
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Собственноепоглощение.Прямыепереходы
Какужеговорилось,терминсобственноепоглощениеотноситсякпереходамэлектроновподвоздействиемизлученияизвалентнойзонывзонупроводимости.Таккакимпульсфотонаhоченьмалпосрав-нениюсимпульсомэлектронавкристалле(порядкаha,гдеaпо-стояннаярешетки),тоегоможнонеучитыватьисчитать,чтоприпо-
глощениифотонаимпульсэлектронанеизменяется.Коэффициент
поглощенияфотонасданнойэнергией
(h)
зависитотплотности
начальных,заполненныхэлектронамисостоянийNvиплотностико-
нечных,пустыхсостояний
NC,атакжеотсилыосцилляторадлядан-
ногоперехода
fvC
2
3mhv
xvC
2,которыйотражаетвероятностьпере-
хода.Сучетомэтогокоэффициентпоглощенияможнозаписатьв
следующемвиде[4.13]:
h
q2
nm
fNvNCfvC. (4.2.3)
Вообщеговоря,дляправильногорасчетакоэффициентапоглоще-ниянеобходимознатьстепеньзаполнениясостояний.Дляпростотычастосчитают,чтовсенижниесостояниязаполнены,авсеверхние–пустые.Этосправедливодляневырожденныхполупроводниковпри0К.
Рассмотрим теперь поглощение,
связанноеспереходамиизвалентнойзонывзонупроводимостиприодномзначенииволновоговектора,какэтопоказанонарис.4.8.Приэтомбудемсчитать,чтоминимумзоныпроводи-мостиимаксимумвалентнойзонына-
E
EС
Eg hν
Ev
ходятсяпри
k0,авероятностьпере-
хода
PvC
независитотэнергиифотона.
k
Еслиоптическиепереходыпри
k0
разрешены(аэтоопределяетсяправи-ламиотбора,учитывающимичетностьначальнойиконечнойволновыхфунк-
Рис.4.8.Переходымеждупря-мымидолинамивполупровод-нике[4.12]
цийэлектрона),тотакиепереходыназываютсяразрешеннымипрямы-мипереходами.Энергияэлектронапослеперехода,какэтовидноиз
рис.4.8,равна
EChEv,акрайполосыпоглощенияопределяется
2k2
условием
2k2
h0Eg. Для параболических зон
ECEg
2m;
e
Ev
h
2m.Комбинируяэтиравенства,можнополучить:
2k21 1
hEg
2mm,
e h
e,h
гдеm*
–эффективнаямассаэлектронаилидырки.
Плотностьсостояний,определяющаяпрямыепереходы,которуюназываюттакжеприведенной,иликомбинированной,плотностьюсо-стояний,записываетсяввиде:
8k2dk
2m32 12
NNvNC
mm
Nh
23
r hE
23 g
2, (4.2.4)
гдеmr
eh
e h
mm–приведеннаямасса.
Окончательнозависимостькоэффициентапоглощенияотэнергиифотонадляпрямыхпереходовзаписываетсякак
q22m32 12
h
r hE
f , (4.2.5)
2 2
g Cv
cme n
гдеn–показательпреломления.
Главноевуравнении(4.2.5)–этозависимостькоэффициентапо-глощенияотэнергиифотона.Теоретическийрасчетспектральнойза-висимостикоэффициентапоглощениядляконкретногоматериалавоз-можен,нореальновсегдапользуютсяэкспериментальнымизначениями,причемпоизмереннойспектральнойзависимостисудятотом,какиепереходыимеютместо.
Внекоторыхвеществахпрямыепереходыприk0запрещенысо-
гласноквантовымправиламотбора,апри
k0
вероятностьперехода
увеличиваетсяпропорциональноk2
илиhEg.Такиепереходы
называютсязапрещеннымипрямымипереходами,атаккаккомбини-
рованнаяплотностьсостоянийпропорциональнаhEg
12,тоокон-
чательноевыражениедлякоэффициентапоглощениявэтомслучаезаписываетсякак
2q22m52 32
h
r hE
. (4.2.6)
T

Можнооценитьвеличинукоэффициентапоглощениядлярассмот-ренныхдвухслучаев.Еслипринять,чтопоказательпреломленияn4,аэффективныемассыэлектроновидырокравнымассесвобод-ногоэлектрона,токоэффициентыпоглощенияравнысоответственно:
h2104hEg
12[см–1]; (4.2.7)
32
h1,3104hEg
h
[см–1]. (4.2.7а)
Вкачествепримеранарис.4.9показанаспектральнаязависимостькоэффициентапоглощениядляарсенидагаллия(GaAs),являющегося
4
Коэффициентпоглощения,см–1
10
103
2
10
1
10
100
1,3 1,4 1,5 1,6 1,7
Энергияфотона,эВ
Рис.4.9.Зависимостькоэффициентапоглоще-нияварсенидегаллияотэнергиифотона[4.12]:
кружки–экспериментальныеданные,штриховаяли-ния–расчетвсоответствиисформулой(4.2.5)
прямозоннымматериалом:внемднозоныпроводимостиипотолоквалентнойзоныимеютодноитожезначениеволновоговектораk0.
Каквидноизрисунка,вблизиширинызапрещеннойзонывэкспе-
риментенаблюдаетсяпоглощение,котороенеописываетсятеориейпрямыхпереходов.Оказывается,чтоврядематериаловпоглощениевблизикраяэкспоненциальновозрастаетсэнергиейквантапозакону
dln 1
dh kT
,которыйназываетсяправиломУрбаха.ВGaAsэкспо-
ненциальныйкрайпоглощенияобъясняетсяпереходамимеждухво-стамиплотностисостоянийзоныпроводимостиивалентнойзоны.