
- •4 Оглавление
- •Глава1.Температурныеполявтермическихсенсорах........................ 17
- •Глава2.Термочувствительныеэлементы 105
- •Глава3.Примерыпрактическойреализациитермическихсенсоров
- •Глава4.Взаимодействиеизлученияствердымтелом 183
- •Глава5.Фотоэлектрическиеприемникиизлучения.Определения
- •Глава6.Равновесныеинеравновесныеносители заряда 271
- •Глава7.Физическиеосновыработыфотонныхприемниковизлу-
- •Глава8.Основныенаправленияразвитиятехникирегистрацииоптическогоизлучения 411
- •Теплотаитемпература
- •Способы теплопередачи:теплопроводность
- •Уравнениетеплопроводности
- •Теплопроводностьгазов
- •Теплопроводностьитеплоемкостьтвердыхтел
- •Теплопроводностьжидкостей
- •1.3.Радиационныйспособтеплопередачи
- •Основныепонятияизаконы
- •Радиационныйтеплообменмеждутвердымителами,
- •Теплообменмеждудвумятелами,одноизкоторыхнаходится
- •Конвективныйтеплообмен
- •Основныеособенностиконвективноготеплообмена
- •Основныеуравненияконвективноготеплообмена
- •Критериитеорииподобия
- •Вынужденнаяконвекциядляплоскойповерхности
- •Теплообменвусловияхестественнойконвекции
- •Естественнаяконвекция
- •Примеррасчетаконвективноготеплообмена
- •Cтационарныетемпературныеполявэлементахтермическихсенсоровиактюаторов
- •Распределениетемпературы
- •Передачатеплачерезстенку
- •Электростатическаяаналогияуравнениятеплопроводности
- •Тепловоесопротивлениесоставнойтеплопроводящейпла-стины.
- •Параллельное соединение двух разнородных тепловых
- •Температурноеполевинтегральнойконсольнойбалочке
- •Стационарноетемпературноеполевкруглойдиафрагме
- •Однородныйнагрев
- •Точечныйисточниктепла
- •Температурнаядинамикаэлементовтермическихсенсоров
- •Решениенаосновеэлектростатическойаналогии
- •Аналитическоерешениедлятеплообмена
- •2.1.ТермочувствительныеэлементынаосновеэффектАтермоЭдс
- •Физическиепроцессывтермопарах
- •ОбъемныесоставляющиетермоЭдс
- •КонтактнаясоставляющаятермоЭдс
- •2.1.2.Эффекттермоэдсвметаллахиполупроводниках
- •Термоэлектрическиеэффектыпельтьеитомсона
- •Терморезисторы
- •Металлическиетерморезисторы
- •Кремниевыетерморезисторы
- •Транзисторы
- •Термисторы
- •Термическийвакуумметр
- •Термическиесенсорыпотокагаза
- •Термоанемометры
- •Термоанемометрыснагревателемизполикристаллическогокремния
- •Термическийсенсор,чувствительныйкнаправлениюпотока
- •VXSxuxSxucos;
- •Термическийконверторсреднеквадратичногозначениянапряжения
- •Биморфныйтермомеханическийактюатор
- •Взаимодействиеизлучениясполупроводниками
- •Уравнениямаксвелла
- •Отражениеэлектромагнитногоизлученияотграницыразделадвухсред
- •Зависимостьоптическихконстантотчастоты
- •Интерференция.Просветляющиепокрытия
- •Поглощениевполупроводниках
- •Механизмыпоглощениясветавполупроводниках
- •Собственноепоглощение.Прямыепереходы
- •СобственноепоглощениеНепрямыепереходы
- •Экситонноепоглощение
- •Примесноепоглощение
- •Внутризонноепоглощение
- •Поглощениесвободныминосителямизаряда
- •Решеточноепоглощение
- •Приемникиизлучения
- •Поотношениюксопротивлениюнагрузки:
- •Методыизмеренияпараметровфотоэлектрическихполупроводниковыхприемников
- •0,1Fрезfэкв0,2fрез,
- •Энергетическиехарактеристикиизлучения
- •IbAcos.
