
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
Введение
Диафрагмыразличныхформчастоприменяютсявкачествеэле-ментовтемпературныхсенсоров.Приэтомтолщинадиафрагмможетбытьпостояннойлибопеременной,например,сутолщениемвцентре,асоединениескольцомжесткостиможетосуществлятьсяповсейгра-ницелибопоеечасти(рис.1.23).
Поддерживающиеполоски
Кольцо
«Плавающая»диафрагма
Рис.1.23.Диафрагмастепловымконтактомпочастиграницы
Различныеконструкционныерешенияпризваныобеспечитьполу-чениемаксимальныхтемпературныхперепадовмеждуцентромдиа-фрагмыикольцомжесткостиприсохранениивысокойстойкостикмеханическимвоздействиям.
Уплоскойкруглойдиафрагмы(рис.1.24)механическиехарактери-стикизначительнолучше,чемудиафрагмынарис.1.23ссоедини-тельнымиполосками,осуществляющимимеханическийитепловойконтакт.Повеличинежетепловогосопротивлениямеждуцентромдиафрагмыикольцомжесткостисоотношениеплавающейиплоскойдиафрагмоказываетсяобратным.Поэтомуприконструированиитер-мическихсенсоровприходитсянаходитькомпромиссмеждутепловы-мииконструктивнымитребованиями.
Границадиафрагмы
r dr
rкольца
Нагреваемаядиафрагма
а
r dr
ri rкольца
Нагреватель
б
Рис.1.24.Диафрагмастепловымконтактомповсейгранице
Рассмотримсначалараспределениетемпературывплоскойкруг-лойдиафрагме,наверхнююповерхностькоторойприходиттепловой
потокпостояннойплотностиq0
(см.рис.1.24,а).Далеенайдемрас-
пределениетемпературыдляслучаяточечногоисточникатепла,рас-положенноговцентрепластины(резистивныйнагрев)(рис.1.24,б).
Однородныйнагрев
Предположим,какэтообычнореализуетсянапрактике,чтотемпе-ратуранаграницесоединениядиафрагмыикольцажесткостиподдер-
живаетсяпостоянной
(TT0)
иперегревотсутствует
uR0.
Из-засимметриидиафрагмыиграничныхусловийперегревзависиттолькоотрасстояниядоцентраr.ТогдастационарноераспределениетемпературыопределяетсяуравнениемПуассона,котороевполярнойсистемекоординатимеетследующуюформу:
1drduu, (1.8.1)
rdr
dr
где
hk
;–коэффициенттеплообмена
q0
kh
(остальныеобо-
значения–каквпараграфе1.7).
Праваячастьуравнения(1.8.1)учитываетразогревиз-запоглоще-нияизлучения,второеслагаемоевлевойчасти–теплообмендиафраг-мысокружающейсредойпозаконуНьютона.
Граничныеусловияврассматриваемойзадачеимеютвид
urR0;
du
drr0
0.
(1.8.2)
Последнееусловиеследуетизсимметриизадачи,котораяприводиткмаксимальномуперегревувцентрепластины.
Введяновуюпеременнуюx1r
вуравнение(1.8.1),получаем
d2u
1du
dx2
u . (1.8.3)
dx
1 1 1
Однородноеуравнение,соответствующее(1.8.3),
d2u
1du
dx2
–u0
dx
(1.8.4)
1 1 1
являетсячастнымслучаемуравнениянамодифицированныефункцииБесселяпорядкануль[1.24].Егообщеерешениеимеетвид:
uc1I0x1c2K0x1, (1.8.5)
где
I0x1–модифицированнаяфункцияБесселянулевогопорядка;
K0x1–модифицированнаяфукцияБесселявторогороданулевогопорядка(функцияМакдональдса).
Каждаяизэтихфункцийможетбытьпредставленаввидеразложе-
нияврядпопеременной
x1[1.24]:
2n
I01x1
2 ;
x
n0n!
2
1x2nn1
(1.8.6)
k0I0x1ln
1C
1
,
2
n0n!22 l1l
гдеC0,577216
–постояннаяЭйлера.
Используя(1.8.6),общеерешениенеоднородногоуравнения(1.8.3)можнозаписатьввиде
u,К0,08
0,07
0,06
0,05
0,04
0,03
0,02
uc1I0x1c2K0x1
. (1.8.7)
0,01
x
0,00 R
0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0
Рис.1.25.Распределениетемпературыпокруглойплоскойдиафрагме:
q0=const
повсейповерхности;радиуспластиныR=2,5мм,
толщинаh=20мкм;коэффициенттеплопроводностикремния
k=96Вт/(м∙К);плотностьтепловогопотокаq=100Вт/м2
0
Постоянные
c1иc2
определяютсяисходяизграничныхусловий
(1.7.2).Врассматриваемомслучае:
.
c20;
c1
IR
0
Этоприводиткрадиальномураспределениютемпературыдиа-фрагмыпозакону:
I0r
0
ur 1 I R
. (1.8.8)
Температурадиафрагмымонотонноуменьшаетсяотцентраккраю(рис.1.25).
Увеличениеразмеровдиафрагмыприводитквозрастаниютемпера-
турывеецентре.Изсоотношения(1.8.8)следует,чтомаксимальныйперегревплоскойдиафрагмывслучаеравномерногонагревасоставляет:
u(0)
1
1
I0R
.