
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Энергетическийисветовойпотокиизлучения
Какговорилосьвпараграфе5.1,приемникиизлученияхарактери-зуютсяспектральнойчувствительностью,т.е.зависимостьювыходногосигналаотдлиныволныпадающегоизлучения.Втожевремятела,нагретыедоразныхтемператур,излучаютвразличныхспектральных
диапазонах.Очевидно,чтодляэффективногоприемаизлучениянужновыбиратьФЭПП,спектральнаяобластьчувствительностикоторогомаксимальносогласованасинтересующимпользователяспектраль-нымдиапазономизлученияисточника.Втожевремядляопределенияхарактеристикприемниковнужнопотомужепринципувыбиратьис-точникизлучения.
Дляаттестацииприемниковизлученияобычноиспользуютсясле-дующиеэталонныеисточники:
дляфотоэлементовсвнешнимфотоэффектомиприемников,чувствительныхвультрафиолетовойивидимойобластяхспектра,–
источникитипаА(2855,6К),типа В(4800К)итипаС(6500К);
дляприемников,чувствительныхвинфракраснойобластиспек-тра, –абсолютночерноетелостемпературой373,500,1273Квзави-симостиотспектральногодиапазоначувствительностиприемникови
областиихприменения.
Посколькувсеэталонныеисточникиизлучаютвширокомдиапазо-недлинволн,измеряемыйсигналотприемниковизлученияявляетсяинтегральнойреакциейприемника.Рассмотрим,какможноопределить
интегральнуювольтовуючувствительность
Sинт
дляприемникаизлу-
чениясизвестноймонохроматической(спектральной)чувствительно-стьюSпривоздействиинанегоизлучениемотопределенногоисточ-ника.
Пустьспектральнаяплотностьэнергетическогопотокаизлучения
отданногоисточникаравна
Фэ.Тогдаполныйпоток,излучаемый
источникомипопадающийнаприемник,равен:
ФэФэd.
0
Вмаксимумекривойспектральнойплотностиизлученияпри
1m
(рис.5.13)значениеспектральнойплотностипотокаравно
Фэm.Можноввестифункциюотносительногоспектральногораспре-деленияплотностиизлучения:
Фэ
Фэm.
Такжеможноопределитьиотносительнуюспектральнуючувстви-тельностьприемникаизлучения:
sS
Sm.
Нарис.5.13даныотносительные(приведенныекмаксимуму)кри-выеспектральнойчувствительностиприемникаизлученияиспек-тральнойплотностиизлученияисточника.
s(λ),φ(λ)
s(λ) s(λ)(λ)
φ(λ)
λ1m
λ2m λ
Рис.5.13.Относительныекривыеспектральнойчувствительности приемника излученияs(),спектральнойплотностиизлученияисточникаи ихпроизведения:
1m–максимум излученияисточника;2m–максимумчувствительностиприемника
Сигналприемникаизлученияотпотокадляинтервалаволнотдо
dбудетравенпроизведению
SФэλ.Длятогочтобыполучить
сигналотвсегопадающегопотока,нужнопроинтегрироватьэтопро-изведениеповсемдлинамволнот0до∞.Величинападающегопотокабылаопределенаранеекакинтегралотспектральнойплотностиэнер-гетическогопотокаизлученияповсемдлинамволн.Таккакинте-гральнаячувствительностьприемникаестьотношениесигналакпа-дающемупотокуизлучения,тоонаравна
SФэλd
S0
,
Фэλd
0
гдевсевеличиныпредставляютсобойабсолютныеспектральнуючув-ствительностьиспектральнуюплотностьпотока.Заменяяихотноси-тельнымивеличинами,получаем
sd
SSm0
d
0
Sm,
где
sd
0
d
0
–коэффициентиспользованияизлучениядан-
нымприемником.
Каквидноизэтогоопределенияирис.5.13,коэффициентисполь-зованиязависитотвзаимногорасположениякривыхспектральнойплотностипотокаизлученияиспектральнойчувствительностиприем-ника.Еслиэтикривыенеперекрываются,токоэффициентиспользова-нияиинтегральнаячувствительностьприемникаподанномуизлуча-телюравнынулю.
Для АЧТ справедливы следующие соотношения. Так как
АЧТ АЧТ АЧТ
R
Rm
,то
RАЧТd4
d00
где4400Кмкм.
R
АЧТm
T
T5
,
T
ТогдакоэффициентиспользованияизлученияАЧТданнымприем-никомравен
Т
0
s
d.
