
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
Полученныевышесоотношения,определяющиеэнергетическиехарактеристикиизлучения,основанынатом,чтопотокизлученияотданногоизлучателяизвестен.Однакоточныеколичественныесоотно-шениядлямощностииспектральногосоставаизлученияизвестнылишьдлятакназываемыхабсолютночерныхтел.
Излучениевсехтелможноразделитьнадвавида:равновесноеинеравновесноеизлучение.Вообщеговоря,всякоеизлучениесопрово-ждаетсяпотерейэнергии.Еслижекакое-либотелополучаетотокру-жающейсредыпутемпоглощенияизлученияилипоглощениемподво-димоготеплаколичествоэнергии,компенсирующееегособственныепотеринаизлучение,тотакойпроцессизлученияназываетсяравно-весным.Вэтомслучаесостояниеизлучающеготеламожетбытьоха-рактеризованоеготемпературойT.
Кнеравновеснымвидамизлученияотноситсяпреждевсеголюми-несценция,которуюможноподразделитьнаследующиевиды:
фотолюминесценция.Вэтомслучаеиспусканиеизлученияпроис-ходитзасчетпредварительногоосвещенияэтоготеласветомсболеекороткойдлинойволны(большейэнергией);
хемилюминесценция.Излучениевэтомслучаепроисходитзасчетпротекающихвтелехимическихреакций.Например,фосфорсветитсязасчетмедленногоокислениякислородомвоздуха;
катодолюминесценция.Телоиспускаетизлучениезасчетбомбар-
дировкиегоэлектронами;
электролюминесценция.Излучениепроисходитзасчетэнергии
протекающегочерезтелоэлектрическоготока.
Хорошоизвестныйтипнеравновесногоизлучения–лазерноеиз-лучение.
Приемникиизлучениямогутиметьделосовсемитипамиперечис-ленныхизлучений.Вместестемвзначительномчислеслучаеврегист-рируетсятепловоеизлучение.Рассмотримзаконы,которымподчиня-етсяравновесноетепловоеизлучение.
АБСОЛЮТНОЧЕРНОЕТЕЛО
Абсолютночерноетело(АЧТ)поглощаетвсепадающеенанегоизлучениенезависимоотнаправленияпадения,спектральногосоставаиполяризации.
Рассмотримпоглощениесвета.Пустьнателопадаетпотокизлуче-ниявбесконечномаломспектральноминтерваленадлиневолны.Частьэтогопотокапоглотитсятелом.Величина,котораяпоказывает,какаячастьпадающегомонохроматическогопотокаизлученияпогло-щаетсятелом,называетсяспектральнымкоэффициентомпоглоще-
ния
T().Поглощениеизлучениябольшинствателселективно,т.е.
наразныхдлинахволнвеличинакоэффициентапоглощенияявляется
функциейдлиныволны.Изэкспериментаустановлено,чтомеждуспектральнойплотностьюэнергетическойсветимостииспектральнымкоэффициентомпоглощенияимеетсяопределеннаясвязь.Представимсебе,чтонесколькотелсразнымикоэффициентамипоглощенияпо-мещенывнутрьоболочки,укоторойподдерживаетсяпостояннаятем-ператураT.Положимтакже,чтовнутриоболочкиподдерживаетсява-куум,такчтотеламогутобмениватьсяэнергиеймеждусобойиоболочкойтолькопосредствомпоглощенияииспусканиясвета.Какследуетизобщихсоображений,основанныхнаопыте,черезкакое-товремявсясистемапридетвравновесие,т.е.каждоеизтелбудетобла-датьтемпературойT,апотокиизлучения,поглощаемыеииспускаемыекаждымизтел,будутравныдругдругу.Нотелосбо´льшимкоэффици-ентомпоглощенияпоглощаетбо´льшуювеличинуплотностипотокаизлучения,чемтелосменьшимкоэффициентомпоглощения.Тогдадляравенствапоглощаемогоииспускаемогопотоковнеобходимо,чтобыспектральнаяплотностьэнергетическойсветимостипервоготе-латакжебылабольше.Такимобразом,извозможноститермодинами-ческогоравновесиямеждутеламисразнымикоэффициентамипогло-щения,обменивающимисяэнергиейтолькопосредствомизлучения,следуетпропорциональностьмеждуспектральнойплотностьюэнерге-тическойсветимостииспектральнымкоэффициентомпоглощения.
