
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Энергетическиехарактеристикиизлучения
Впредыдущемразделемырассмотрелиметодыизмеренияпара-метровФЭППпривоздействиинанихпотокаизлучения.Былозафик-сировано,чтоэтиизмеренияпроводятсясиспользованиемтакихис-точниковизлучения,какАЧТилилампанакаливаниясопределеннойцветовойтемпературой,авеличинапотокаопределяетсяспомощьютакихпонятий,какспектральнаяплотностьэнергетическойсветимости
АЧТ,освещенностьисиласветалампынакаливания.Внастоящемпа-раграфебудутрассмотреныэнергетическиехарактеристикиоптиче-скогоизлучения,уходящегоизисточникаизлучения,атакжепадаю-щегонаФЭПП.Дляболееподробногоизучениявопросов,обсуждающихсявпараграфах5.3и5.4,следуетобратитьсякмоногра-фии[5.3].
ПОТОКИЗЛУЧЕНИЯ
Основнойвеличиной,котораяпозволяетсудитьобэнергииизлуче-ния,являетсямощностьизлучения,илипотокизлученияФэ,измеряе-маявваттах(Вт)–количествоизлучаемой,атакжепереносимойипо-глощаемойэнергиивединицувремени:
dW
Фэdt,
гдеW–энергияизлучения,измеряемаявджоулях(Дж).
N N1
L
α ω0
ω0
dA
М
А
α1
L1
dA1М1
А1
а б
Рис.5.6.Схемараспространенияизлучения,уходящегосповерхностиисточникаизлучения(а)ипопадающегонаповерхностьприемника
излучения(б):
dА–элементарнаяплощадканаповерхностиизлучателя;dА1–элементарнаяплощадканаповерхностиприемника;N,N1–нормалькплощадке;L,L1–на-правлениераспространенияизлучения;α,α1–уголмеждунаправлениемрас-пространенияизлученияинормальюкплощадке;ω0–элементарныйтелесный
угол,заполненныйпотокомизлучения
Потокизлучения,сосредоточенныйвмаломспектральномдиапа-зонедлинволнотдо,называетсямонохроматическим,или
спектральным,потокомизлучения
Фэ.Величинапотокаизлуче-
ния,приходящаясянаединичныйинтервалдлинволн,называетсяспектральнойплотностьюизлученияФэ:
Ф dФэ 1
э
,Втмкм.
d
Световойпотокостаетсяпостояннымвнутриконическойповерх-ности,образованнойлучами,которыенаправленыизточечногоисточ-никаизлучения.
Полныйпотокизлучения,испускаемыйисточником,равенсвето-вомупотокучерезповерхность,замкнутуювокругисточникаизлуче-ния.Нарис.5.6данасхемаизлучения,уходящегоотисточникаипа-дающегонаприемникизлучения.
ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯСИЛАСВЕТА
ЭнергетическойсилойсветаIназываетсяпотокизлученияисточ-никавданномнаправлении,приходящийсянаединицу телесногоугла:
IdФэ,Вт/ср,
d
где–телесныйугол,вкоторомраспространяетсяизлучение.
Дляизотропного(т.е.однородноизлучающего)источникасвета
IФэ
иполнаяизлучаемаяисточникоммощностьФэ
4I.
Вслучаенеравномерногоугловогораспределенияпотокаизлуче-ния(неизотропныйисточник)вводятпонятиесреднейпотелесному
углуэнергетическойсилысвета,подкоторойпонимаетсясиласветаизотропногоисточника,потокизлучениякоторогоравенпотокудан-ногонеизотропногоисточникаизлучения:
Id
I0 ,
0
где
0–телесныйугол,внутрикоторогоопределяетсясредняясила
света.
Есливеличинателесногоугла04,тосиласветанеизотропно-гоисточникавэтомтелесномугленазываетсясреднесферическойси-лойсвета:
Id
I(4) .
4
Спектральная,илимонохроматическая,силасветаопределяет-сяаналогичноспектральнойплотностиизлучения,каксиласветаиз-лучениясдлинамиволнвспектральномдиапазонедлинволнотдо
:
I
dId.
Такимобразом,длянеизотропныхисточниковсветасиласветапо-стояннавданномнаправлении,адляизотропных–вовсехнаправле-ниях.Введениесилысветапозволяетсравниватьразныеисточникиизлученияпоихспособностиизлучатьэнергию.Дляхарактеристикисилысветавразличныхнаправленияхиспользуютсявекторныедиа-граммы(диаграммынаправленности).Дляихпостроенияприменяютполярныекоординаты,вкоторыхсиласветаестьфункцияполярныхуглов:
II.
ИзточкиО,условнопредставляющейточечныйисточникизлуче-ния,проводятсярадиус-векторы,длинакоторыхпропорциональнаси-лесветавданномнаправлении.Огибающаяконцовэтихвекторовиестьвекторнаядиаграммасилысвета.
ПОВЕРХНОСТНАЯПЛОТНОСТЬИЗЛУЧЕНИЯ
Поверхностнаяплотностьизлученияравнавеличинепотокаизлу-чения,приходящегосянаединицуплощади.Приэтомразличаютэнер-гетическуюосвещенностьиэнергетическуюсветимость.
Энергетическаяосвещенность
E,Вт/см2,определяетсякакот-
ношениепотокаизлучения,падающегонаэлементповерхности,кплощадиэтогоэлемента:
ЕdФэ.
dА
ЭнергетическаясветимостьR,Вт/см2,определяетсякакотно-шениепотокаизлучения,испускаемоговполусферуэлементомпо-верхности,кплощадиэтогоэлементаизаписываетсявтакомжевиде,чтоиосвещенность:
RdФэ.
dА
СпектральныеплотностиэнергетическойосвещенностиE,Вт/(см2мкм),иэнергетическойсветимостиR,Вт/(см2мкм),равнысоответственно:
EdE;
d
RdR.
d
ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯЯРКОСТЬ
ЭнергетическаяяркостьВ,Вт/(см2ср),илиповерхностно-угловаяплотностьпотокаизлучениявданномнаправлениивданнойточкеМ,лежащейнаповерхностиисточникаилиприемника(рис.5.6),представляетсобойотношениеполногодифференциалапотокаизлуче-
ния2-гопорядка
d2Фэ
кпроизведениютелесногоуглаd,вкотором
распространяетсяэтотпоток,площадиdAикосинусаугламеждуданнымнаправлениемLинормальюNкплощадиdA:
2
B dФэ .
ddAcos
Основываясьнаранеевыведенныхсоотношенияхдлясилысветаиосвещенностииучитываятообстоятельство,чтоэнергетическуюяр-костьможнотакжезаписатьввиде:
d |
dФэ |
d |
dФэ |
, |
|
|
dAcos dAdcos |
2
B dФэ
ddAcos
d
дляповерхностиисточникаизлученияидляповерхностиприемникавводятсяразныеопределенияэнергетическойяркости.
Наповерхностиизлучателяяркостьзаписываетсячерезсилусвета:
BddФэdI dI ,
dAdcosdAcos
dAcos
анаповерхностиприемника–черезосвещенность:
BddФэdEdE.
ddAcosdcos d
Поверхностител,энергетическаяяркостькоторыхвовсехнаправ-ленияходинакова,называютсядиффузноизлучающими.Длянихспра-ведливзаконЛамберта,устанавливающийсвязьмеждуэнергетическойсилойсветаиэнергетическойяркостью: