
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Теплотаитемпература
Энергиялюбойсистемычастиц,втомчислеисенсора,можетбытьизмененанавеличинуdEпутемработыAвнешнихсилнадсистемойи/илипутемпередачитеплаQ:
dEAQ. (1.1.1)
Соотношение(1.1.1)представляетзаконсохраненияэнергиисуче-томтепловыхпроцессов.Работавнешнихсилсвязанасизменениемгеометрическихпараметров,характеризующихсистему.Например,этоможетбытьобъемсенсораилиактюатора,итогдаработаравна:
ApdV, (1.1.2)
гдер–давление,dV–изменениеобъемасистемы,азнак«–»учиты-вает,чтоприсжатиивнутренняяэнергиясистемыувеличивается.
Понятиеработыявляетсяпривычным,хотяиздесьимеютсяосо-
бенности,которыенужноучитывать.Так,ввыражении(1.1.2)неявноподразумевается,чтовпроцессеизмененияобъематемпературасис-темыдолжнаподдерживатьсяпостоянной.Отражениемэтогоявляетсясимвол,стоящийпередсимволомработы,анезначокдифференциа-ла,каквлевойчасти(1.1.1).
Есливнешниепараметрынеизменяются,например,
Vconstи
dV0,тоэнергиюсистемычастицможноизменить,сообщивейне-котороеколичествотепла:
dEQ
при
Vconst.
Понятиятеплоиизменениеколичестватеплаявляютсясущест-венноболеесложными,посколькунеимеютнаглядногомеханическо-гоаналога.Тщательныйанализ,проведенныйвтермодинамике,пока-зал,чтоизменениетепламожнопредставитьвформе,оченьпохожейна(1.1.2):
QTdS, (1.1.3)
гдеT–абсолютнаятемпературавкельвинах(К)иS–функциясостоя-ниясистемы,называемаяэнтропией.Фундаментальнымзакономпри-родыявляетсято,чтовлюбойзамкнутойсистемечастицпривыпол-нениикруговогоцикла,когдапослепроизведеннойработыитеплопередачсистемавозвращаетсявисходноесостояние,(например,циклКарно)интеграл
обращаетсявнуль.
Q
тTє
тdS=0
(1.1.4)
Открытиеэнтропииисоотношения(1.1.4)–этоодноизсамыхза-мечательныхнаучныхдостиженийXIXвека.
Сучетом(1.1.2)и(1.1.3)законсохраненияэнергиидлятепловыхпроцессовпринимаетвид
dEpdVTdS. (1.1.5)
Соотношению(1.1.5)можнопридатьииной,болееудобныйдляпрактическихцелейвид.Вычитаяизобеихчастей(1.1.5)дифференци-алпроизведенияdTS,получаем:
dETSpdVSdT.
ВеличинаFETS
именуетсясвободнойэнергиейсистемы.
Учитываяэто,законсохранения(1.1.1)можнозаписатьвформе
dFpdVSdT. (1.1.6)
Параметрами,определяющимисвободнуюэнергиюF,являютсятемператураиобъем,которыеудобноизмерять.Поэтомусоотношение(1.1.6)имеетширокоепрактическоеприменение.Например,изурав-нения(1.1.6)вытекаеталгоритмэкспериментальногоопределенияэн-тропии
SF .
TVconst
Статистическаяфизикапроясниласмыслвсехвеличинвуравнени-ях(1.1.1)...(1.1.6)[1.3].Дляэтогонеобходимоучесть,чтоэнергетиче-скийспектрлюбойсистемычастиц,занимающейобъемV,квантовани
характеризуетсянаборомэнергетическихуровней
i,расстояниемеж-
дукоторымиможетбытьиоченьмалым.Любойизуровнейэнергети-
ческогоспектраi
можноохарактеризоватьвероятностью
wi,ското-
ройсистемачастицбудетнанемнаходиться.Сучетомэтоговнутреннююэнергиюлюбойсистемычастицможнорассматриватькаксреднеезначениепоэнергетическомуспектру:
Eiwii
исуммированиеведетсяповсемэнергетическимуровням.Изменениевнутреннейэнергииможетбытьпроизведенодвумяпутями:
dEiwiiwi. (1.1.7)
i i
Первоеслагаемоевправойчасти(1.1.7)связаносизменениемэнергетическогоспектра,чтопринеизменномсоставесистемычастицможетбытьвызваноизменениемвнешнихпараметров(например,объ-
ема).Егоможноинтерпретироватьсмикроскопическойточкизрениякакработу,произведеннуюнадсистемой.
