- •4 Оглавление
 - •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
 - •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
 - •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
 - •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
 - •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
 - •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
 - •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
 - •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
 - •Теплотаитемпература
 - •Способы теплопередачи:теплопроводность
 - •Уравнениетеплопроводности
 - •Теплопроводностьгазов
 - •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
 - •Теплопроводностьжидкостей
 - •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
 - •Основныепонятияизаконы
 - •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
 - •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
 - •Конвективныйтеплообмен
 - •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
 - •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
 - •Критериитеорииподобия
 - •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
 - •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
 - •Естественнаяконвекция
 - •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
 - •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
 - •Распределениетемпературы
 - •Передачатеплачерезстенку
 - •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
 - •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
 - •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
 - •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
 - •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
 - •Однородныйнагрев
 - •Точечныйисточниктепла
 - •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
 - •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
 - •Аналитическоерешениедлятеплообмена
 - •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
 - •Физическиепроцессывтермопарах
 - •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
 - •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
 - •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
 - •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
 - •Терморезисторы
 - •Металлическиетерморезисторы
 - •Кремниевыетерморезисторы
 - •Транзисторы
 - •Термисторы
 - •Термическийвакуумметр
 - •Термическиесенсорыпотокагаза
 - •Термоанемометры
 - •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
 - •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
 - •VXSxuxSxucos;
 - •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
 - •Биморфныйтермомеханическийактюатор
 - •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
 - •Уравнениямаксвелла
 - •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
 - •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
 - •Интерференция.Просветляющиепокрытия
 - •Поглощениевполупроводниках
 - •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
 - •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
 - •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
 - •Экситонноепоглощение
 - •Примесноепоглощение
 - •Внутризонноепоглощение
 - •Поглощениесвободныминосителямизаряда
 - •Решеточноепоглощение
 - •Приемникиизлучения
 - •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
 - •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
 - •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
 - •Энергетическиехарактеристикиизлучения
 - •IbAcos.
 - •IBdAcos,
 - •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
 - •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
 - •Цветовоезрение
 - •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
 - •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
 - •650Нмсераялиния
 - •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
 - •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
 - •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
 - •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
 - •1Nстt
 - •Механизмырекомбинации
 - •Излучательнаярекомбинация
 - •Imax 2g
 - •Межзоннаяоже-рекомбинация
 - •Рекомбинациячерезлокальныецентры
 - •Поверхностнаярекомбинация
 - •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
 - •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
 - •Диффузионноеуравнение
 - •Лавинныефотодиоды
 - •Фотосопротивления
 - •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
 - •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
 - •10 Blip 10
 - •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
 - •Болометрическиематрицы
 - •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
 - •Параметрытпи
 - •Болометры
 - •Линейчатыеиматричные
 - •Составипринципработыизмерительногостенда
 - •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
 - •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
 - •Тепловизионныематрицы
 - •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
 - •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
 - •Оцифровываниесигнала
 - •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
 - •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
 - •Часть2Учебноепособие
 - •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
 
Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
Введение
Диафрагмыразличныхформчастоприменяютсявкачествеэле-ментовтемпературныхсенсоров.Приэтомтолщинадиафрагмможетбытьпостояннойлибопеременной,например,сутолщениемвцентре,асоединениескольцомжесткостиможетосуществлятьсяповсейгра-ницелибопоеечасти(рис.1.23).
	
