
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Рекомбинациячерезлокальныецентры
Передтем,какперейтикрассмотрениюрекомбинациичерезло-кальныецентры,обсудим,вчемзаключаетсяглавнаяпроблемаприрекомбинациивозбужденныхносителейзаряда.Прирекомбинациивыделяетсяэнергияипереходизвозбужденноговосновноесостояниедолженпроисходитьсвыполнениемзаконовсохраненияэнергиииимпульса.Вышерассматривалисьдватипарекомбинации:излучатель-наяиОже.Впервомслучаерекомбинируютэлектронидыркасрав-нымиипротивоположнонаправленнымиимпульсамииприэтомвы-деляетсяквантсветасимпульсом,близкимкнулю,носэнергиейравнойтой,котораявыделяетсяприрекомбинации.Вовторомслучае
выполнениезаконовсохраненияобеспечиваетсятем,чтовзаимодейст-вуюттричастицысопределеннымизначениямиэнергиииимпульса.Однакодлянеслишкомсильнолегированныхполупроводниковсши-ринойзапрещеннойзоныравной1...2эВрасчетыпоказали,чтозначе-ниявременижизникакдляизлучательной,такидляОже-рекомбинациизначительнобольше,чемполученныеизэксперимен-тальныхданных.Крометого,вбольшинствеслучаевнаблюдаетсябезызлучательнаярекомбинация.
Основнаяпроблемаинтерпретациибезызлучательнойрекомбина-
циизаключаетсявследующем.Соднойстороны,энергиядолжнабыть
переданафононам–тепловымколебаниямрешетки,нопроцесс,со-провождающийсяпередачейэнергиибольшомучислуфононов,мало-вероятен,апередатьэнергию,примерноравнуюширинезапрещеннойзоны,одномуфононуневозможноиз-затого,чтофононовстакойбольшойэнергиейнесуществует.
Мынебудемздесьрассматриватьмодели,наосновекоторыхвтойилииноймередаетсяинтерпретациябезызлучательнойрекомбинации.
Отметимтолько,чтоужедавнотвердоустановлено,чтовпроцессахрекомбинациивбольшинствеслучаевопределяющуюрольиграетна-личиелокальныхцентров,впервуюочередьпримесныхатомов.Крат-коостановимсянаклассификациипримесныхцентров.
Примесныецентрымогутбытьдвухтипов–донорныеиакцептор-ные.Вчастности,вклассическихполупроводникахIVгруппыперио-дическойсистемы–кремнииигермании–донорамиявляютсяэлемен-тыVгруппы–P,As,Sb.Вотличиеоткремнияигерманияатомыэтихэлементовимеютнапоследнейоболочкенечетыреэлектрона,апять.ЗамещаяврешеткеатомыSiилиGe,этипримесимогутотдатьлишнийэлектронвзонупроводимости.Наоборот,атомыэлементовIIIгруп-пы–B,Al,Ga,In,имеющиетривалентныхэлектрона,являютсяакцеп-торами.ПризамещенииврешеткеатомовGeилиSiонимогутзахва-титьнедостающийэлектрон,оставивввалентнойзонепустоеместо–дырку.ЗарядостоваP,As,Sbнаединицувыше,чемзарядGeилиSi.Поэтомудонорпритягиваетлишнийэлектрон.ЗарядостоваB,Al,Ga,In,наоборот,наединицуниже,чемуGeилиSi,т.е.онимеетэффек-тивныйотрицательныйзарядипритягиваетобразовавшуюсядырку.Энергиюсвязанногоэлектронаилидыркиможнорассчитать,т.е.рассчитатьэнергию,необходимуюдляионизациидонораилиакцепто-ра.Этазадачааналогичназадачеобэнергииионизацииводородопо-
добногоатома,гдеэнергиявзаимодействияэлектрон–ядросзарядомZ
равна:
Z2me4
Ei
22.
