
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Поглощениесвободныминосителямизаряда
Рассмотренноевпредыдущихразделахпоглощениеэлектромаг-нитногоизлучениябылосвязаноспереходомэлектроновилидырокизоднойэнергетическойзоныилиподзонывдругую.Однаковозможныпереходы,прикоторыхэлектрон,поглощающийквантсвета,остаетсявтойжезоне,чтоидоперехода.Такиепереходы,безусловно,воз-можнытолькотогда,когдавэтойэнергетическойзонеестьизапол-ненные,исвободныесостояния,ивэтомслучаеможнорассматриватьпроцесспоглощениякаквзаимодействиеизлучениясгазомэлектро-нов,обладающихэффективноймассой,отличнойотмассысвободногоэлектрона(квазисвободныминосителямизаряда).Такоерассмотрениесправедливовпервуюочередьдляметаллов,авовторую–дляполу-проводников,которыеотличаютсявысокойплотностьюэлектронногогаза.Припоглощенииэлектрон,оставаясьвпределаходнойзоны,
осуществляетпереход
E1(k1)E2(k2).Дляпараболичногозакона
дисперсиипрямой(безучастияфонона)переходтакоготипаневозмо-жениз-замалостиквазиимпульсафотона.Учетжеэлектрон-фононноговзаимодействияпозволяетрассматриватьпереходэлектро-наизодногосостояниявдругоекакускорениеэлектронаввысокочас-тотномполеэлектромагнитнойволныисвеститемсамымзадачупо-глощениясветаквазисвободныминосителямизарядакпроблемепереноса,т.е.движениюэлектронавтвердомтелеподвоздействиемэлектрическогополя.Вклассическомприближениикоэффициентпо-
глощениясвободныминосителямиn
пропорционаленследующим
величинам,характеризующимполупроводник:
2
n
n0,
где
n0,c
cn
–концентрацияидрейфоваяподвижностьэлектронов;–
длинаволныизлучения;n–показательпреломления.
Вэтомприближении,которое
хорошоприменимодляпоглоще-ниявсреднейИК-области,коэф-фициентпоглощенияпропорцио-наленквадратудлиныволныизлучения.Применьшихдлинахволнэтонетак.Вэтойобластидлинволнкоэффициентпоглоще-нияпо-разномузависитотдлиныволныизлученияприпреобла-даниитогоилииноговидарас-сеянияэлектронов.Так,вслучаерассеяниянаакустическихколе-
100
Коэффициентпоглощения,см–1

1
10
5
2
1
0,5 3
0,1 4
0,05
1,52 3 4 6 81012
λ,мкм
банияхрешетки
n1,5,при
Рис.4.17.Коэффициентпоглоще-
рассеяниинаоптическихколе-банияхn2,5,априрассеяниинаионизированныхпримесях
3,0...3,5
ниявзависимостиотконцентрации
электронов
n . Вобщемслучаерезультирующийкоэффициентпогло-
щенияможетбытьзаписанкак
nA1,5B2,5C3,5,гдеА, ВиС–константы.
Нарис.4.17показанаэкспериментальнаязависимостькоэффици-
ентапоглощениядляразличнойконцентрацииэлектронов.Минимумнакривыхобусловленаддитивнымсложениемсобственногопоглоще-ния,котороеуменьшаетсясростомдлиныволны,ипоглощениемнасвободныхносителях,котороеувеличиваетсясростомдлиныволны.Каквидноизрисунка,вобластидлинволн,больших,чем6мкм,пока-
зательрвзависимостиp
равенпримерно2.
Решеточноепоглощение
Нарядусрассмотреннымитипамипоглощения,связаннымистемилиинымпереходомэлектрона,существуетпоглощение,обусловлен-ноенепосредственнымвзаимодействиемфотонасколебаниямирешет-ки,прикоторомэнергияпоглощенногофотонаидетнаобразованиеодногоилинесколькихфононов.Какужеговорилось,импульсфотонаhпренебрежимомал,поэтомудлявыполнениязаконасохранения
импульсаприпоглощениисобразованиемодногофононадолжновы-
полнятьсяусловие:
qh0.Сильноепоглощениерешеткойимеет
местодляполупроводников,вкоторыхсмещениеатомов,обусловлен-ноедлинноволновымиоптическимиколебаниями(q0),приводитк
возникновениюдипольногомомента,т.е.дляполупроводниковсчас-тичнойионнойсвязью.ТакоепоглощениеприсущевсемсоединениямгруппыAIIIBV,атакжедругимполярнымполупроводникам.Однакоуполупроводниковсковалентнойсвязью,такихкакGeиSi,поглощение,
12
Коэффициентпоглощения,см–1
10
8
1
6
4
2
2
0
400 600 800 1000 1200 1400
Волновоечисло,см–1
Рис.4.18.КоэффициентрешеточногопоглощениявSiвзависимостиоттемпературы:
1–Т=365К;2–Т=20К[4.15]
Закл ючение 215
связанноесколебаниямирешетки,хотяиболееслабое,всеженаблю-дается.Нарис.4.18даныспектрыпоглощениякремнияпридвухтем-пературах.
