
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Экситонноепоглощение
Присобственномпоглощении,какэтовидноизпредыдущихпод-параграфов,образуютсясвободные,независимыедруготдругаэлек-тронидырка,которыемогутучаствоватьвпереносезаряда.Однакомеждусвободнымиэлектрономидыркой,обладающимизарядамипротивоположногознака,существуеткулоновскоевзаимодействие.
Впринципевозможно,чтоэлектронврезультатевозбужденияквантомизлученияперейдетввозбужденноесостояние,ноостанетсясвязан-нымнаводородоподобнойорбитевблизиобразовавшейсяположи-тельнойдырки.Параэлектрон–дырка(экситон),связанамеждусобойиможеткакцелоеперемещатьсяпокристаллу.Энергиясвязитакойсистемызаписываетсякак
mm
Eex
2
mq4
r
2401,
2n2
n1,2,...,
где
mr
eh
e h
mm–приведеннаяэффективнаямасса;–диэлектриче-
скаяпроницаемость.
Энергияосновногосостоянияэкситона(при
n1)зависитотэф-
фективныхмассидиэлектрическойпроницаемостиисоставляетобычнонесколькомиллиэлектронвольт.Такимобразом,фотоны,обладающие
Коэффициентпоглощения,отн.ед.
α,104см–1
1,1
0,9
0,7
294К
186К90К21К
0
1,42 1,46 1,50 1,54
_
hω,эВ 2
n=1
1
0 5 10 15 200
_
hω–E,отн.ед.
Рис.4.12.Спектральнаязависимостькоэффици-ентапоглощениябезучета(1)исучетомобразо-ванияэкситона(2):
вертикальнаястрелкауказываетнакрайпоглощения,связанныйсначаломпрямыхпереходов;наврезке–экспериментальныеспектрыпоглощениявGaAs,ука-
зывающиенавозникновениеэкситонов[4.15]
энергией,немногоменьшейширинызапрещеннойзоны,могутпогло-титьсясобразованиемэкситона.Нарис.4.12показанытеоретическиеспектрыпоглощениясучетомибезучетаобразованияэкситонов.
Следуетотметить,чтоэкситоныненаблюдаютсяприповышеннойтемпературе,таккакэнергиясвязисравнимасэнергиейфононов,атакжевполупроводникахсповышеннойконцентрациейносителейзарядаиз-заэкранировкиэтиминосителямиэлектрон-дырочноговзаи-модействия.
Боровскийрадиусэкситонаможнооценитьизводородоподобной
модели.Дляэффективноймассы
mrm00,05и
E13
боровский
радиусэкситонаравен130Å,или13нм.
Примесноепоглощение
Известно,чтопривведенииврешеткупримесногоатомаэнергети-ческийспектрэлектроноввкристаллевидоизменяется.Вчастности,взапрещеннойзонекристаллавозникаютлокализованныесостояния,на
которыхпри
T0К
находятсяэлектроны(дырки),которыесповы-
шениемтемпературымогутпереходитьвзонупроводимости(валент-нуюзону)иприниматьучастиевтоке.Энергияактивациипримесныхуровнейбываетразличной,нодля«мелких»доноровилиакцепторовсправедливаводородоподобнаямодель,всоответствиискоторойглу-
m
e
биназалеганияуровня
Ed 2EH,где
m0
EH13,6
эВ–энергияио-
низацииатомаводорода.Длягермания,например,величинаэнергииактивацииэлементовVгруппы(As,P,Sb)составляетсотыедолиэлек-тронвольта.
Поэтомупереходымеждунейтральнымдонором(акцептором)и
зонойпроводимости(валентнойзоной)могутпроизойтипрималыхэнергияхквантавдалекойинфракраснойобластиспектра.Нарис.4.13данасхематическаядиаграмма,показывающаявозможныеоптическиепереходывполупроводникесдонорнымииакцепторнымиуровнями.
Каквидноизрисунка,тольковслучаяхаибфотонсмалойэнер-гией,равнойоптическойэнергииионизациипримеси,можетперевестиэлектрон(дырку)сдонорного(акцепторного)уровнявзонупроводи-мости(валентнуюзону).Именноэтипереходыиспользуютсядлявоз-бужденияпримеснойфотопроводимости.
– –
ЕF ЕC
Еd + –
ЕF
Е
Еа –F
+ +
+
Еv
а б в г
Рис.4.13.Схематическаядиаграмма,показы-вающаявозникновениесвободныхилокали-зованныхэлектроновидырокпослевозмож-ныхпереходовмеждупримеснымиуровнямииразрешеннымизонамивполупроводнике
Длятогочтобыпереходыимелиместо,необходимо,чтобыдопо-глощенияквантаизлучениянадонорномуровненаходилсяэлектрон,аакцепторныйуровеньбылпустой.Степеньзаполненияуровнейпол-ностьюхарактеризуетсяположениемуровняФерми.Дляпереходовдонор–зонапроводимостиуровеньФермидолженрасполагатьсявыше
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Коэффициентпоглощения,см–1

40
30
20
10
0 0,05 0,1 0,15
Энергияфотона,эВ
Рис.4.14.Спектральнаязависимостькоэффици-ентапоглощения,легированногобором[4.13]
донорногоуровня,адляпереходовакцептор–валентнаязона–нижеакцепторногоуровня.
Переходывиг,показанныенарис.4.13,могутиметьместо,но
толькоподвоздействиемквантовсэнергией,близкойкширинеза-прещеннойзоны,иобычнонепринимаютсявовнимание.
Нарис.4.14показанаэкспериментальнаязависимостькоэффици-ентапоглощениядлякремния,легированногобором,отэнергиифото-на.Наспектренаблюдаютсяпики,связанныеспоглощениемприпе-реходеизосновноговпервое,второеитретьевозбужденноесостояние(n1,2,3).Пикисбольшейэнергиейсливаютсясполосой,соответст-
вующейполнойионизациипримеси.Приодновременномприсутствиивполупроводникедонорныхиакцепторныхсостоянийвозможныпе-реходымеждуними.