АЧТ
4400
АЧТ
Воздействиеизлучениясложногосоставанаданныйприемникможнозаменитьвоздействиемэффективногопотокаизлучениянапри-емник,которыйимеетнезависимуюотдлиныволнычувствительность,
иприэтомсигналостаетсятакимже.Очевидно,чтотакойэффектив-ныйпотокизлученияравен
ФэфξФэ,
гдеФэ–действительныйпотокизлучениясложногосостава.
СВЕТОВОЙПОТОК
Введениеэнергетическогопотокаизлученияисвязанныхснимве-личин–энергетическойсилысвета,освещенности,яркости–позволя-етполностьюописатьреакциюлюбогоприемникаизлученияналюбойисточникизлучения.Однакопараллельносэнергетическойсистемойединицсуществуеттакназываемаясветовая(фотометрическая)систе-ма.Вэтойсистемеединицасилысвета–кандела(кд)–определяетсякаксиласвета,излучаемаявперпендикулярномнаправленииповерх-ностьюплощадью1/600000м2абсолютночерноготелапритемпера-турезастыванияплатиныидавлении101325Н/м2,аединицасветово-гопотока–люмен(лм)–определяетсякаксветовойпоток,излучаемыйвтелесномугле1срравномернымточечнымисточникомссилойв 1кд.
Фотометрическаясистемаединициспользуетсяприхарактериза-цииприемниковизлученияввидимомдиапазонеспектраисвязанасоспособностьюглазачеловекавосприниматьизлучение.Действительно,глазчеловека(вширокомсмысле)представляетсобойприемникизлу-ченияивоздействиенанегоизлученияможноописатьтакже,какэтобылосделановыше,введяэффективныйпоток,воспринимаемыйгла-зомчеловека.Такойэффективныйпоток,измеряемыйвсветовыхват-тах,можнозаписатькак
гдеФэ
св
Ф Ф,
эф глэ
полныйэнергетическийпотокизлучениявовсемспектраль-
номдиапазоне,а
гл
коэффициентиспользованияполногопотока
глазомчеловека.Какидлялюбогоприемника
vd
гл0
,
d
0
где
v
–относительноеспектральноераспределениечувстви-
тельностиглаза,котороеназываюттакжефункциейотносительнойвидностиглаза,илинормализованнойфункциейотносительнойспектральнойсветовойэффективностиизлучениядлястандартногофотометрическогонаблюдателя.Этафункциядлядневногоиночногозренияприведенанарис.5.14.Длярасчетовиспользуюттаблицысоспектральнойзависимостьюфункцииотносительнойвидностиглаза.
1,0
Фиоле-товый
Си-ний
Голу-бой
Зеле-ный
Жел-тый
Оран-
жевый Красный
v(λ),v΄(λ)
0,8
0,6
0,4
0,2
v΄(λ)
v(λ)
0
0,4 0,44 0,480,52 0,56 0,6 0,64 0,680,72
λ,мкм
Рис.5.14.Функцияотносительнойвидностиглазапримени-тельнокдневномуv()иночномуv()зрению
ВсоответствиисгосстандартомвРоссиисветовыевеличиныопре-
деляютсяспомощьюфункцииv()
длядневногозрения.Максимум
этойфункциинаходитсяпри
0,555
мкм.Коэффициентиспользо-
ванияглазомпотокаизлученияназываюттакжеотносительнойсве-товойэффективностьюиобозначаютбуквойv:
vгл.
СвязьмеждусветовымпотокомF,лм,иэнергетическимпотоком
Фэ,Вт,выражетсяследующимобразом:
FSглmaxФсвSглmaxФэv,
где
Sглmax680лм/Вт–максимальноезначениеспектральнойсве-
товойэффективностиизлучения.
Окончательно:
F680Фэv680Фэ
vd
0 .
d
0
Такимобразом,еслиизвестныэнергетическийпотокизлученияиегоспектральноераспределение,необходимосначалаопределитьот-носительнуюсветовуюэффективностьv,азатем–световойпоток.
Полученныесоотношениядаютпростыеформулыдляпересчетапараметровприемниковизлученияизсветовыхединицвэнергетиче-скиеинаоборот.Отношениесветового потокакэнергетическому:
F680v.
Фэ
Таккакчувствительностьприемникаравнаотношениюсигналак
величинепотокаvFили
vФэ,то,есливеличиначувствительности
измеренапосветовомупотоку,дляпереводавэнергетическуюсистемуэтувеличинунужноумножитьна680v.Тожесамоенужносделатьидлявеличиныобнаружительнойспособности,таккаконапропорцио-
нальнаvFили
vФэ.Втожевремяприпереводеизсветовыхеди-
ницвэнергетическиевеличинупороговогопотоканужноподелитьна
680v[5.4].