
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
Вкачествепервогопримера,иллюстрирующегокритериальныйподходкрасчетуконвективноготеплообмена,рассмотримпрактиче-скиважныйслучайобтеканияламинарнымпотокомжидкостиплоскойповерхности,представляющейоднусторонупластины.Пластинапод-держиваетсяпритемпературеTc,вдалиотповерхностипластиныско-
ростьпотокаитемпературажидкостисоответственноравныu0
иT0.
РежимтеченияжидкостиопределяетсякритериемРейнольдса:
ux
Rex,причемвкачествехарактеристическогоразмерадляданного
случаяцелесообразновыбратьрасстояниеоткраяпластины–x.ПриэтомчислоРейнольдсазависитоткоординаты,асамкритерийноситлокальныйхарактер,чтоподчеркиваетсяиндексомx.Эксперимен-тальноеисследованиепозволилоустановитьсвязьмеждурежимомте-ченияжидкостиичисломРейнольдса:
ламинарныйрежим:Rex5105;переходныйрежим:5105Rex3106;турбулентныйрежим:3106Rex.
Теоретическийанализпоказывает,чтотолщинагидродинамиче-
скогопограничногослояг
соотношением[1.14]:
зависитоткоординатывсоответствиис
4,64x. (1.4.24)
x

ПосколькусамочислоРейнольдсазависитотx,товитогетолщи-
наслояпропорциональна
г~ x.Этатолщинасравнительноневели-
ка,например,длявоздухапри
u03
м/с,
t020C
г 10,4ммдля
x1м.Нарис.1.12приведеныпрофилигидродинамическогоитерми-ческогопограничныхслоев.
Вгидродинамическомпограничномслоетеплопередаетсяблаго-
дарятеплопроводности.Черезпервыйнеподвижный(из-заадгезион-ноговзаимодействияспластиной)слойжидкоститеплотапередается,
Поток
Гидродинамическийитермический
пограничныеслои
x
Поток
L
а
Гидродинамическийслой
Термическийслой
Nu(L0)
Nu(0)
1,0
0,8
0,6
0,4
0,2
L0 L
0,0
0 2 4 6 8 10
(холодный) x
(нагретый)
L0/L
бб вв
Рис.1.12.Гидродинамическийитермическийслоидляламинарногопото-кажидкостиприоднороднойтемпературе(а)иприналичиихолодногокрая(б),зависимостьлокальногокритерияНуссельтаоткоординаты(в)
каквтвердомтеле.Далеемикрочастицыжидкости,переходявовторойслой,переносятнекотороеколичествотеплаTcT0,частькоторого
уноситсядвижущейсяжидкостью(здесьуже
u0),ачастьуходитв
третийслойит.д.Витоге,нарасстояниит
отповерхностиокажется
слойжидкости,вкоторыйтеплотанепоступила.Этапристеночная
область,гдетемператураменяетсяотTc
скийпограничныйслойт.
доT0,представляеттермиче-
Расчетыпоказывают[1.17],чтотолщиныгидродинамическогоитермическогослоевсвязанысоотношением:
1. (1.4.25)
т 3Prг
ДлявоздухачислоПрандтляPr 0,7,поэтому
т0,89г.Вода
притемпературах
t0100C
такжеимеетсравнимыетолщиныобоих
слоев,адлямаслат
г.
Знаниетолщиныпограничногослояпозволяетопределитькоэф-фициенттеплообменаиплотностьтепловогопотока.Длявынуж-деннойконвекциивыражение(1.4.5),определяющееисправедливоедляестественнойконвекции,должнобытьдополненочисленнымко-эффициентом,учитывающимдвижениежидкостивпограничном
слое:
Расчетыдают
. (1.4.26)
т
1,5.Ввидупрактическойважностивынужденной
конвекциидляпроектированиямикросистемэтотслучайдалеерас-смотримподробнее.
Учитываявыражения(1.4.24)...(1.4.26),получаемуравнениедля
локальногокритерияНуссельтаивходящеговнегокоэффициентатеп-лообмена:
гдеNux
x.
k
Nux0,33Rex
3Pr, (1.4.27)
Всепараметры,входящиевуравнение,выбираютсяпритемпера-туренабегающегопотокаT0.
ПлотностьтепловогопотокаопределяетсязакономНьютона.
Изсоотношений(1.4.24)и(1.4.27)вытекает,чтосувеличениемрасстоянияxотпереднейкромкипластиныкоэффициенттеплообмена
уменьшается,
1.Этоявляетсяследствиемвязкостижидкостии
x
возрастаниятолщиныпограничныхслоевпомереувеличенияx.Зави-симостьоткоординатлокальногокоэффициентаисвязанныхснимкритериевдляпрактическихрасчетовнеудобна,поэтомуобычноис-пользуютихусредненныезначения.