Г.Кирхгофпоказал,чтотакаязависимостьсправедливадлякаждо-
гоинтерваладлинволнвотдельности,исформулировалзакон,кото-рыйноситегоимя:
Отношениеспектральнойплотностиэнергетическойсветимостикспектральномукоэффициентупоглощениянезависитотприродытела
иявляетсядлявсехтелоднойитойжефункциейотдлиныволныитемпературы:
BT
Tconst.
Таккакпоопределениюабсолютночерноетелопоглощаетвсепа-дающееизлучение,тодлянегоT()АЧТ1итогдавсеАЧТприоди-наковойтемпературеобладаютоднойитойжеспектральнойплотно-стьюэнергетическойяркостивзависимостиотдлиныволныиихяркостьодинаковоменяетсястемпературой.
ВприроденесуществуетАЧТвтомсмысле,какэтобылосформу-лировановыше.Идеальнымабсолютночернымтеломявляетсязамк-
нутаяполость,температурастеноккоторойодинаковавовсехточках.НовтакоеАЧТнеможетбытьзаведеноизлучениеизвнелибовыведе-ноизнегонаружу.МногиетеламогутрассматриватьсякакАЧТвог-раниченнойобластиспектра.Книмотносятся,например,поверхности,покрытыеслоемсажиилиграфитовойчерни,коэффициентпоглоще-ниякоторыхвсежесущественноменьшеединицывдальнейИК-областиспектра.
ИскусственносоздаваемыеАЧТ(точнее,моделиАЧТ)представ-
ляютсобойполоститойилиинойформы,имеющиесравнительноне-большиеотверстиядляпоглощенияилииспусканияизлучения.Боль-шойкоэффициентпоглощениявнихдостигаетсязасчетмногократногоотраженияизлучения.Примногократномотражениисветаотстеноконвосновномостаетсявнутриполости–изнеевыхо-диттольконебольшаядолявошедшегоизлучения.Действительно,ес-
ликоэффициентпоглощениястенокполости
T,топослепервогопо-
глощениявполостиостанется
Ф1Ф0(1Т),апослеn-гоакта–
Ф1Ф0(1Т)n
непоглощенноймощностиизлучения.Прибольшом
числеотраженийдаженебольшойкоэффициентпоглощениястенок
полостиобеспечиваетвеличинуполногокоэффициентапоглощения
TтакогоАЧТ,близкуюкединице.Так,приT=0,2иn=4полный
коэффициентпоглощенияравенT
0,6,приn=16–ужеоколо
0,97,априn=32–T
0,9992.ПосколькупозаконуКирхгофаспек-
тральнаяплотностьэнергетическойяркостидлятелсT1близкак
светимостиАЧТ,тоизлучение,котороевыходитизотверстия полости,стенкикоторойимеюттемпературуT,близкокизлучениюАЧТста-койжетемпературой.
Тела,укоторыхT()существенноменьшеединицы,называютсянечернымиипохарактеруизлученияделятсянадвавида:неселектив-ныеиселективные.
Неселективнымизлучателем,илисерымтелом,называюттетела,коэффициентпоглощениякоторыхнезависитотдлиныволнывширо-комдиапазонедлинволн.Ктакимтеламможноотнестиграфит,сажу,железо,снег,некоторыекраскиит.д.Большинствотелнеявляютсясерыми,таккакихкоэффициентзависитотдлиныволны.Вэтомслу-чаеизлучающеетелоназываютселективным.