Энергияионизациипримесидляводородоподобноймоделибудетопределятьсяаналогичнойформулойсзаменоймассысвободногоэлектронанаэффективнуюмассуисучетомдиэлектрическойпрони-цаемостисреды:
Z2me4
Ei 22.
m0
Так,дляn-Ge
(m/m00,2;16)
рассчитаннаяпоэтойформуле
энергияионизациисоставляетEd
0,01эВ.Экспериментальныедан-
ныепоказывают,чтовгерманиидонорыVгруппыимеютблизкуюкэтой величине энергию ионизации, лежащую в интервале
0,01...0,013эВ. Для кремния
(m/m00,3;12)
расчет дает
Ed 0,03
эВ,чтотакжедовольнохорошосогласуетсясэксперимен-
том–0,04...0,05эВдляразныхпримесей.
Аналогичнымобразомрассчитываетсяиэнергияионизациидыркисучетомсоответствующейэффективноймассы.Расчетдлягермания
даетEа=0,015эВ,тогдакакэкспериментальныеданныедляэлементовIIIгруппыпримерновполтораразанижеилежатвинтервале0,010...0,011эВ.Дляp-SiрасчетдаетEа=0,05эВ,аэксперименталь-ныеданныеменяютсяот0,054до0,065эВ,т.е.тожехорошосогласу-ютсясрасчетом.ИлишьэкспериментальнаяэнергияионизацииIn(0,16эВ)заметноотличаетсяотрасчетной.
Частичнорасхождениезначенийпростейшегорасчетасэкспери-
ментомсвязаносособенностямизоннойструктурыгерманияикрем-ния,асущественноеразличиедляp-Si,зависящееоттипапримеси,связаностем,чтоврасчетеполепредполагалоськулоновскимналю-бомрасстоянииотатомапримеси.Насамомделепринебольшомрас-стоянииотатомапримесиокружающиеегоэлектроныслабееэкрани-руютполеядра(меньше,чемсредняявформуледляэнергии),асилапритяжениявозрастаеттемсильнее,чембольшезарядядраZe.Всоот-ветствиисэтимсростоматомногономерапримесирастетиэнергияионизации.
Темнеменееприведенныерасчетыиэкспериментальныеданныепоказывают,чтоодноэлектронныедонорыиакцепторы,образованныеатомамипримесиVиIIIгрупп,лежаточеньблизкооткраевсоответ-ствующихзон–примерно1/30отширинызапрещеннойзоны.Такиеуровниназываютсямелкими.Именноэтипримесиобычноиспользуютдляполучениягерманияиликремниясзаданнымиконцентрацияминосителейзаряда.Этиуровниприкомнатнойтемпературевосновномионизованыилегкообмениваютсяносителямизарядасосвоейзоной(из-замалойразностиэнергии,которуютребуетсяотдатьилиполучитьприпереходенауровеньиобратно).Так,времярекомбинацииэлек-тронанадонорныйуровеньвгерманиисоставляетменее10–9с.
Вместестемтакиецентрынемогутэффективноспособствоватьрекомбинацииэлектронасдыркой.Действительно,дляпереходаэлек-тронастакогоуровняввалентнуюзону(чторавносильнозахватудыр-ки)емутребуетсяотдатьэнергию,близкуюкширинезапрещенной
зоны,т.е.такоймеханизм,впринципе–реализуемый,будетблизокпохарактеристикамкизлучательнойилиОже-рекомбинации,временажизникоторыхвширокозонныхполупроводникахобычновеликида-жеприкомнатнойтемпературе.Поэтомурекомбинациичерезпримес-ныеуровниспособствуютуровни,находящиесяблизкоксерединеза-прещеннойзоны,которыенеобразуютсявкремнииигерманииодноэлектроннымипримесями.
ВкремнииигерманиитакиеуровнимогутдаватьэлементыIгруп-
пыCu,Au–акцепторы,иэлементыVIIиVIIIгрупп–Mn,Fe,Co,Ni,Pt,являющиесядонорами.Особенностьэтихпримесей–вспособностиотдаватьилизахватыватьнесколькоэлектроновилидырок.