Поддерживающиеполоски
Кольцо
«Плавающая»диафрагма
Рис.1.23.Диафрагмастепловымконтактомпочастиграницы
Различныеконструкционныерешенияпризваныобеспечитьполу-чениемаксимальныхтемпературныхперепадовмеждуцентромдиа-фрагмыикольцомжесткостиприсохранениивысокойстойкостикмеханическимвоздействиям.
Уплоскойкруглойдиафрагмы(рис.1.24)механическиехарактери-стикизначительнолучше,чемудиафрагмынарис.1.23ссоедини-тельнымиполосками,осуществляющимимеханическийитепловойконтакт.Повеличинежетепловогосопротивлениямеждуцентромдиафрагмыикольцомжесткостисоотношениеплавающейиплоскойдиафрагмоказываетсяобратным.Поэтомуприконструированиитер-мическихсенсоровприходитсянаходитькомпромиссмеждутепловы-мииконструктивнымитребованиями.
Границадиафрагмы
r dr
rкольца
Нагреваемаядиафрагма
а
r dr
ri rкольца
Нагреватель
б
Рис.1.24.Диафрагмастепловымконтактомповсейгранице
Рассмотримсначалараспределениетемпературывплоскойкруг-лойдиафрагме,наверхнююповерхностькоторойприходиттепловой
потокпостояннойплотностиq0
(см.рис.1.24,а).Далеенайдемрас-
пределениетемпературыдляслучаяточечногоисточникатепла,рас-положенноговцентрепластины(резистивныйнагрев)(рис.1.24,б).
Однородныйнагрев
Предположим,какэтообычнореализуетсянапрактике,чтотемпе-ратуранаграницесоединениядиафрагмыикольцажесткостиподдер-
живаетсяпостоянной
(TT0)
иперегревотсутствует
uR0.
Из-засимметриидиафрагмыиграничныхусловийперегревзависиттолькоотрасстояниядоцентраr.ТогдастационарноераспределениетемпературыопределяетсяуравнениемПуассона,котороевполярнойсистемекоординатимеетследующуюформу:
1drduu, (1.8.1)
rdr
dr
где
hk
 
;–коэффициенттеплообмена
q0
kh
(остальныеобо-
значения–каквпараграфе1.7).
Праваячастьуравнения(1.8.1)учитываетразогревиз-запоглоще-нияизлучения,второеслагаемоевлевойчасти–теплообмендиафраг-мысокружающейсредойпозаконуНьютона.
Граничныеусловияврассматриваемойзадачеимеютвид
urR0;
du
drr0
0.
(1.8.2)
Последнееусловиеследуетизсимметриизадачи,котораяприводиткмаксимальномуперегревувцентрепластины.
	
Введяновуюпеременнуюx1r
вуравнение(1.8.1),получаем
d2u
1du 
dx2 
u . (1.8.3)
dx 
1 1 1
Однородноеуравнение,соответствующее(1.8.3),
d2u
1du
dx2 
–u0
dx
(1.8.4)
1 1 1
являетсячастнымслучаемуравнениянамодифицированныефункцииБесселяпорядкануль[1.24].Егообщеерешениеимеетвид:
uc1I0x1c2K0x1, (1.8.5)
где
I0x1–модифицированнаяфункцияБесселянулевогопорядка;
K0x1–модифицированнаяфукцияБесселявторогороданулевогопорядка(функцияМакдональдса).
Каждаяизэтихфункцийможетбытьпредставленаввидеразложе-
нияврядпопеременной
x1[1.24]:
 2n
I01x1
2  ;
 x
n0n!
 
2
1x2nn1
(1.8.6)
k0I0x1ln
1C
1 
,
 2 
n0n!22 l1l
гдеC0,577216
–постояннаяЭйлера.
Используя(1.8.6),общеерешениенеоднородногоуравнения(1.8.3)можнозаписатьввиде
	
u,К0,08
0,07
0,06
0,05
0,04
0,03
0,02
uc1I0x1c2K0x1
. (1.8.7)
0,01
x
0,00 R
0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0
Рис.1.25.Распределениетемпературыпокруглойплоскойдиафрагме:
q0=const
повсейповерхности;радиуспластиныR=2,5мм,
толщинаh=20мкм;коэффициенттеплопроводностикремния
k=96Вт/(м∙К);плотностьтепловогопотокаq=100Вт/м2
0
Постоянные
c1иc2
определяютсяисходяизграничныхусловий
(1.7.2).Врассматриваемомслучае:
.
c20;
c1
IR 
	
0	
Этоприводиткрадиальномураспределениютемпературыдиа-фрагмыпозакону:
 I0r
	
		
0
ur 1 I R
. (1.8.8)
	
Температурадиафрагмымонотонноуменьшаетсяотцентраккраю(рис.1.25).
Увеличениеразмеровдиафрагмыприводитквозрастаниютемпера-
турывеецентре.Изсоотношения(1.8.8)следует,чтомаксимальныйперегревплоскойдиафрагмывслучаеравномерногонагревасоставляет:
 
u(0)
1
1
	
I0R
.
 