Излучениереальныхтелоцениваетсяпутемсопоставленияихиз-лучениясизлучениемАЧТ.Величинаотношенияспектральнойплот-
ностиэнергетическойяркостиданноготела
BT
кспектральнойплот-
ностиэнергетическойяркостиАЧТ
BАЧТ,находящегосяпритойже
T
температуре,называетсяспектральнойизлучательнойспособностьютелаT,иликоэффициентомнаправленногоизлучения:T
АЧТ
T
B BT .
Вкачествемерысравненияизлученияреальноготелапоотноше-ниюкАЧТиспользуюттакжеспектральный,илиинтегральный,коэф-фициентизлучения,иликоэффициентчерноты,равныйотношению
энергетическойсветимостиданноготела
RT
кспектральнойплотно-
T
стиэнергетическойсветимостиАЧТ–RАЧТ,находящегосяпритойжетемпературе.
Длясложногонемонохроматическогопотокаизлученияинтеграль-наяизлучательнаяспособностьопределяетсякакотношениесуммар-ной(повсемуспектруизлучения)энергетическойяркостиданноготе-лаксуммарнойэнергетическойяркостиАЧТ,находящегосяпритойжетемпературе:
2 2
АЧТ
TBTd
1
BT
1
d.
РАСПРЕДЕЛЕНИЕЭНЕРГИИИЗЛУЧЕНИЯВСПЕКТРЕАБСОЛЮТНОЧЕРНОГОТЕЛ
В1900годунаоснованиипредставленийоквантовойприродесве-таМ.Планкполучилформулудлязависимостиспектральнойплотно-стисветимостиАЧТввакуумеотдлиныволныитемпературы:
R c1 ,
T c
2
5eT1
где–длинаволны,см;T–абсолютнаятемпература,К;c1–первая
постояннаяформулыПланка,
c12hc23,741012
Втсм2;
c2–
втораяпостояннаяформулыПланка,
c2hck
=1,44смК;c–ско-
ростьсветаввакууме;h–постояннаяПланкаиk–постояннаяБольцмана.
ИзформулыПланкаследуетдвазакона.Первыйизних,законСтефана–Больцмана,определяетинтегральнуюплотностьэнергети-ческойсветимостикакинтегралповсемдлинамволнотнулядобес-конечности:
2
RRTdT45,71012T4,Вт/см,0
где–постояннаяСтефана–Больцмана.
Второйзакон–законГолицына–Винадаетсвязьмеждутемпера-туройАЧТидлинойволны,накоторойнаблюдаетсямаксимумспек-тральнойплотностиэнергетическойсветимости:
mTc24,9651,или
m2897,8T,мкм.
Нарис.5.11данаспектральнаяплотностьэнергетическойсветимо-стиАЧТвзависимостиотдлиныволныдляразличныхтемпературАЧТ.
0,05
0,04
R,Вт/(см2мкм)
0,03
λT
0,02
0,01
0
T=500К
T=400К
T=300К
0 5 10 15 20 25 30
λ,мкм
Рис.5.11.СпектральнаяплотностьэнергетическойсветимостиАЧТдляТ=300,400и 500К
Каквидноизрисунка,привсехдлинахволнспектральнаяплот-ностьэнергетическойсветимостиАЧТсболеевысокойтемпературойбольше,чемдляАЧТсболеенизкойтемпературой.Зависимостьинте-гральнойплотностиэнергетическойсветимостиоттемпературыАЧТпоказананарис.5.12.Потокизлученияс1см2поверхностирастетпо
мереувеличениятемпературыпропорциональноT4.Площадьв1см2поверхностиЗемли,котораяприрасчетахсоответствуетпримерноАЧТстемпературой300К,испускаетоколо0,05Вт.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,8
0,7
0,6
R,Вт/см2
0,5
0,4
0,3
0,2
0,1
0
100 200 300 400 500 600
Т,К
Рис.5.12.ЗависимостьинтегральнойплотностиэнергетическойсветимостиАЧТоттемпературы
Какужеговорилосьвыше,энергетическаясветимостьреальныхтел,имеющихданнуютемпературу,рассчитываетсясиспользованиемкоэффициентовчернотыразличныхматериалов–данныеокоэффици-ентахприводятсявсправочниках.