Например,одновалентныйатоммедивгерманииможетсвязатьва-лентнымисвязямитриэлектрона,оставляявалентнойзонетридырки.Образовавшийсяприэтомцентрсзарядом–3eможетзахватитьпосле-довательноодну,двеилитридырки.Положениеэтихуровнейвза-
прещеннойзонезависитотзарядового состояния(рис.6.16).
Самыйнизкийоткраявалентнойзоныуровеньсоответствуетзаря-ду–1e(захваченодинэлектронили,чтотожесамое,возбужденаодна
дырка),
E1Ev0,04
эВ,далееследуютуровни
E2Ev0,32и
E3Ev0,46
эВ(захваченодваитриэлектрона).Видно,чтоположе-
ниевторогоуровняблизкоксерединезапрещеннойзоны,аегоиониза-ция,какитретьегоуровня,возможнапритемпературах,когдапрово-димостьсравнимассобственной.СтруктурауровнейAu(тожеIгруппы)
Е
Зонапроводимости
ЕС
Е3
Е2
Е1
Еv
Валентнаязона
Рис.6.16.Уровнипримесногоатомамедивгермании:
E1Ev0,04эВ;E2Ev0,32эВ;
E3Ev0,46эВ
вгерманииещесложней,но,аналогичномеди,имеетсянаборуровней,лежащихдалекооткраевзапрещеннойзоны.
Энергияактивацииглубоколежащихуровнейзначительнобольше,чемдаетводородоподобнаямодель.Этосвязанокакстем,чтосрос-томэнергиирастетэффективнаямасса,такистем,чтопривозраста-ниизарядаостоваотклонениеполявблизиатомапримесиоткулонов-скогостановитсясильнее.
Описанныеглубокиеуровниявляютсяэффективнымицентрамирекомбинации,таккакониспособнызахватыватьиэлектроны,идыр-ки.Например,атоммедивгермании(рис.6.16)можетзахватитьдыркунанаиболееглубокийуровеньE3,азатемотдатьеевзонупроводимо-сти,чтоэквивалентнозахватуэлектронаиззоныпроводимости.Приэтомконцентрацияисвободныхэлектронов,исвободныхдырокуменьшится.ЭтотжеатомможетзахватитьдыркунауровеньE2спо-следующимзахватомэлектрона.Наличиенесколькихуровнейнаод-номцентреможетсущественносказыватьсянарекомбинационныххарактеристиках.Однакообычноглавнуюрольиграетуровень,наибо-лееблизкийкуровнюФерми.
Далеедляпростотырассмотримслучай,когдарекомбинацияпро-
исходитнацентраходноготипасконцентрацией
Nt,которыемогут
бытьлишьоднократнозаряженыиимеютлишьодинуровень,нахо-дящийсянарасстоянииEtнижедназоныпроводимости.Длятакогослучаякаждыйпримесныйцентрхарактеризуетсядвумясечениями
захвата:сечениемзахватаэлектрона
qnNt,когдауровеньсвободен,и
сечениемзахватадырки
qpNt,когдауровеньцентразанятэлектроном.
Вслучаедонорногоцентраможноожидать,чтосечениезахватаэлек-
тронабудетбольшесечениязахватадырки(qnNt
qpNt
)ичтодляак-
цепторногоцентравыполняетсяобратноесоотношение.Этосвязаностем,чтоеслинадонорномцентреотсутствуетэлектрон(анаакцеп-торном–дырка),тоонзаряженположительно(акцепторный–отрица-тельно)икулоновскоевзаимодействиеувеличиваетсоответствующеесечениезахвата.Нарис.6.17представленаэнергетическаядиаграммаполупроводникасоднимвидомцентров,которыеназываютсятакжеловушками,ипоказанывсевозможныепереходыэлектронов.