Втораясуммав(1.1.7)описываетвкладвизменениевнутренней
энергииприпостоянныхвнешнихпараметрахинеизменномэнергети-ческомспектре.Приэтомвероятностьзаполнениясостоянийизменя-етсянаwi.Этавтораясуммарассматриваетсякакизменениеэнергиисистемычастицпутемпередачитепла:
Qiwi. (1.1.8)
Статистическаяфизикапозволиланайтиуниверсальныйвидфунк-ции,описывающейвероятностьзаполнениясостояний:вероятностьтого,чтосистемабудетнаходитьсянаэнергетическомуровне(иметьэнергиюi),пропорциональна
wi e
i
,
где–модульстатистическогораспределения(статистическаятемпе-
ратура).Изменениемодуляприводиткизменениювероятностиwi
нанекоторуювеличинуwi.Сточкизренияразмерностиработа,теплоистатистическая температураизмеряютсяводнихитехжеединицах–джоулях(Дж).
Сболеепривычнойединицейтемпературы–градусамитермоди-намическойшкалаКельвина(нынеэтоединицаСИ–кельвин)стати-стическаятемпературасвязанапростымсоотношением:
kT,
где
k1,381023Дж/К
–постояннаяБольцмана;Т–температурав
кельвинах.
Увеличениетемпературысоответствуетвозрастаниювероятностизаполненияболеевысокихпоэнергиисостояний,чтосоответствуетувеличениювнутреннейэнергиичастиц.
Исходяизопределениятемпературыкакмодулястатистическогораспределения,следует,чтооперацииделенияилиумножениятемпе-ратурыфизическогосмысланеимеют.Температураявляется«интен-сивной»величинойвотличиеотдлиныилимассытела,которыеупо-мянутымисвойствамиобладают(такиевеличиныназываются
экстенсивными).Этообусловливаетспецификуопределениячислен-ногозначениятемпературы.
Попыткичисленногоопределениятемпературыилиеесравнение
дляразличныхтелпредпринималисьзадолгодовозникновениятермо-динамикиистатистическойфизики.Приэтомиспользоваласьзависи-мостьфизическихсвойствматериаловоттемпературы,чтопозволялоустановитьнекоторуютемпературнуюшкалу.ПрактическоезначениедосихпорсохранилитемпературныешкалыФаренгейтаиЦельсия[1.4,1.5].
ШкалаФаренгейтаназванавчестьголландскогостеклодува
Д.Фаренгейта,создавшегов1724годупервыйтермометрсовременно-готипа.Ониспользовалдвеопорныеточки:однуимитировалсмесьюльда,повареннойсолиинашатыря,адругуюполучал,погружаятер-мометрвсмесьльдаиводы.РасстояниемеждуэтимидвумяточкамиФаренгейтделилна32части.Втакойшкалетемператураабсолютного
нуляпошкалеКельвинаравна
воды:212F.
459,67F,атемпературакипящей
ШкалаЦельсиявозниклав1742году.Вкачествеопорныхточекшведскийфизиквыбралтемпературызамерзанияикипенияводы,рас-стояниемеждукоторымионподелилнасточастей.Соотношенияме-ждуважнейшимипрактическимитемпературнымишкаламиимеютвид:
t(C)TК273,16;
t(F)9t(C)32.
5
ДлятермодинамическойшкалыКельвинавкачестверабочегове-ществарассматриваетсяидеальныйгаз(теоретическоепонятие),кко-торомупосвойствамприближается,например,воздухпринебольшихдавлениях.Единицаизмерений–кельвин–определяетсяизусловий,чтотемператураводывтройнойточке(температураравновесияводы,льдаипара)равна273,16К[1.5],аизменениетемпературынаодинградус(т.е.наодинкельвин)совпадаетсаналогичнымизменениемпошкалеЦельсия.
Процессытеплообменадлямикросистемобычнопротекаютприсохранениипостояннымобъемасистемылибодавления,дейст-
вующегонасистему.ВпоследнемслучаеважнуюрольиграетэнтальпияН:
HEpV,
гдеE–внутренняяэнергия;pиV–давлениеиобъемсистемы.Вы-читаяdpVизобеихчастейуравнения(1.1.6), получаем:
dHTdSVdp. (1.1.9)
Втакойформеуравнение(1.1.9)представляетсобойзаконсохра-ненияэнергии,гдедавлениевыступаетвкачествепеременной,опре-деляющейсостояниесистемы.Дляколичественногоописанияпроцес-совтеплообменаоказываютсяважнымитеплоемкостивеществпри
постоянномобъемеCV
соотношениями:
иприпостоянномдавленииCp,определяемые
E
T
CV V
H
T
Cp p
; (1.1.10)
. (1.1.11)
Вобщемслучаетеплоемкостизависятоттемпературы.Ихзначе-нияобычнонаходятизэкспериментальныхизмеренийхарактеристиквещества.