- •IBdAcos,
- •Мощностьиспектральныйсоставизлученияабсолютночерныхтел
- •Энергетическийисветовойпотокиизлучения
- •Цветовоезрение
- •Xyz(условныеобозначениясм.Нарис.5.18):
- •Приемцветногоизображенияприпомощиприемников
- •650Нмсераялиния
- •Равновесныеинеравновесныеносителизаряда
- •Равновесныеносителизарядавполупроводниках
- •Неравновесныеносителизарядаквазиуровеньферми
- •Рекомбинацияносителейзарядавремяжизни
- •1Nстt
- •Механизмырекомбинации
- •Излучательнаярекомбинация
- •Imax 2g
- •Межзоннаяоже-рекомбинация
- •Рекомбинациячерезлокальныецентры
- •Поверхностнаярекомбинация
- •Распределениенеравновесныхносителейзаряда
- •Уравнениянепрерывностидляэлектроновидырок
- •Диффузионноеуравнение
- •Лавинныефотодиоды
- •Фотосопротивления
- •Фотоприемникинаосновеструктурметалл–диэлектрик–полупроводник
- •Приповерхностныеобластипространственногозаряда
- •10 Blip 10
- •Целипримененияоптическихсистемиихстроение
- •Болометрическиематрицы
- •Принципдействияихарактеристикитепловыхприемниковизлучения
- •Параметрытпи
- •Болометры
- •Линейчатыеиматричные
- •Составипринципработыизмерительногостенда
- •–Осьлинейкифотоприемников(лфп)иЛфпу;
- •Характеристикилинейчатыхфотоприемныхустройств
- •Тепловизионныематрицы
- •Линейчатыеиматричныепзи-приемникиизображениянаосновеInAs
- •Преобразованиесветовогопотокавцифровуюинформацию
- •Оцифровываниесигнала
- •Приборы,отображающиеоптическуюинформацию
- •ВикторАлексеевичГридчин,ИгорьГеоргиевичНеизвестный,ВладимирНиколаевичШумский физикамикросистем
- •Часть2Учебноепособие
- •630092,Г.Новосибирск,пр.К.Маркса,20
Конвективныйтеплообмен
Введение
Вгазообразнойижидкостнойсредахпроцессыпередачитеплаго-раздосложнее,чемвтвердомтеле.Переностеплатеперьосуществля-етсянетолькотеплопроводностью(намолекулярномуровне),ноиконвекцией,засчетдвижениясамойжидкости,имеющейтепловойконтактствердымтелом,температуракоторогоотличаетсяоттемпе-ратурыжидкости(далеедлякраткостибудемговоритьтолькоожид-кости).Теплообмен,имеющийдвеуказанныесоставляющие,именует-сяконвективнымтеплообменом[1.15].
Различаютдвавидаконвекции–естественнуюивынужденную.В
естественнойконвекциидвижущаясила,вызывающаяперемещениеобъемовжидкости,вызванатемпературнойзависимостьюплотностижидкости.Типичныйпример–конвекциявчайнике.Нагретыеобъемыводы,находящиесявблизиспирали,имеютменьшуюплотностьивсплываюткповерхности,аихместозанимаетхолоднаявода,котораязатемнагреваетсяиуходитотнагревателяит.д.Происходитсложноедвижениежидкости,вкоторомнарядусмассообменомимеетсяитеп-лообмен.
Вынужденнаяконвекцияпроисходитиз-задействиявнешнейсилы,
заставляющейжидкостьобтекатьповерхностьтела,имеющеготемпе-ратуру,отличнуюоттемпературыжидкости.Примеромможетбытьпереностеплаотстенокмикроканалакжидкости,прокачиваемойче-резнегонасосом.Вынужденнаяконвекцияобеспечиваетболееэффек-тивныйтеплообмен,чеместественная,однакоэтодостигаетсяценойдополнительныхэнергетическихзатрат.