Е
Зонапроводимости
ЕС
1 3 4
Еt
2 5 6
Еv
Валентнаязона
Рис.6.17.ВозможныепереходывполупроводникесоднимтипомловушекМ[6.2]:
1–переходэлектронаизвалентнойзонывзонупроводимо-сти;2–рекомбинациязона–зона;3–переходэлектронасуровнейловушеквзонупроводимости;4–захватэлектронанауровниловушек;5–переходэлектронаизвалентнойзонынауровниловушек(переходдыркисуровнейловушеквва-лентнуюзону);6–переходэлектронасуровнейловушекввалентнуюзону(захватдыркинауровниловушек)
Впринципевозможнышестьпереходов.Триизних(переходы1,3,
5)требуютзатратыэнергииимогутпроисходитьподвоздействиемтеплаилисвета,адругиетри(2,4,6)происходятсвыделениемэнер-гииввидесветаилитепла.
Обозначимполнуюконцентрациюловушеккак
Nt,концентрацию
электроновнанихкакnt,концентрациюсвободныхэлектроновиды-роккакnиp,аэффективнуюплотностьсостоянийвзонепроводи-
мостиивалентнойзонекакNC
иNv.Равновесныезначенияконцен-
траций(втепловомравновесии)обозначимкак
nt0,n0,p0
ит.д.
Расчетывременижизнидлярекомбинациичерезлокальныецентрыпроведемдляслучаямонохроматическоговозбуждения,чтоограничи-ваетчислопереходов,возбуждаемыхизлучением.Так,прианализепереходовссобственнымпоглощениембудемсчитать,чтоподвоздей-ствиемизлученияосуществляютсятолькопереходы1нарис.6.17,нопереходыэлектронов3и5происходятисключительноподвоздейст-виемтепловыхколебанийрешетки.Нестанемрассматриватьреком-бинационныйпереход2иззоныпроводимости,считая,чтовремяжиз-нитакогопереходавеликопосравнениюсовсемиостальными.
Такимобразом,созданамодельдлярасчетов.Светпереводитэлек-троныизвалентнойзонывзонупроводимости(процесс1).Электрониззоныпроводимостиможетзахватыватьсяловушками(процесс4),послечеголибовыбрасываетсязасчеттепловыхколебанийназад,взонупроводимости(процесс3),либорекомбинируетсдыркойвва-лентнойзоне(процесс6).Извалентнойзоныподвоздействиемтеплаэлектронможетперейтинауровеньловушек(процесс5),ноневзонупроводимости.
Расчеткинетикипереходов
Запишеминтенсивностивсехпереходоввсоответствиисэтоймо-делью.Однакопередэтимболеедетально,чемэтосделаноранее,оп-ределимосновныепонятияисоотношения,применяемыедлярасчета.
Еслискоростьдвиженияэлектрона(дырки)поотношениюкцен-
трузахватаравна
v (v ),тоусредненныйкоэффициентзахвата
nNt
pNt
(рекомбинации)электронаилидыркинаэтицентрыравенсоответст-
венно
nNqnNvnN
или
pNqpNvpN,где
qnN,qpN
–определенные
ранеесечениязахватаэлектронаидыркиданнымцентромзахвата,аподстрочныйиндексtвовсехслучаяхмыдлякраткостиопустили.Среднеевремязахватаэлектрона,находящегосявзонепроводимости(дыркиввалентнойзоне),будетобратнопропорциональнокоэффици-ентузахватаиконцентрацииэлектронов(дырок)вразрешеннойзоне,т.е.времязахватасвободногоэлектрона(дырки)поотношениюкдан-номуцентрузахватаможнозаписатькак
CN
1 ;
nNpt
vN
1
pNnt
. (6.2.24)
Очевидно,чтовремяжизнисвободныхносителейзарядавразре-шенныхзонах,определенноепо(6.2.24),неявляетсяконстантоймате-
риала,таккакзависитотконцентрацииэлектроновналовушках
nt,
оносамозависитотинтенсивностиизлучения,времениииныхпара-метровипоэтомуявляетсямгновеннымвременемжизни.
