
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Способы теплопередачи:теплопроводность
Существуюттриспособапередачитепла:
теплопроводность,иликондуктивныйтеплообмен;
конвекция;
радиационнаятеплопередача.
Взависимостиотустройствамикросистемыкаждыйизперечис-ленныхспособоввбольшейилименьшейстепенивлияетнаееработу.Численнаяоценкакаждогоспособатеплопередачиявляетсянеобходи-мымэтапомпривыборерациональнойконструкциисенсоровиактюа-торов.
Уравнениетеплопроводности
Теплопроводностьюименуетсятакойспособпередачиэнергии,прикоторомтеплораспространяетсявследствиепрямогоконтактамеждучастицамивеществ.Вчистомвидетеплопроводностьнаблюдаетсявтвердыхтелах.Имеетсяонаивжидкостях,вкоторых,однако,воб-щуютеплопроводностьсущественныйвкладвноситдругойспособте-плопередачи–конвективный.
Экспериментальнымпутемопределеносновнойзаконтеплопро-
водности–законФурье,которыйустанавливаетсвязьмеждуплотно-стьютепловогопотокаqиградиентомтемпературывлюбойточке
вещества:
qkgradT. (1.2.1)
Здесьq–векторплотноститепловогопотока,т.е.количествотепла,протекающегочерезединичнуюплощадкузаединицувремени;k–
коэффициенттеплопроводностивещества,азнак«–»учитывает,что
теплопереходитизобластисболеевысокойтемпературойвобласть,
гдетемператураниже.
Размерностьвсехвеличин,входящихвзаконФурье,всистемеСИ
соответственно:
Bт
Bт
qм2с;
TК;k .
мК
Вектортепловогопотоканаправленпонормаликизотермическойповерхностивкаждойвыбраннойнанейточке.
ОбщийпотоктеплаФчерезгеометрическуюповерхностьAнеко-
тороготелаопределяетсякакповерхностныйинтеграл
ФqdAqndA, (1.2.2)
А
где
qnqcos–проекциявектораплотноститепловогопотокана
направлениенормаликповерхностиAвточкеМ.Уголучитываетразличиевнаправленияхвектораqивектораэлементарнойплощадки
dA(рис.1.1).
Особеннопростойвидформулы(1.2.1)и(1.2.2)принимаютвслу-чаеодномерноготепловогопотокавтелах,имеющихпостоянноесече-ние,формакоторого,однако,можетбытьпроизвольной.
dA
q
α
М
Рис.1.1.Копределениютепловогопотока(1.2.2)
Вэтомслучае,выбравосьxвнаправлениитепловогопотока,по-лучаем,чтосечениятелаплоскостямиYOZ,перпендикулярнымиx,являютсяодновременноиизотермическимиповерхностями.Соотно-шения(1.2.1)и(1.2.2)тогдаприводятсяквиду
qkdT;
dx
ФqA, (1.2.3)
гдеA–площадьсечениятела.
Коэффициенттеплопроводностиk,входящийвформулу(1.2.1),яв-
ляетсятепловойхарактеристикойвеществаиотражаетособенностипередачитепланамолекулярномуровне.Вобщемслучаеонможетзависетьоттемпературыикоординаты,есливеществонеоднородно.
Впроцессетеплопередачидействуетзаконсохраненияэнергии,которыйформулируетсяввидеуравнениятепловогобалансадлялю-богоэлементарногообъемаиливсеготелавцелом:
QQпQу, (1.2.4)
где
Qпи
Qу
соответственноколичествотепла,поступившееили
ушедшееизобъемаdVзавремяt;Q
изменениеколичестватеп-
лавэлементарномобъемезатотжепромежутоквремени.
ИзменениеколичестватеплавобъемеdVможетпроисходитьдву-мяпутями:во-первых,этотепло,поступившееилиушедшеечерезгоря-чуюлибохолоднуюстенкувсилупроцессатеплопроводности;во-вторых,всамомобъемемогутбытьвнутренниеисточникитепла,на-пример,из-запротеканияэлектрическоготокаилихимическойреакции.
Изменениеколичестватеплавобъемеприводиткизменениютем-пературывсоответствииссоотношением:
QCTm,
гдеC–удельнаятеплоемкость;
mdV
массавеществавобъе-
меdV;–плотностьвещества;Т
изменениетемпературывобъ-
емеdVврезультатетеплопроводности.