Так,длясреднегокоэффициентатеплообменаучасткапластины
А
длинойL,учитывая,что
x ,гдеА–коэффициент,независя-
x
щийоткоординат,из(1.4.27)получаем:
L
1
L0
xdx2
А. (1.4.28)
L
СреднийкоэффициенттеплообменаучасткапластиныдлинойLоказываетсявдвоебольше,чемлокальныйкоэффициентприxL.По-этомуиз(1.4.27)дляусредненного числаНуссельтаполучаем
Nu0,66ReL3PrL.
Большойпрактическийинтереспредставляетслучайобтеканияплоскойповерхностипластины,укоторойнагретыйучастокстемпе-
ратуройTc
начинаетсянанекоторомрасстоянииxL
отеепередней
кромки(рис.1.12),аобласть0xL
имееттемпературунабегающе-
гопотока.Приламинарномобтеканиитакойпластинылокальноечис-
лоНуссельтадляL0xL
оказываетсяравно[1.14](рис.1.12,в):
3
0
0,33
0,33uL0,5xL0,5
xL 4
Nux0,33Pr
1
0 0
. (1.4.29)
L
L0
СреднеезначениекритерияНуссельтаNuиз(1.4.29)находится
численнымиметодами.При
L4
L0
расчетнаязависимостьсточно-
стью2%аппроксимируетсявыражением[1.7]:
1
NuL0
Nu0
0,825L2.
L0
Приведенныевышеоценкикоэффициентатеплообменаотносятсякламинарномурежимутеченияжидкости.Увеличениескороститеченияиуменьшениевязкостиприводятквозникновениютурбулентногоре-жиматечения,когдатраекторииотдельныхобъемовжидкостистано-вятсяхаотическими,акартинадвиженияприобретаетнеустойчивыйхарактер.Экспериментыпоказывают,чтопереходвтурбулентныйре-жимтеченияпроисходит,когдапревышенонекотороеопределенноекритическоезначениечислаРейнольдса.Применительнокобтеканию
плоскойповерхностиэтозначениеравноReкр
5105.
Механизмконвективноготеплообменапритурбулентномдвиже-ниисущественноотличаетсяотламинарного.Главноеотличиесостоитвтом,чтотепловуюэнергиюиколичестводвиженияпоперекпотокапереносятмакроскопическиеобъемыжидкости.Хотячастотаперехо-довневелика,нокаждыйизтакихобъемовсодержитогромноеколиче-ствомолекул,врезультатечеготеплообменстановитсязначительноболееинтенсивным,чемприламинарномтечениижидкости.
Втурбулентномтечениитакжесуществуеттепловойпограничныйслой,однакоонгораздотоньше,чемприламинарномрежиме.
Нарис.1.13представленазависимостьтолщиныпограничногослоявдольповерхностипластины.Приееобтеканиипотокомжидко-стиупереднейкромкиобразуетсяламинарныйпограничныйслой,толщинакоторогорастетпомереувеличенияx.ЕгопротяженностьопределяетсякритическимзначениемчислаРейнольдса:
u0xкр 5
Reкр
510.
Далееначинаетсятурбулентныйпограничныйслой,отделенныйотламинарногоучасткаузкойпереходнойобластью.Изменениетемпера-
турыискоростивтурбулентномпограничномслоепроисходитполи-нейномузакону.Толщинапограничногослояивтурбулентномрежи-меувеличиваетсяпомеревозрастанияx,однакозаконвозрастанияиной,чемприламинарномрежиметечения.
y
u0 u0 u0
3
2
1
xкр 4 x
Рис.1.13.Изменениетолщиныпограничногослояпривозникновениитурбулентноготечения:
1–ламинарныйпограничныйслой;2–переходнаяобласть;3–турбулентныйпограничныйслой;4–ламинарныйподслой
ЛокальноечислоНуссельтапритурбулентномобтеканииплоскойповерхностиопределяетсяпоследующейформуле[1.17]:
Nux0,0296Re0,8Pr0,43PrT
PrT
. (1.4.30)
x 0 c
Вуравнении(1.4.30)отношениечиселПрандтляпритемпературах
жидкостиT0
иповерхностиTc
учитываеттемпературноеизмене-
ниевязкости.Остальныекритериальныечислаопределяютсяпритем-
пературеT0.ПринебольшихвеличинахразностиTcT0
множительв
круглыхскобкахв(1.4.30)можноположитьравнымединице.Среднийкоэффициенттеплоотдачиопределяетсяинтегрированиеманалогичноформуле(1.4.28)иоказываетсяравен:
1,25xL,
гдеxL–локальныйкоэффициенттеплоотдачиприxL.