
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Imax 2g
Нарис.6.6показаназависимостьвременижизниизлучательнойрекомбинацииототношенияконцентрацииэлектроновилидырокксобственнойконцентрации.
1
τi/2τimax
1
2
3
–1
10
4
5
–2
10
10–3
10–2
10–1
1 101
n0/p0
102
103
Рис.6.6.Зависимостьвременижизниотконцент-рацииравновесныхносителейзаряда:
1–n/ni=0;2–1;3–5;4–10;5–50
Вкачествепараметравзятоотношениеконцентрацииизбыточныхносителейзарядаксобственнойконцентрации.Изрисункавидно,чтопомереростаконцентрацииносителейзарядавкристаллевремяжиз-
ниуменьшается.ИспользуяранеевведенноепонятиеуровняФермидляравновесногослучая,можнопоказать,что
EFEi
nnekT
EET
n0. (6.2.10)
0 i F i
kln
ni
Тогдаприn0
ni1нарисункеEFEi,авремяжизнимаксималь-
но.Приувеличенииn0ni
уровеньФермидвижетсявсторонузоны
проводимостиивремяжизнипадает.
Приуменьшении
n0ni
уровеньФермидвижетсявсторонува-
лентнойзоны,растетконцентрациядырок,авремяжизнипадает.Зна-чениявременижизнисимметричныотносительноположенияуровня
Фермиисобственногоуровня
Ei.Увеличениеуровнявозбуждения
приводиткуменьшениювременижизнивовсемдиапазонеравновес-ныхконцентраций,нобольшевсеговремяжизниизменяетсявсобст-венномполупроводнике.
Нарис.6.7показаназависимостьвременижизниизлучательной
рекомбинациивзависимостиотконцентрацииизбыточныхносителейзаряда.Вкачествепараметравзятаконцентрацияравновесныхносите-лейзаряда.
Каквидноизрисунка,привысокомуровневозбуждениявремя
жизнидляобразцовсразнойравновеснойконцентрациейотличаетсянеоченьсильно,таккакопределяетсяконцентрациейнеравновесныхносителейзаряда.
1
τi/2τimax
1
2
0,1
3
0,01
0,001
0,01 0,1 1 10 100
Δn/ni
Рис.6.7.Зависимостьвременижизниотконцентра-циинеравновесныхносителейзаряда:
1–n0/ni=1;2–10;3–50
Зависимость
nотскоростигенерацииg
Релаксационныйспадn
Встационарномсостоянии
dn0,используя(6.1.11)и(6.2.5),
dt
можнополучитьквадратноеуравнениеотносительноn:
n2
n2n0p0ngi
G
Решениемэтогоуравненияявляется:
0.
2
2
nn0p0114g ni
. (6.2.11)
G np
0 0
Прималыхуровняхвозбужденияg,раскладываяврядквадратныйкорень,получаем
n
gni
Gn0p0
1
2
14g ni
(6.2.11а)
Gn0p0
или,подставляязначение0iиз(6.2.7а):
1
ng0i
1 4g0i
n0p0
. (6.2.11б)
Нарис.6.8показаназависимостьизбыточнойконцентрацииноси-телейзарядаотскоростигенерации.
Прималыхскоростяхгенерациинеравновесныхносителейиз
(6.2.11б)легкополучить,что
ng0i,втовремякакприбольших
g
12
скоростяхгенерациииз(6.2.11)видно,что
nni
G
.Этиасим-
птотыприведенынарис.6.8прямыми2и3.Пересечениеэтихпрямых
2
соответствуетточкескоординатами
np
G0 0
пошкалеабсцисси
n0p0пошкалеординат.