Законсохраненияэнергии(1.2.4)вдифференциальнойформепри-нимаетвидуравнениятеплопроводности:
CTkTq, (1.2.5)
t и
гдеqи
время.
плотностьвнутреннихтепловыхисточниковqиBт/м3;t–
Уравнениетеплопроводностивобщейформе(1.2.5)записанона
случай,есликоэффициенттеплопроводностизависитоткоординат.
Дляпрактическинаиболееважногослучая,когда(1.2.5)принимаетупрощеннуюформу
kconst,уравнение
T2Tq, (1.2.6)
t и
где
k
коэффициенттемпературопроводности;
qqи
при-
C
веденнаяплотностьисточниковтепла.
и C
Уравнениетеплопроводностиввиде(1.2.5)и(1.2.6)позволяетна-
ходитьраспределениетемпературкаквдинамическомрежиме,когдатемпературазависитотвремени,такивстационарном.Дляпоследне-
гослучая
T0иуравнение(1.2.6)принимаетвид
t
2Tqи
. (1.2.7)
Есливнутреннихисточниковтепланет,qи0,тоуравнение(1.2.7)ещеболееупрощаетсяисводитсякуравнениюЛапласа:
2T0. (1.2.8)
Длярешенияуравнениятеплопроводностинеобходимодобавитьначальныеиграничныеусловия,определяющиераспределениетемпе-ратурывнекоторыймоментвремениинаграницах(поверхности)рассматриваемоготела.Обычноприменяютсятритипаграничныхус-ловий.
Навсейповерхностителаилинаегоотдельныхучасткахзаданатемпература,котораяподдерживаетсяпостоянной:
TTi,
i1,...,n–номеручасткаповерхности. (1.2.9)
Навсейповерхностителаилинаегоотдельныхучасткахпод-держиваетсяпостояннымтепловойпоток:
qqi,
i1,...,n. (1.2.10)
Вчастномслучаетепловойпотокqi
участокповерхноститеплоизолирован.
можетбытьравнымнулю,т.е.
НаповерхностителапроисходиттеплообменпозаконуНьютона:
qiTT0. (1.2.11)
Вэтомслучаетепловойпотоксучасткаповерхности
Aiпропор-
ционаленразноститемпературмеждуокружающейсредойT0
итем-
пературойтелаT.Уравнениетеплопроводностиикраевыеначальныеусловияформируюткраевуюзадачутеплопроводности,котораядалеконевсегдаможетбытьрешенаваналитическойформе.Прирешениитеплотехническихзадачбольшуюрольиграютчисленныеметоды.
Вкачествепримера,иллюстрирующегораспределениетемперату-рывпроцессепередачитеплапутемтеплопроводности,рассмотримтепловойпотокчерезпластину(рис.1.2).
Пустьнаплоскости
x0
поддерживаетсятемператураTT1,ана
плоскостиxL–температура
TT2,
T1T2,аостальнаябоковая
поверхностьтеплоизолирована,итепловойпотокчерезнееотсутству-
ет,так чтоq0.Этоприводиткодномернойкраевойзадаче:
b
d2Tdx2
0;
Tx0T1;
TxLT2. (1.2.12)
Аs
Т=Т1
Т=Т2
q
x=0 x=L x
Рис.1.2.Красчетураспределениятемпературыводномерномслучае
Единственнымрешением,удовлетворяющимкраевымусловия,яв-ляется:
TT2T1x. (1.2.13)
L
Этораспределениетемпературысоответствуетплотноститеплово-гопотокавдольосих:
qkdTkT1T2kT, (1.2.14)
dx L L
гдеTT1T2.
Общийтепловойпотокчерезлюбуюплоскостьпоперечногосече-нияплощадьюАодинаковиравен
ФqAkAT. (1.2.15)
L
Величина
GkA,входящаяв(1.2.15),именуетсятепловойпрово-
L
димостью,аобратнаяейвеличина
RL
T kA
тепловымсопротивлени-
емпластины.ВсистемеСИразмерностиGиRT
соответственнорав-
ны:Дж/(м2К)им2К/Дж.ПерепадтемпературΔTмеждуточками,находящимисянарасстоянииL,итепловойпотокФсвязанылиней-нымсоотношением:
TRTФ,
котороеудобнодляпрактическихцелей.