослучаякомпро-миссноерешение.
Дляфоторезисторов,ограниченныхэтимивидамишумов,макси-
мумобнаружительнойспособностидостигаетсяпривыполнениира-
венства
kd1,25.Этоозначает,чтоспектральнаязависимостьобна-
ружительнойспособностиопределяетсятолщинойфоторезистора,иее
10810
10
0,5
D,смГц/Вт
610
10
410
*
10210
4000
Sv,В/Вт
3000
2000
1000
0 1 2 3 4 5
d,мкм
Рис.7.18.Зависимостьвольт-ваттнойчувствительно-стииобнаружительнойспособностифоторезистораот
еготолщины:
параметрыфоторезистора:p0=2,251014см–3;ni=41013см–3;μp=200см2/(Вс);b=30;T=80К
нужновыбиратьвсоответствиистребуемымиспектральнымихарак-теристиками.
Нарис.7.18показаназависимостьвольт-ваттнойчувствительности
иобнаружительнойспособностиоттолщиныфоторезистораспара-
метрами,близкимикпараметрамширокоиспользуемоготвердогорас-творакадмий-ртуть-теллурпридлиневолны,соответствующейкоэф-фициентупоглощенияравному1000см–1.
Каквидноизрисунка,обнаружительнаяспособностьимеетмакси-мумпритолщинефоторезистораd~1,25/k,втовремякаквольт-ваттнаячувствительностьуменьшаетсясувеличениемтолщины.