Ловушки,свободныеотэлектронов(пустыеловушки),концентра-циякоторыхравна(Ntnt),способнызахватыватьэлектронызоны
проводимости,аловушки,занятыеэлектронамисконцентрацией
nt,
способнызахватыватьдыркиизвалентнойзоны.Интенсивностьтакихзахватов(процессы4и6нарис.6.17)вединицеобъемавединицувремениравна
R
nNnn
CN nN(t t) ;
CN
(6.2.25)
R
pnp
vN pN t
.
vN
Определимтеперьинтенсивностьтепловыхзабросов(процессы3и5нарис.6.17).Будемсчитать,чтовероятностьтепловогозабросасуровняловушекэлектронавзонупроводимостиидырки–ввалентнуюзонуодинаковадляравновесныхидлянеравновесныхносителейзаряда.По-этомуопределимсначаласоотношениекоэффициентоврекомбинации
(CN
иvN)ивероятностьтепловыхпереходовизловушеквзоныв
тепловомравновесиивотсутствиеосвещения.Дляэтого,используяпринципдетальногоравновесия,запишемизменениеконцентрацииэлектроноввзонепроводимостиприобоихпроцессах3и4:
dn0
dt
NCnt0
–nN
n(N
tnt0)
, (6.2.26)
гдеNC
–коэффициенттепловогозабросаэлектронасуровняловушек
взонупроводимости,аиндекс«0»обозначаетравновесноесостояние.
Встационарномсостоянии
dn00
dt
ииз(6.2.26)можнополучить,
что
nt0Nt
NC
1.Сдругойстороны,втепловомравновесии
nNn0
nt0
Nt
expEtEF1
.Изэтихдвухуравненийможнополучитьвы-
kT
ражение для коэффициента тепловых переходов:
n
EtEF. Так как в отсутствии вырождения
NC nN
0exp kT
EFEC
n0NCexp kT
,окончательноевыражениедля
NC
записыва-
етсякак:
N
EE
. (6.2.27)
NC nNCexpt C
kT
Прирассмотрениирекомбинационныхпроцессоввводитсяэффек-тивнаяплотностьсостоянийвзонепроводимости,«приведенная»к
t C
EEуровнюловушекМ:
NCMNCexp
,величинакоторойчис-
kT
ленноравнаконцентрацииэлектроноввзонепроводимости,когдауровеньФермисовпадаетсуровнемловушек.Аналогичнымобразомвводитсяэффективнаяплотностьсостоянийввалентнойзоне,«приве-денная»куровнюловушекМ:
EE
t
PvMNvexp
v .
kT
Длятепловыхпереходов,какидлярекомбинационныхпроцессов,можноввестивремяжизниэлектронов(дырок)науровнеловушекдопереходавсоответствующуюзону:
MC
1 ;
nNNCM
(6.2.28)
Mv
1 .
pNPvM
Выведенныесоотношенияполученыпритепловомравновесиисис-темы.Длянеравновеснойситуациивводитсяпредположениеотом,чтовсеуравнениясохраняютсилупригенерацииносителейзаряда,когда
nn0n;
ntnt0nt;
pp0p.
Используявсеполученныевышесоотношения,можнозаписатьсистемууравнений,описывающихизменениеконцентрацииэлектро-новвзонепроводимостииналовушках,атакжедырокввалентнойзоне,ккоторымдобавляетсяусловиесохранениянейтральности,т.е.сохранениеполногозаряда:
dng
np nN
dt
nN t nNtCM;
dn
npn nN
– np pP
t
nN t nNtCM pNt pNt
vM;
dt
dpg
np pP
(6.2.29)
dt
pNt pN t
vM;
nntp.
Решение(6.2.29)призаданныхначальныхусловияхиинтенсивно-стигенерацииотвременипозволяетполностьюописатьпроцессизме-ненияносителейзарядакаквразрешенныхзонах,такиналовушках.
