
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
Какбылоужесказано,из-замалостиимпульсафотонаприеговзаимодействиитолькосэлектрономпереходыпроисходятссохране-ниемимпульса(приодномзначенииk).Переход,вкоторомподвоз-
действиемквантаизлученияизме-
Е
hν=Eg+Ep
hν=Eg–Ep
няютсяиэнергия,иимпульсэлек-трона,неможетбытьдвухчастич-ным.Законсохраненияимпульсаобеспечиваетсязасчетучастиявпроцессетретьейквазичастицы–
Egфонона,представляющегособойквантколебаниярешетки.Вкри-сталлесуществуетмногомодко-лебаний,новоптическихпроцес-сахвблизикраяпоглощения
k принимаютучастиеобычноаку-стическиефононы.Припереходе
Рис.4.10.Непрямыепереходыв
полупроводникеспоглощениеми
электронаизвалентнойзонывзонупроводимостифононсэнер-
испусканиемфонона
гиейEp
можетлибопоглотиться,
либоиспуститься.Этидвавозможныхпроцессапоказанынарис.4.10иимсоответствуютравенства:
haECEvEp;
heECEvEp.
(4.2.8)
Вслучаенепрямыхпереходовэлектронможетперейтиизлюбогозанятогосостояниявалентнойзонывлюбоесвободноесостояниезоныпроводимости.Плотностьсостоянийввалентнойзонеравна
v
2m32
авзонепроводимости
Nv
h
223
32
E12,
2me
N E
E12
C 223
C g .
Подставляявпоследнееравенство(4.2.8),можнополучить:
32
2me
N hE E
E12
(4.2.9)
С 223
g p v .
Коэффициентпоглощенияпропорционаленинтегралуотпроизве-
денияплотностейсостоянийNvиNC
длявсехвозможныхпарсо-
стоянийспоглощениемииспусканиемфонона,атакжевероятности
взаимодействияэлектронасфононом
f(Np),котораясамаявляется
функциейотчислафононов,равногоN 1
.Окончательноза-
p Ep
ekT1
висимостькоэффициентапоглощенияотэнергиифотоназаписывается
как
2
2
hAh Eg
Ep
h Eg
Ep
h
h,
(4.2.10)
Ep
ekTEp
1 1ekT
a e
гдеah
коэффициентпоглощениядляпереходовспоглощением
фонона(привыполненииусловияhEgEp),аeh
ходовсиспусканиемфонона(hEgEp).
дляпере-
Нарис.4.11изображенаспектральнаязависимостькоэффициентапоглощениядлянепрямозонногополупроводника–германия.
4
|
|
|
|
|
|
|
|
|
300К |
77К |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Коэффициентпоглощения,см–1
10
103
2
10
1
10
100
–1
100,6 0,7 0,8 0,9 1,0
Энергияфотона,эВ
Рис.4.11.Спектральнаязависимостько-эффициентапоглощениявGeдлятемпе-
ратуры300 и 77 К[4.13]:
вертикальныестрелки указываютнаначалопрямыхпереходов;сплошныекривые–тео-
рия,точки–эксперимент
ПотолоквалентнойзонывгерманиирасположенвГ-точкезоныБриллюэна,аднозоныпроводимости–вL-точке.Поэтомуприэнер-гияхфотоноввблизиширинызапрещеннойзоныпроисходятнепрямыепереходысучастиемфононаикоэффициентпоглощенияневелик.Ко-гдаэнергияфотонастановитсяравнойрасстояниюмеждуэкстремума-мивГ-точкезоныБриллюэна,начинаютсяпрямыепереходы(ихнача-лонарис.4.11отмеченовертикальнымистрелками),наблюдаетсярезкийросткоэффициентапоглощения.