
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Поглощениевполупроводниках
Излитературы[4.3,4.6,4.7]известно,чтосвойстваполупроводни-ковможноописать,основываясьназоннойтеории,котораяустанавли-ваетэнергетическиезависимостиэнергииэлектроновотихквазиим-пульса.Тамжеописанораспределениеэлектроновпоэнергиипритепловомравновесии.Крометого,былопоказано,чтоподвоздействи-емэлектромагнитногоизлученияпроисходитпереходэлектронаизодногоэнергетическогосостояниявдругое,причемвероятностьтако-гопереходапропорциональнаквадратуматричногоэлемента.Такимобразом,сейчасможноприступитькописаниюмеханизмовпоглоще-ниявполупроводникахнамикроскопическомуровне.
Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
Какследуетизвышеизложенного,поглощениеестьпередачаэнер-гииотэлектромагнитнойволнытвердомутелу.Вданномподпарагра-фемыбудемследоватьквантово-механическомурассмотрениюизлу-чениякакансамбляБозе-частиц–фотонов.ПримонохроматическомизлучениикаждыйфотонимеетоднуитужечастотуиэнергиюEh.Притакомрассмотренииэлементарныйактпоглощенияфотонаозначаетегоисчезновениеспередачейэнергиииимпульса,вобщемслучае–твердомутелукакцелому.Твердоетеломожнорас-сматриватькаксовокупностьатомныхостововиэлектронов,другимисловами,каксовокупностьрешеткииэлектронов.Электронызапол-няютэнергетическиезоныиобладаютсовершенноопределеннымзна-чениемэнергиииквазиимпульса.Поэтомуособенностиэлементарногоактапоглощенияфотоназависятоттого,передаетлифотонэнергиюиимпульснепосредственнорешеткелибоэлектронам–свободнымилисвязанным.Таккакприпоглощениифотонадолжнывыполнятьсяза-конысохраненияэнергиииимпульса,которыйуфотонаоченьмал,то
этовсочетаниисданнымдлятвердоготелазакономдисперсии
накладываетопределенныеограничениянапоглощение.
E(k)
Вполупроводникахсуществуютследующиевидыпоглощения.
Собственное,илитакназываемоефундаментальное,илимеж-дузонное,поглощение,котороезаключаетсявтом,чтоэнергияиим-пульсфотонапередаютсяэлектрону,которыйдопоглощениянаходит-сяввалентнойзоне,апослепоглощенияпереходитвзонупроводимости.Приэтомввалентнойзонерождаетсядырка,которая,какиэлектронвзонепроводимости,можетперемещатьсяподвоздей-ствием,например,электрическогополя.
Экситонноепоглощение,прикоторомэнергияиимпульсфотонатакжепередаютсяэлектронувалентнойзоны,ноэлектрон,приобрет-
шийдополнительнуюэнергию,ивозникшаядыркаобразуютсвязан-ныйподвижныйкомплекс(экситон),которыйприпоглощениидопол-нительнойэнергииможетразрушиться,приводя,какивпредыдущемслучае,кобразованиюсвободныхэлектронаидырки.
Примесноепоглощение,связанноеспередачейэнергиифотонаатомупримеси,врезультатечегоэлектрон(дырка),локализованныйнаатоме,переходитвзонупроводимости(валентнуюзону).
Внутризонноепоглощение,возникающеевпределахтолькоод-нойзоны–зоныпроводимостииливалентнойзоны;ононаблюдаетсявполупроводникахсналичиемсвободныхносителейзарядаисвязаноспереходомэлектрона(дырки)наболеевысокийэнергетическийуро-вень,т.е.соднойподзонынадругую.
Поглощениесвободныминосителямизаряда,прикоторомэнер-гияфотонапередаетсясвободнымэлектронам(дыркам)иприэтом
возникаеттокоптическойчастоты.
Решеточноепоглощение,отличающеесяотвсехранеерассмот-ренныхтем,чтоэнергияфотонавозбуждаетнепосредственноколеба-ниярешетки,т.е.фотоны,поглощаясь,рождаютфононы.
Рассмотрим,какквантоваямеханикаподходиткописаниювзаимо-действиявнешнегоэлектрическогополясквантовойчастицей(ато-мом,электроном),находящейсявглубокойпотенциальнойяме.Впринципесамактпоглощениямикрочастицейквантаизлучения,со-стоящийвпереходеэтойчастицыизодногоквантовогосостояниявдругое,рассчитываетсяприиспользованииосновногоуравнениякван-товойдинамикивинвариантнойформе,котороеназываетсятакжене-стационарнымуравнениемШредингерадлявекторасостояния:
d
t
idt
Hˆ...,Aˆk,...,tt,
(4.2.1)
где
Aˆk
–операторыфизическихвеличин,характеризующихданную
микросистему;
ниансистемы.
(t)
векторсостояния;
Hˆ(...,Aˆk,...,t)
гамильто-
Главнойпроблемойявляетсянахождениегамильтониана
Hˆ(t),
управляющегоизменениемсостояниямикросистемывовремени.Если
гамильтониансистемыиееначальноесостояние
(0)
известны,тов
принципеможетбытьнайденолюбоепроизвольноесостояниеэтой
системы
(t).Применительнокактупоглощенияэтоозначает,чтов
принципевозможноопределитьвероятностьпоглощения.Рассмотримвкачествепримера,каквычисляетсяамплитудавероятностипереходамеждубазиснымисостояниямидляэлектронавпотенциальнойяме,накоторыйвоздействуетвнешнееэлектрическоеполесэнергией
E(x,t)qEx(t)x,где
Ex(t)–компонентанапряженностиполя.В
квантовоймеханикепоказывается,чтовэтомслучаегамильтонова
матрицаимеетвидUmnqEx(t)xmn,где
n
xmndxm(x)x(x)называетсяматричнымэлементом.
(4.2.2)
Еслиподставитьв(4.2.2)значениябазисныхволновыхфункций
дляэлектронавбесконечноглубокойяме
n(x)
2sinnx,тоока-
L L
зывается,чтоматричныйэлемент
xmn0
тольковтомслучае,когда
числаmиnобладаютразнойчетностью.Крометого,расчетыпока-
зывают,чтодажеприразличнойчетностивеличина
xmn
малаидости-
гаетмаксимальногозначениядлясоседнихбазовыхсостояний,т.е.при
mn1.
Такимобразом,энергиясистемыпривзаимодействиисизлучением
можетлибовозрастинавеличину
EnEn1En,либоуменьшиться
натакуюжевеличину.Первыйслучайсоответствуетпоглощениюиз-
лучения,авторой–егоиспусканию.Есливнешнееэлектрическоеполеизменяетсявовременипогармоническомузаконусчастотой,тонаиболеевероятныпереходырезонансноготипа,когдачастотапере-
EE
ходаmn
m n.