Рассмотримсначаластационарноесостояние.Небудемпроводить
детальныевычисления:онидостаточнопросты.Ограничимсялишьописаниемпоследовательности операций. Извторогоравенства
(6.2.29)при
dnt0
dt
можноопределитьконцентрациюэлектронов
идырокналовушкахи,подставляяполученныезначениевпервоера-венство(6.2.29),получитьокончательно:
nNpNnpNCMPvM
Nt
pP
nN
g. (6.2.30)
pN vM nN CM
Определениевременижизнииз(6.2.30)вобщемвидезатрудни-тельно,поэтомунижебудутрассмотреныдваосновныхприближения.
Времяжизнивслучаемалойконцентрацииловушек
Рассмотримслучай,когдаконцентрацияловушекмала,иееизме-нениеникакневлияетнаконцентрациюносителейзарядавразрешен-
ныхзонах,т.е.
nt
n,p.Действительно,вомногихслучаяхкон-
центрацияцентроврекомбинациидостаточномалаивGeиSiобычнонепревышает1012см–3,чтоневеликодажепосравнениюсконцентра-циейнеравновесныхносителейзаряда.Тогдасправедливосоотноше-
ние
np.Рассмотрениерекомбинациичерезпримесныецентрыв
этомслучаеназываетсямодельюШокли–Рида.Дополнительноможноотметить,чтообычновтехнологическихпроцессахстараютсяполу-читьисходныеполупроводникипредельнойчистотыспоследующимдозированнымлегированиеммелкимипримесями.Такимобразом,примеси,отвечающиезарекомбинациючерезпримесныецентры,яв-ляются,какправило,фоновымивследствиенедостаточнойочисткиисходногоматериала,иихконцентрациядействительночастоневели-капосравнениюсконцентрациейнеосновныхносителейзаряда.След-ствиеммоделиШокли–Ридаявляется то,чтовпроцессерекомбинациистепеньзаполнениярекомбинационныхцентровпрактическинеменя-етсяиостаетсякакразтакой,чтобычислоприходящихнацентрыэлектроноввединицувремениравнялосьчислууходящих.
Величинавременижизниносителейвстационарномсостоянии
(см.,например,(6.1.12))можетбытьзаписанакакn.
g
Подставивсюда значение g из(6.2.30)и учитывая,что
NCMPvMn0p0,получимвыражениедлявременижизни:
n0NCMn
pNNtn0p0n
p0PvMn
nNNtn0p0n
. (6.2.31)
Величины 1
pNNt
и 1
nNNt
имеютсмыслвременижизнидырокв
валентнойзонепоотношениюкзахватуналовушки,полностьюза-полненныеэлектронами,ивременижизниэлектроноввзонепроводи-мостипоотношениюкзахватунаполностьюпустыеловушки,т.е.длядвухпредельныхслучаевзаполненияловушек.Обозначивэтивеличи-
ныкаквиде:
p0
иn0,выражение(6.2.31)можнозаписатьвследующем
p0
n0NCMn
n0p0PvMn. (6.2.32)
n0p0n n0p0n
Малыйуровеньинжекцииnn0,
p0)
Прималомуровнеинжекции,пренебрегаяв(6.2.32)избыточнойконцентрациейn,получим,чтовремяжизнизависитотравновеснойконцентрацииэлектроновидырокиотэнергетическогоположенияловушек.
p0
n0NCMn0p0
n0
p0PvM
n0p0
. (6.2.32а)
Другимисловами,прификсированнойэнергиизалеганияловушеквремяжизнизависитотположенияравновесногоуровняФерми(рис.6.18).Дляопределенностиположениеуровняловушекзафикси-ровановверхнейчастизапрещеннойзоны.
ПоотношениюкизменениюуровняФермизапрещеннуюзону
можноусловноразделитьначетыреобласти.КогдауровеньФерми
лежитмеждузонойпроводимостииуровнемловушек(область1),времяжизнипостоянноиравно:
1p0. (6.2.33)
Действительно,вэтомслучаеловушкипрактическиполностьюза-
нятыэлектронамиивремяжизнидолжнобытьравно
p0поопределе-
нию.Тожесамоевытекаетииз(6.2.32),таккакприположенииуровня
Фермивобласти1выполняетсянеравенствоn0
p0,NCM,PvM.
