
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Распределениенеравновесныхносителейзаряда
ПРИОПТИЧЕСКОЙГЕНЕРАЦИИ
Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
Приосвещенииполупроводникаэлектронымогутвозбуждатьсякакизвалентнойзонысобразованиемэлектронно-дырочнойпары,такиспримесногоуровнявзонупроводимостисобразованиемсвободно-гоэлектронаизаряженногоцентра.Еслигенерациянеравномерна,то
пространственноераспределениесвободныхэлектроновнеоднородно,т.е.вразныхобластяхполупроводникаконцентрацияэлектроновбудетразная.Из-заэтоговозникаетдиффузиясвободныхносителейзаряда,т.е.перетеканиезарядаизобластейсповышеннойконцентрациейвобласти,гдеихконцентрацияменьше.Первоначальнаяэлектрическаянейтральностьполупроводникаприэтомможетнарушатьсяиз-заоб-разованиятакназываемогообъемногозарядаврезультатепространст-венногоразделенияносителейотрицательногоиположительногозаря-дов.Образованиеобъемногозарядаприводитквозникновениюэлектрическогополя,котороепрепятствуетдальнейшемуперетеканиюносителейзаряда,ивполупроводникедостигаетсястационарноесо-стояние.Пригенерацииэлектронно-дырочныхпарперемещаютсяиэлектроны,идырки,поэтомуобъемныйзарядможетсуществоватьтолькозасчетразнойподвижностиэлектроновидырок,иеговеличи-намала.Рекомбинацияэлектронно-дырочныхпарможетпроисходитьназначительномудаленииотместагенерации.Припримесномвозбу-ждениизаряженныепримесидвигатьсянеспособны,ноисвободныенеравновесныеносителизаряданемогутвследствиекулоновскогопритяженияудалитьсядалекоотсвязанногозаряда.Повышеннаякон-центрациянеравновесныхносителейзарядаиихрекомбинациялока-лизованывобластигенерации.
Описаниепространственногораспределенияносителейзарядаос-нованонауравненияхнепрерывностиидиффузионномуравнении.
Возникающийиз-заградиентаконцентрацииэлектронов(дырок)диффузионныйтокможетбытьзаписанкак
jdnqDngradn;jdpqDpgradp,
гдеDn,p–коэффициентдиффузииэлектронов(дырок).
Вэлектрическомполеобъемногозарядавозникаеттокпроводимо-стиили,какегоещеназывают,дрейфовыйток:
jnEqnnE;jpEqppE.
Полныйэлектрическийтоксостоитизсуммыдиффузионногоидрейфовоготока,и водномерномслучаеэлектронныйидырочныйкомпонентытокаравнысоответственно:
j q
nED
dn
nx
n ndx;
j q
pED
dp
px
p pdx.
Досихпормырассматривалиизменениеконцентрациисвободныхносителейзаряда,котороепроисходитзасчетихгенерациииреком-бинации,инеучитывалиролидиффузииидрейфа.Однакопринали-чиитокачислоносителейзаряда,входящихврассматриваемыйобъем,можетинеравнятьсячислуносителей,выходящихизнего.Такоесо-стояниесвязаноспространственнойнеоднородностьютока,иизмене-ниеконцентрациисвободныхносителейзарядаописываетсядиверген-циейтока,котораяравна
n1divj1
t q qx
jxy
j
y z
jz.
Тогдавобщемслучаеприналичиигенерации,рекомбинацииито-каможнонаписатьтакназываемыеуравнениянепрерывности–какдляэлектронов,такидлядырок:
n1divj
gn;
t q n
(6.3.1)
p1divj
gp.
t q p
Встационарномсостоянии,когда
n0;
t
p0,уравнениянепре-
t
рывностидляодномерногослучая,длякоторогообычноиведутсярасчеты,записываютсякак
–1divj
gn;
q n
(6.3.2)
1divj
gp.
q p
Уравнениянепрерывности(6.3.2)отражаютфактсохранениявста-ционарномсостояниичислаэлектроноввлюбомданномобъемерас-сматриваемогополупроводника:потокэлектронов(дырок),вытекаю-щихизобъема,равенчислуэлектронов,возникшихзасчетгенерации,завычетомэлектронов,рекомбинировавшихвэтомобъеме.
Объемнаягенерация
Намнужноопределить,какзаписатьфункциюгенерацииg,кото-раявходитвуравнениенепрерывностиикотораяравнаконцентрации
носителейзаряда,возникающихподвоздействиемизлученияведини-
цеобъемавединицувремени.
Рассмотримпростейшийодномерныйслучайполупроводника,по
всейплощадиоднородноосвещенногоизлучением,котороегенериру-етэлектронно-дырочныепары(см.рис.6.11).Интенсивностьсветавглубинеполупроводникаприпоглощенииубываетпоэкспоненциаль-номузаконуБугера–Ламберта:
IxI0expx,
(6.3.3)
где–коэффициентпоглощенияизлучениявданнойсреде,а
I0–
интенсивностьизлучения(плотностьквантов),падающихнаединицуплощадивединицувремени.
Такимобразом,дляплотностифотоноввкаждомсечении,перпен-дикулярномраспространениюизлучения(рис.6.21,а),можнозапи-сать:
NxN0ex,
гдеN0–плотностьпадающихфотоновнаединицуплощадивединицувремени.
Другимисловами,
Nx
вкаждомсеченииестьплотностьпро-
шедших,илинепоглощенных,фотонов
Nпр.Тогдаплотностьпогло-
щенныхфотонов
Nпогл
навсемрасстояниидоэтогосеченияилиплот-
ностьгенерацииэлектронно-дырочныхпарравна:
NпоглxN0NпрN01ex.
а h
1,0
Nпр/N0,Nпогл/N0
0,6б
0,4
0
Полупроводник
Nпогл/N0
Nпр/N0
0 2 4 6 8 10
αx
Рис.6.21.Зависимостьнормализованнойплотностипрошедшихипоглощенныхфотоновотпроизведе-ниякоэффициентапоглощениянарасстояние
отповерхности
Нарис.6.21,бпоказаназависимостьплотностипрошедшихипо-глощенныхфотоновотпроизведениякоэффициентапоглощенияна
расстояниеотповерхности.Каквидноизрисунка,припроводникепоглощаетсяпрактическивсеизлучение.
x=5вполу-
Из(6.3.3)следует,чтобезучетакоэффициентаотраженияколиче-
ствоквантов,поглощенныхнарасстоянииотxдо(xdx)
вединицу
времени,равно
IxI(xdx).УчеткоэффициентаотраженияR
уменьшаетчислоквантов,проходящихвобъемполупроводникав
1R
раз.Таккакобъемполупроводника,вкоторомпоглощается
данноечислоквантов,приединичнойплощадиравенdx,см3,тогене-рацияgсучетомтого,чтоdx0,равна
1 IxIxdx 1
x1edx
g R
dx RI0e dx
1RI0exg0ex.
(6.3.4)
В(6.3.4)неявноподразумевается,чтоикоэффициентотражения,икоэффициентпоглощениязависятотдлиныволныизлучения.Очевид-но,чтоприрасчетахфотоэлектрическихсвойстввовниманиедолженприниматьсятолькототкоэффициентпоглощения,которыйприводиткобразованиюсвободныхносителейзаряда.