3
ni
10
2
102
101
Δn/ni
100 13
10–1
10–2
10–3
–2 –1 0 1 2 3
10 10 10 10 10 10
g/G
Рис.6.8.Зависимостьизбыточнойконцентрацииносителейзаряда:
1–отскоростиизбыточнойгенерации(см.(6.2.11));
2–прималыхg;3–прибольшихg
Выполнениетогоилииногоизнеравенств n
n0p0и
n n0p0влияетнарелаксациюконцентрацииизбыточныхноси-
телейзаряда.Рассмотримстационарноесостояние,достигнутоепосле
включенияосвещениявмоментвремени
t0,когда
nnст.Так
как
g0,тоиз(6.1.10)и(6.2.7)следует,что:
dn
Gnn0p0n
. (6.2.12)
i
dt n2
Уравнение(6.2.12)непосредственноинтегрируетсяпутемразделе-нияпеременныхиегорешениемприt0является:
nt
nстn0p0
t
. (6.2.13)
0 0 ст ст
npne0in
t
Дляначальногопериодарелаксации,когдаe0i
1
t:
0i
nt
nст
. (6.2.13а)
1t
0i
nст
n0p0
Временна´язависимостьконцентрацииизбыточныхносителейза-
рядаприведенанарис.6.9дляразличныхзначений
nст.Анализ
(6.2.13а)показывает,чтоприбольшойвеличинестационарнойконцен-трацииэлектронов(nстn0p0)(2)релаксационныйспадвначалеописываетсягиперболическимзаконом,апослепроисшествиивреме-
ниt0i
экспоненциальнымзаконом.Есливыполняетсянеравенст-
воnстn0p0,торелаксационныйспадописываетсяэкспонентой
прилюбомзначенииt(3).
2
10
11
10
0
210
Δn/(n+p)
–1
0 0
10–23
10
–3
10
–4
10
–5
10
–6
10
0 2 4 6 8 10
t/τ0i
Рис.6.9.Зависимостьизбыточнойконцентрацииносителейзарядаотвременипослевыключенияосвещениядляразныхзначенийстационарнойконцентрации:
номеразависимостей1–3соответствуют:
nст1>nст2>nст3
Температурнаязависимостьвременижизни
Какследуетиз(6.2.7),температурнаязависимостьвременижизниизлучательнойрекомбинацииопределяетсясоответствующимизави-симостямиравновеснойскоростигенерации,равновеснымизначения-мисобственнойконцентрациииконцентрациейэлектроновидыроквразрешенныхзонахиуровнеминжекции.
Нарис.6.10приведенатемпературнаязависимостьвременижизниизлучательнойрекомбинациидлятеллура.
–2
10
–3 3 1
τi,с
10
2
–4
10
–5
10
2,53,0 3,5 4,0 4,5 5,0 5,5
–1
1000/T,К
Рис.6.10.Температурнаязависимостьвременижизнивтеллурепри низкомуровнеинжекции:
номеразависимостей1–3соответствуют:
n01<n02;n03=ni
Извыражения(6.2.6)иучетатого,чтоинтегрированиеприопреде-ленииGпроводитсявпределахотширинызапрещеннойзоны(Eg)
доEg10kT,следует,что
Gexp((Eg)/kT),где–малаяпо
сравнениюсширинойзапрещеннойзонывеличина.Есливполупро-водникевовсейисследуемойтемпературнойобластипреобладаетсоб-ственнаяконцентрацияносителейзаряда,то,какэтовидноиз(6.2.9),с
учетомтого,что
niexp(Eg/2kT),времяжизниэкспоненциально
растетспонижениемтемпературы(кривая3нарис.6.10).Когдакон-центрацияэлектроновилидырокприпонижениитемпературысравня-етсяиначнетпревышатьсобственнуюконцентрацию,тороствременижизнизамедлитсяиегозначениедостигнетвеличины,определяемойконцентрациейносителейзарядавзонепроводимостииливалентнойзоне.Чемменьшебудетэтаконцентрация(кривая1),тембольшебу-детвремяжизни.Аналогичнымобразомвремяжизнизависитотуров-нявозбуждения:сегоувеличениемвремяжизниуменьшается.
Излучательнаярекомбинацияявляетсянеединственными,болеетого,несамымраспространеннымвидомрекомбинацииизбыточныхносителейзаряда.Мыуделилиейстольковниманияиз-занаглядностифизическойкартиныипростотыанализа.Рассмотримтеперьещедвавидарекомбинации.