ЕF
Зонапроводимости
ЕС τ
p0 1
Еt τ
2
Еi
3
Е
*t
Е
τn0 4v
Валентнаязона
lnτ
Рис.6.18.Зависимостьвременижизниприрекомбинациичерезлокальныецентры
ЕслиуровеньФерминаходитсявобласти2,товыполняетсянера-
венствоNCM n0
p0,PvM.Вэтомслучаевремяжизниравно
NCM
EtEF. (6.2.33а)
2 p0n
p0exp kT
0
Изэтоговыражениявидно,чтовремяжизниэкспоненциальнорас-тетприперемещенииуровняФермиксерединезапрещеннойзоны.ПридостиженииуровнемФермисерединызапрещеннойзоны,какэто
видноиз(6.2.32а),p0
NCM
2n
1.
n02n
i i
ПриразмещенииуровняФермивобласти3полупроводникстано-
витсядырочнымивыполняетсянеравенство
NCM
p0 n0,PvM.При
этихусловияхвремяжизниможетбытьзаписанокак
NCM NС
EFEt
p
, (6.2.33б)
3 p0
0
p0Nv
exp
kT
гдеEt
–виртуальныйуровень,расстояниекоторогоотпотолкава-
лентнойзоныравнорасстояниюотреальногоуровняEt
проводимости(рис.6.18).
додназоны
Наконец,вобласти4,когдаконцентрациядыроквозрастаетна-
столько,чтосправедливонеравенство
p0n0,NСM,PvM,времяжиз-
ни,какиприуровнеФермивобласти1,постоянноиравно
4n0. (6.2.33в)
Полученныесоотношенияпозволяютнетолькопроанализироватьзависимостьвременижизниприрекомбинацииналокальныхцентрахоттипаполупроводникаиконцентрацииносителейзарядавнем,нои,чтонеменееважно,определитьзависимостьвременижизниоттемпе-ратуры.
Температурнаязависимостьвременижизни
Рассмотримдляопределенностиполупроводникп-типапроводи-мости,вкоторомприповышениитемпературынаблюдаютсявсеоб-ластиизмененияконцентрации:ростконцентрациивпримеснойоб-ластиприсамыхнизкихтемпературах,постоянствоконцентрацииприполнойионизациипримесейинаконецсобственнаяпроводимость.
Температурнаязависимостьконцентрацииэлектроноввтакомпо-
лупроводникепоказананарис.6.19,а.
Нарис.6.19,бприведеноположениеуровняФермидляполупро-
водникап-типапроводимостисоднимдонорнымуровнем
Ed,кото-
рыйопределяетконцентрациюэлектроновпринизкихтемпературах,и
суровнемловушек
Et.ПринизкихтемпературахуровеньФермина-
ходитсяпосерединемеждудномзоныпроводимостиидонорным
уровнем,асповышениемтемпературыстремитсяксерединезапре-
щеннойзоныEi.
Изменениевременижизниоттемпературыпоказанонарис.6.19,в.Дотехпор,покауровеньФермирасположенвышеуровняловушек
(области1и2нарисунке),выполняетсясоотношениеn0
p0,
NСM,PvM
ивремяжизниp0.
Придальнейшемростетемпературы(область3)концентрацияэлектроновостаетсяпостоянной,ауровеньФермипересекаетуровеньловушекистремитсяксерединезапрещеннойзоны.Начинаетвыпол-
нятьсядругоесоотношение
NСM
p0 n0,PvM
ивремяжизниначи-
EtEF
наетэкспоненциальновозрастать,как
p0exp kT
.Наэтом
lnn0
a
ЕС
Еd
Еt
Еi
Еv
lnτ
ЕF
4 3 2 1
1/T
б
1/T
Рис.6.19.Зависимостьравновеснойконцентра-цииэлектронов(а);положенияуровняФерми(б)ивременижизнирекомбинациичерезлокальные
центры(в)оттемпературы
участкеможнопоэкспериментальнымданнымопределитьэнергиюактивацииловушек.
