
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
Аналогиямеждуэлектрическимиитермическимивеличинамипо-зволяетпостроитьэффективныйрасчетныйметодопределениянеста-ционарныхтемператур.Еслидеталираспределениятемпературывнут-риэлементатермическогосенсоранесущественны(например,из-замалостиегоразмеров),тоизменениетемпературыопределяетсяурав-нениемтепловогобалансавупрощеннойформе:
dT
C ФGTT0, (1.9.1)
dt
гдеC–теплоемкостьэлемента;Ф–мощностьвнутреннихисточни-ков(илистоков)тепла;G–термическаяпроводимость,учитывающая
теплообменсокружающейсредой;TиT0
окружающейсреды.
–температураэлементаи
Есливпроцессетеплообменатемператураокружающейсредынеменяется,тоееможновзятьвкачествеопорной,T0const.
Интегрированиеуравнения(1.9.1)сначальнымусловием:u00
приводитквыражению
uФ1expt, (1.9.2)
G
где
uTT0–перегревсенсораотносительноокружающейсреды;
C
G
–постояннаявременитепловогосенсора,равнаявремени,зако-
тороеперегревдостигает63%стацио- T
нарногозначенияutФ/G.
Эквивалентнаяэлектрическаясхе- Ф С G
ма, соответствующая рассматривае-
мой,тепловойзадачеиуравнению
(1.9.1),приведенанарис.1.27.Техника
0
расчетапереходныхпроцессоввэлек- Tтрическихцепяхразвитаоченьхоро-
шо,чтопозволяетизвестныерезульта-тыдляэлектрическихцепейперенестинаэлементытермическихсенсоров.
Рис.1.27.Эквивалентнаяэлект-
рическаясхемасоответствую-щаязадаче(1.9.1)
Вчастности,есливыделяющаясятепловаяэнергияизменяетсяпогар-
моническомузаконуФФ0eit,где–частотаизменений,топере-гревопределяетсячерезимпедансэлектрическойцепиz,приведен-ныйнарис.1.27:
где
z 1 и
GjC
uzФ, (1.9.3)
j1;GиC–соответственнотермическая
проводимостьитеплоемкость.
Температурныйперегревоказываетсясдвинутпофазеотноситель-ноисточникатепловойэнергииФ:tgC.
G
Еслиусловиепостоянстватемпературывдольтермосенсораявля-
етсяслишкомгрубым,топрименяютмоделисраспределеннымипа-раметрами.Вкачествепримерарассмотримслучайодномерноготеп-ловогопотокачерезбалочкупостоянногосечения.Впределахпоперечногосечениятемпературапредполагаетсяпостоянной.
РазобьемдлинубалочкинаNодинаковыхэлементовx.Каждый
элементбудемхарактеризоватьтемпературойоднойеготочки(илиузла),связанной,например,ссерединойотрезка.Уравнениетепловогобалансадляi-гоучасткатермосенсоразапишемввиде:
СxTiTi1TiTiTi1GxTФx. (1.9.4)
t Rx Rx i
ЗдесьCСS–теплоемкостьединицыдлиныбалочки,Дж/(мК);R(kS)1–тепловоесопротивлениеединицыдлиныбалочки,К/(Втм);G–тепловаяпроводимостьсповерхностибалочкинаеди-ницуеедлины,Вт/(мК);Ф–мощностьвнутреннихтепловыхисточ-ников(стоков)наединицудлины,Вт/м.
Двапервыхчленавправойчастиуравнения(1.9.4)описываютиз-
менениетепловойэнергииi-гоэлементаврезультатетеплообменас
соседнимиэлементами,третий–тепловыепотерисповерхностиэле-мента,четвертый–действиевнутреннихисточниковтепла.
Нарис.1.28приведенаэквивалентнаяэлектрическаясхемачастибалочкиввиделиниисраспределеннымипараметрами.
1


ΔXi–1
1
2RΔX
1
2RΔXΔXi
1
2RΔX
1
2RΔXΔXi+1
1
2RΔX
GΔX
GΔX
1
ФΔX
GΔX
GΔX
1
ФΔX
GΔX
GΔX
1
ФΔX
Рис.1.28.Эквивалентнаяэлектрическаясхемадлятемпературногополяпря-моугольнойбалочки
Длянахожденияраспределениятемпературыивеличинтепловыхпотоковнеобходимозадатьграничныеусловиянаконцахлинии.ЧащевсегоониформулируютсязаданиемлиботемпературыTxLT0,либо
величинытепловогопотока
T
xxL
RФ,гдесимволомLобозначен
соответствующийкрайлинии.Вэквивалентнойэлектрическойсхемекеекраямприсоединяетсясоответственноисточникнапряженийилитока.
Последовательностьрасчетовприиспользованиимоделидлиннойлиниисводитсякследующему.Термическийсигнал,изменяющийсявовремени,разлагаетсяврядФурье.Далеерассматриваетсявоздействиеналиниютолькогармоническогосигналавыбраннойчастоты.Реше-ниетакойзадачиописановмногочисленныхучебниках,например,в[1.26–1.28],ипозволяетнайтираспределениетемпературитепловыхпотоков.Суммированиемчастныхрешенийпоспектручастотрас-сматриваемоготермическогосигналанаходитсяобщеерешение.