Изрисункавидно,чтовспектрепроявляетсярядпиков,авпроме-жуткахмеждунимикоэффициентпоглощенияостаетсяконечнойве-личиной.Такоепоглощениеобъясняетсяпроцессами,вкоторыхучаст-вует,какминимум,двафонона.Вэтомслучаезаконсохраненияимпульсаможетвыполнятьсяприлюбомзначенииволновоговекторафонона,таккакприпоглощениифотонаобразуютсядвафононаспро-тивоположнымизначениямиимпульса.Тогдазаконысохраненияим-пульсаиэнергиизаписываютсякак
q1q2kфот
илиq1q2;
1(q1)2(q2).
Сложноестроениеспектрапоглощенияобъясняетсяналичиемвоз-можныхкомбинацийфононовакустическихиоптическихколебанийкакпродольных,такипоперечных.Нарис.4.18самыйбольшойпикпри610см–1связансвозбуждениемодногофононапоперечнойакустиче-скойветвииодногофононапродольнойоптическойветви,апикпри1148см–1связансвозбуждениемтрехпоперечныхоптическихфононов.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Такимобразом,взаимодействиеэлектромагнитногоизлученияствердымтелом,априменительнокприемникамизлучения–сполу-проводниками,описываетсянаязыкеквантовоймеханики.Приэтом,исходяизпериодичностисвойствкристаллическоготелаипривведе-нииосновныхприближений,состоящихвзаменеатомныхядернепод-вижнымиатомнымиостовами,строгорасположеннымивузлахперио-дическойкристаллическойрешетки,изаменеэлектрон-электронноговзаимодействияэффективнымполем,рассчитываетсясовокупностьразрешенныхизапрещенныхсостоянийэлектроноввпространствеквазиимпульсов.
Подвоздействиемэлектромагнитногоизлучения,котороерассмат-риваетсякакансамбльфотонов,каждыйактпоглощенияфотонаозна-чаетегоисчезновениеспередачейэнергиииимпульсатвердомутелу
какцелому.Длярассмотренияфизическихпринциповработыфото-
приемниковважно,чтоэнергияфотонапередаетсяэлектрону,которыйпереходитизодногоэнергетическогосостояниявдругое.
Собственноепоглощение,связанноеспереходомэлектронаизва-лентнойзонывзонупроводимости,ипримесноепоглощение,связан-ноеспереходомэлектрона(дырки)излокализованногосостояниянадонорном(акцепторном)уровневзонупроводимости(валентнуюзо-ну),являютсянаиболееважнымитипамипоглощения,используемымидляприемаизлучения.
ЛИТЕРАТУРА
ТарасовЛ.В.Основыквантовоймеханики/Л.В.Тарасов.–М.:Высшаяшк.,1978.– 288с.
ВихманЭ.Квантоваяфизика/Э.Вихман.– М. :Наука,1974.– 416с.
Бонч-БруевичВ.Л.Физикаполупроводников/В.Л.Бонч-Бруевич,С.Г.Калашников.–М. :Наука,1977.– 672с.
МоссТ.Полупроводниковаяоптоэлектроника/Т.Мосс,Г.Баррел,Б.Эллис.– М., Мир,1976,–432с.
СоколовА.В.Оптическиесвойстваметаллов/А.В.Соколов.–М.:ГИФМЛ,1961.– 464с.
ЗайманДж.Принципытеориитвердоготела/Дж.Займан.–М.:Мир, 1966.–416с.
ЗеегерК.Физикаполупроводников/К.Зеегер.–М.:Мир,1977.–
616с.