Научасткесобственнойпроводимости(область4)времяжизни
сначалаэкспоненциальноуменьшается,азатемстремитсякпостоян-номузначениюp0n0.
Произвольныйуровеньинжекции(nn0,p0)
Из(6.2.32)легкополучить,чтоприбольшомуровнеинжекции
времяжизни,котороеобозначаетсякак,
равно:
1pNnN
p0n0 . (6.2.34)
Nt
pNnN
Такимобразом,прибольшихуровняхинжекциивремяжизнинезависитниотконцентрацииэлектронов,ниоттемпературы,аопреде-
ляетсяисключительноконцентрациейисечениямизахваталовушек,втовремякакприизлучательнойрекомбинациивремяжизниобратнопропорциональноконцентрациинеравновесныхносителей.
Дляслучаяпроизвольногоуровняинжекции,т.е.дляточногоопре-делениявременижизни,нужнопользоватьсявыражением(6.2.32).Егоможнозаписатьвследующемвиде:
1an, (6.2.35)
гдеa
p0n0
01bn
иb
1 ,а
0–время
p0n0NCMn0n0PvM
n0p0
жизнипрималыхуровняхинжекции–определяетсявыражением(6.2.32а).
Нарис.6.20представленазависимостьвременижизниотположе-
нияуровняФермиитемпературы.Закрашенныенарисункеобласти
τ

0
τ
а
lnτ
3 2 1
Е Е
ЕF С
τ0
τ б
2 1
1/T
Рис.6.20.ЗависимостьвременижизниприрекомбинациичерезлокальныецентрыотположенияуровняФерми(а)итемпературы(б)припроизвольномуровнеинжекции:
1,3–ab>1;2–ab<1
представляютсобойвесьдиапазонизменениявременижизниприпе-реходеотнизкогоуровняинжекцииквысокому.Принизкомуровне
инжекциивремяжизниравно,какэтобылопоказано,
0,апривы-
соком–
.Стрелкаминарисункепоказанонаправлениеизменения
временижизниприувеличенииуровняинжекции.Изрисункавидно,чтовремяжизнипринизкихтемпературахможетрастисповышениемуровняинжекции,нотолькопривыполнении соотношенияab1.
Стационарнаянеравновеснаяконцентрацияпрималыхиприболь-шихуровняхвозбуждениялинейнозависитотинтенсивностигенера-
ции,новвыражение
nстgвходятразличныевременажизни:
0–прималоми
–прибольшомуровневозбуждения.Вза-
висимостиотсоотношенияэтихвременходзависимости
nст
воблас-
типромежуточныхинтенсивностейбудетразным:сублинейнымпри
0
исуперлинейнымпри0.
Перечислимхарактерныеособенностирекомбинациичерезло-кальныецентры.
Этоттипрекомбинацииможетигратьопределяющуюрольвширокозонныхполупроводниках.
Рекомбинациянеравновесныхносителейосуществляетсячерез
глубокиеуровнивзапрещеннойзоне,концентрациякоторыхможетбытьиневысокой.Этиуровнимогутсоздаватьсямногозарядовымицентрами,собственнымидефектамиикомплексамидефектов.
Максимумвременижизнипрималомуровневозбуждениядос-тигаетсявсобственномполупроводнике.Времяжизниуменьшаетсяприповышенииконцентрацииосновныхносителейзаряда,однако
слабее,чемдлярекомбинацийизлучательнойиОже.
Прибольшихуровняхвозбуждениявремяжизниперестаетзави-сетьотконцентрациинеравновесныхносителейзарядатакже,каки
прималыхуровнях,хотявременаэти–разные.Этооднаизотличи-тельныхособенностейрекомбинациичерезлокальныецентры.