
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Теплообменвусловияхестественнойконвекции
Вомногихтермосенсорахикомпонентахмикросистемнойтехникиреализуютсяусловия,гдезаметнуюрольиграетестественная,аневы-нужденнаяконвекция.Естественнаяконвекциявозникаетприсвобод-номдвижениинеравномернонагретойжидкостивгравитационном
поле.ЕслижидкостьстемпературойT0
находитсявконтактесверти-
кальной,имеющейболеевысокуютемпературу
TcT0
стенкой,то
вдольповерхностивозникаетдвижениенагретыхобъемовжидкостииз-зауменьшенияихплотности.Этодвижениенаправленовверхипроисходитвпограничномслое,внекоторогожидкостьнеподвижна.Какипривынужденнойконвекции,здесьмогутсуществоватьлами-нарный,переходныйитурбулентныйрежимытечения.
Однакоприколичественномопределениикоэффициентатеплооб-менанеобходимоучитывать,чтосвободноедвижениежидкостиосу-ществляетсяподдействиемподъемнойсилыивязкости.Силыинер-
ции,связанныесобщимдвижениемжидкостисоскоростьюu0
при
вынужденнойконвекции,вестественнойконвекциииграютнезначи-тельнуюроль.Ввидуэтогоизкритериальногоуравнения(1.4.23)числоРейнольдсауходит.
Подъемнаясилавжидкостиравнаразностимеждувыталкивающей
силойисилойтяжести.Дляединицыобъемажидкостиэтасиларавна:
FgТ,
гдеТTcT0;TcT0;
–коэффициентобъемногорасширения;g–
ускорениесилытяжести.
Силавязкости,действующаяна«всплывающий»объем,пропор-циональнакоэффициентувязкостижидкости.СоотношениемеждуподъемнойсилойивязкостьюотражаетсячисломГрасгофа:
gТL3
Gr ,
2
гдеL–характеристическийразмер.
Сучетомэтогокритериальноеуравнениепринимаетвид[1.19]:
NucGrPrn, (1.4.31)
гдеNu–среднеезначениечислаНуссельта;cиn–эмпирическиепостоянные,значениекоторыхзависитотрежиматечениявпогранич-номслое.
Всефизическиевеличинывправойчастиуравнения(1.4.31)вы-
числяютсяпритемпературе:
TT0Tc.
n 2
Значениякоэффициентовcиnприведенывтабл.1.1.Имсоответ-ствуетнесколькорежимовдвиженияжидкости.
Табл и ц а1.1
Коэффициентыкритериальногоуравнения (1.4.31)
-
GrPr
c
n
1103
0,5
0
1103...5102
1,18
1/8
5102...2107
0,54
1/4
При
n0реализуетсяпленочныйрежим,прикоторомуповерхно-
стиобразуетсяслойнеподвижнойжидкости.Теплообменобусловленмеханизмомтеплопроводности.ПленочныйрежимможетвозникатьутелсплавнымиочертаниямипринебольшойразноститемпературTcT0.
Ламинарномурежимутеченияжидкостисоответствуетпоказатель
n1/8.Этотрежимчастореализуетсявпрактическихвариантахтер-
мосенсоров.Теплообменпозакону
n1/4соответствуетинтенсивно-
муламинарномуипереходномуктурбулентномурежимамдвиженияжидкости.
Формула(1.4.31)применимадлялюбыхкапельныхигазообразныхсредидлялюбыхконфигурацийтел,которыеможноохарактеризоватьоднимразмером.Например,длявертикальнойпластинывкачествехарактеристическогопараметранеобходимовзятьеевысоту.
Длягоризонтальнойпрямоугольнойпластины,котораянагретадо
температурыTc
инаходитсявжидкостистемпературойT0,теплооб-
менсверхнейповерхностиоказываетсябольше,чемснижней.Это
связаностем,чтопластинапрепятствуетпроявлениюдействияподъ-емнойсилыдляэлементарныхобъемовжидкости,находящихсяподпластиной.Еслипластинаимееттемпературуниже,чемтемператураокружающейжидкости,ситуациястановитсяобратной.Расчетпоказы-вает[1.7],чтоусредненноечислоНуссельтадляверхнейповерхностипластиныотличаетсявдваразаотэтогопоказателядлянижнейпо-верхности:
верх:низ:
если
Nu0,76GrPr1/4;
Nu0,38GrPr1/4, (1.4.32)
103GrPr108.
Дляквадратныхпластинвкачествехарактеристическогоразмераследуетбратьдлинустороныквадрата,адляпрямоугольных–L4A/L,гдеA–площадь,S–длинапериметрапластины.
Еслипластинаобразуетвертикальюугол,токоэффициенттеп-лоотдачитакойнаклоннойповерхностиопределяетсякаканалогичный
коэффициентдлявертикальной,помноженнойнапоправку,завися-
щуюотвеличиныугла.Например,дляповерхностей,обращенных
вверх,поправкаравна cos0,25,адляобращенныхвниз–
cos0,25.