КалитеевскийН.И.Волноваяоптика/Н.И.Калитеевский.–М.:Высшаяшк.,1995.– 464с.
ВандеВилеФ.Просветляющиепленкиимногослойныеструктуры.Полупроводниковыеформирователисигналовизображения/Ф.ВандеВи-ле.– М. :Мир,1979.–576с.
ЦидильковскийИ.М.ЭлектроныидыркивполупроводникахИ.М.Цидильковский.–М. :Наука,1972. – 640с.
4.11БлекморДж.Статистикаэлектроноввполупроводниках/Дж.Блек-мор.– М.:Мир,1964.– 392с.
ПанковЖ.Оптическиепроцессывполупроводниках/Ж.Панков.–М. :Мир,1973.–456с.
МоссТ.Оптическиесвойстваполупроводников/Т.Мосс.– М.,1964.– 304с.
ХайбибулинИ.Б.Физическиеосновылазерногоотжигаполупровод-
ников.Материалыполупроводниковойэлектроники/И.Б.Хайбибулин.–Л.:Изд-воАНСССР;ФТИим.А.Ф.Иоффе,1984.– 244с.
ШалимоваК.В.Физикаполупроводников/К.В.Шалимова.–М.:Энергия,1976.– 416с.
Заключение 217

ГЛАВА5
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕПРИЕМНИКИИЗЛУЧЕНИЯОПРЕДЕЛЕНИЯИПАРАМЕТРЫ
ВВЕДЕНИЕ
Кфотоэлектрическимприемникамотносятприемникитакоготипа,вкоторыхпоявлениефотосигналасвязанонесразогревом,асизмене-ниемсостоянияносителейзаряда,посути–ктомуилииномувидувозбужденияэлектроновтвердоготела,котороеможетвыражатьсявизменениисопротивления,появлениифототокаилифотонапряженияит.п.Вообщеговоря,температураприемникаприэтомтожеможетме-няться,этоприводити кизменениюегохарактеристик,однаковы-званныеэтимэффекты–следующегопорядкамалости.Фотоэлектри-ческиеприемникиделятсянаприборысвнешнимфотоэффектом,когдаэлектроныуходятсповерхноститвердоготела,инаприборысвнутреннимфотоэффектом,когдавозбуждаемыефотоэлектронынепокидаюттвердоготела.Преждечемперейтикприборамнавнутрен-немфотоэффекте–основесовременнойтвердотельноймикрофото-электроники,остановимсянаприборахсвнешнимфотоэффектом.Кним,например,относятсяприборыночноговиденияиразличныетипыпередающихтелевизионныхтрубок.
Подвнешнимфотоэффектомпонимаетсяявлениевырыванияэлек-тронасповерхноститвердоготелаввакуумподвоздействиемэлек-тромагнитногоизлучения.Историческиприборынаосновевнешнегофотоэффектапоявилисьраньше,чемнаосновевнутреннего,ирольих
всовременнойтехникепо-прежнемувелика.Внешнийфотоэффектописываетсятремяосновнымиэкспериментальнымизаконами.
Примонохроматическомосвещении(длинаволны=const)фо-тотокпропорционаленпадающеймощности.
Существуетдлинноволноваяграницаспектраизлучения,зако-торойфототокотсутствует.Ееназываюттакже«краснойграницей»фотоответаиобозначаюткр,ачастоту,соответственно,кр.
Энергиявышедшихввакуумэлектроновпримонохроматиче-
скомосвещениинезависитотпадающеймощности,амаксимальнаявеличинакинетическойэнергиивышедшихввакуумэлектроновсвя-занасчастотойпадающегоизлучениякак
2
mvmax
2
ab.
А.Эйнштейнпредположил,чтоэнергияфотонасвязанасегочас-тотойкакEh,гдеh–постоянная Планка,иполучилсоотношение:
mv2
h max,
2
где–минимальнаяэнергия,необходимаядляудаленияэлектронаввакуум–такназываемаяработавыходаданногоматериала.
Тогдакропределяетсявеличинойработывыхода,котораявсвоюочередьзависитотусловийнаповерхноститвердоготела:обработки,
наличияадсорбированныхгазовит.д.Энергетическийуровеньвакуу-
манаходитсявышекраязоныпроводимостилюбоготвердоготела.Поэтому,длятогочтобывозбужденныйсветомэлектронмогвприн-ципевыйтиввакуум,необходимо,чтобыэнергияфотоназначительнопревышалаширинузапрещеннойзоныданногоматериала.Дляуменьшениякриспользуетсяпокрытиеизматериала,работавыходаизкоторогозначительноменьше,чемуматериалафотокатода,например,тонкое,субмонослойноепокрытиеизатомовцезияскислородом.Вчистыхметаллахквантовыйвыходдлявнешнегофотоэффектаобычнолежитвпределах0,00001...0,001,авоптимизированныхполупровод-никовыхфотокатодахможетдостигатьпримерно0,3.
Внутреннийфотоэффектсостоитвувеличенииконцентрациисво-
бодныхносителейзаряда(вобщемслучае–вувеличениипроводимо-сти)припоглощенииизлучения.Очевидно,чтоувеличениеконцен-
Введение 219
трациисвободныхносителейзарядаможетбытьлишьприсобствен-номипримесномпоглощениивполупроводниках–такназываемомфотоактивномпоглощении.Частофотоприемникинаосновевнутрен-негофотоэффектаназываютфотоннымиприемниками.Взависимостиотналичиявнутреннихивнешнихполейвполупроводникемогутиметьместоследующиефотоэлектрическиеявления(рис.5.1).
Однородныйполупроводник(т.е.отсутствуютвнутренниеили
встроенныеполя)иотсутствиевнешнихполей(рис.5.1,а).
Подвоздействиемосвещениявполупроводникерождаютсяэлек-тронно-дырочныепарывблизиповерхности,азатемонидиффунди-
руютвглубьполупроводника.Из-забольшейподвижностиэлектроновустанавливаетсяэлектрическоеполе,котороевыравниваетпотокиэлектроновидырок.
Φ Φ
++
–––
– j
+ –++–+
n jр
+–+–
–
––++ Е
+
а б
Φ Φ– n p +
+ –+
–+
+В –+
–+
–+
– –+
в г
Рис.5.1.Схематическоеизображениепроцессовводнороднома...винеоднородном(г)полу-проводнике,происходящихподвоздействиемосвещения:
а–эффектДембера;б–фотопроводимость;в–фо-тоэлектромагнитныйэффект;г–фотовольтаический
эффект
Однородныйполупроводник,ккоторомуприложеновнешнееэлектрическоеполе(рис.5.1,б).
ВовнешнемэлектрическомполеEнеравновесныеносителизаря-да,созданныеосвещением,принимаютучастиевтоке,которыйприосвещенииувеличивается.Наблюдаетсяфотопроводимость,т.е.уве-личениепроводимостиприосвещении.
Однородныйполупроводник,ккоторомуприложеновнешнее
магнитноеполе(рис.5.1,в).
Подвоздействиемосвещениявполупроводникерождаютсяэлек-тронно-дырочныепарывблизиповерхности,азатемонидиффунди-
руютвглубьполупроводника.ПриложенноевнешнеемагнитноеполеBповорачиваетэлектроныидыркивразныестороны,ивнаправле-нии,перпендикулярномсветуимагнитномуполю,возникаетэлектри-ческоеполе.Наблюдаетсяфотоэлектромагнитныйэффект.
Неоднородныйполупроводник,например,гетеро-илиp–n-пере-ход(рис.5.1,г).
Вp–n-переходеобразуютсяэлектронно-дырочныепары,которые
подвоздействиемвстроенногоконтактногополяразделяются:элек-троныуходятвn-область,адырки–вp-область.Есливнешняяцепьзамкнута(втомчислеприналичиивнешнегонапряжения),внейпро-текаетфототок,аеслиразомкнута,товозникаетфотоЭДС.Наблюдает-сяфотовольтаическийэффект.
Общимдлявсехуказанныхэффектовявляетсято,чтововнешнейцепинасопротивлениинагрузки,включенномпоследовательноспри-
емникомизлученияиисточникомнапряженияилитока,появляетсяэлектрическийсигналподвоздействиемсвета.
Вэтойглаве,доизученияфизическихпринциповработыприемни-ковизлученияразноготипа,мырассмотримосновныеопределения,относящиесякакксамимприемникам,такикихпараметрамимето-дамизмеренийэтихпараметров.ВсеформулировкисоответствуютГОСТ21934-83иГОСТ17772-88[5.1,5.2].Представляется,чтотакаяпоследовательностьизложенияпозволитлучшевоспринятьпосле-дующиеглавыидополнительнуюлитературупотеме.