Сенсорытермическогосигналавсегдаработаютвгазовойили
жидкостнойсреде,поэтомуучетконвективноготеплообменаимеетбольшоезначениекакприихпроектировании,такиприэксплуатации.Вэтойсвязинафизическихвопросахконвективноготеплообменане-обходимоостановитьсяподробнее.
Основныеособенностиконвективноготеплообмена
Конвективныйтеплообменнеразрывносвязансдвижениемчастицжидкости,которыеодновременносимпульсомпереносятитеплоту.Этонаходитотражениевосновномуравнении,определяющемплот-ностьтепловогопотокавжидкости:
qq1q2kТuCpТ, (1.4.1)гдеиCp–соответственноплотностьитеплоемкостьжидкостипри
постоянномдавлении;u–скоростьдвиженияжидкости;Тиk–
температураикоэффициенттеплопроводностижидкости.
Первоеслагаемоев(1.4.1)описываеттеплопроводностьпозакону
Фурье,авторое–передачутепла,связаннуюсдвижениемэлементар-ныхобъемовжидкостисоскоростьюu(конвективнаясоставляющая).Физическиэтасоставляющаяпредставляетсобойколичествотепла,переносимоевнаправлениивектораскоростиuчерезединицупо-верхностизаединицувремени.
Сложностьопределенияполяскоростейжидкости
uuxyztв
конкретныхусловияхвзначительноймереопределяеттрудноститео-ретическогоанализапроцессовконвективноготеплообмена.
Притеоретическомиэкспериментальномопределенииполяскоро-
стейжидкостинеобходимоучитыватьтакоееефундаментальноесвой-ство,каквязкость.
Вязкостьописываетсилысдвига,возникающиевдвижущейсяжидкости.Пустьимеетсядвепластины,междукоторыминаходитсяжидкость,причемоднаизпластиннеподвижна,адругаядвижетсяпа-раллельноейсмалойскоростьюu0(рис.1.9).
Еслиизмеритьсилу,требуемуюдляподдержанияравномерногодвиженияпластин,тооказывается,чтоонапропорциональнаяплощади
пластиныАиотношениюu0,гдеd–расстояниемеждупластинами:
d
FАu0. (1.4.2)
d
КоэффициентпропорциональностиименуетсядинамическимкоэффициентомвязкостижидкостииимеетразмерностьHc/м2.
u

0
F
u
d Жидкость
u=0
Рис.1.9.Увлечениежидкостимеждудвумяпараллельнымипластинами
Прималыхрасстоянияхмеждупластинамираспределениескоростейэлементарныхобъемовжидкостиноситлинейныйхарактер,причемнанеподвижнойпластинескоростьприлегающегослояиз-заявленияад-гезииравнанулю,u0.
Длямалыхразмеровплощадокирасстояниймеждупластинамииз(1.4.2)получаем:
Fux.
А y
Отношение
F
A
имеетсмыслмеханическогонапряжениясдви-
га,котороевозникаетпридвижениислоевжидкостидруготноситель-
нодруга.
Физическипричинойвязкостиявляетсявзаимодействиемолекул
соседнихэлементарныхобъемовжидкости,втомчислеииз-завоз-можностипереходамолекулизодногообъемавдругой.
Еслидвижениепроисходитвплоскостиивекторскоростиимеетдвекомпоненты,uux,uy,тонапряжениесдвигаможнопредставить
втензорнойформе
u uy
x . (1.4.3)
xy y
x
Втеориитеплообменавместодинамическогокоэффициентавязко-стиобычноприменяюткинематическийкоэффициент,равный
,
где–плотностьжидкости.Размерностькоэффициентакинематиче-скойвязкостиравнам2/с.
Диапазонабсолютныхвеличинкинематическойвязкостисущест-
венноменьше,чемдинамической,например,дляводыивоздухапри
20Симеем[1.16]:
дляводы1103Hс/м2;
1106м2/с;
длявоздуха18,1106Hс/м2;
15106м2/с.
Вязкостьсильнозависитоттемпературы,например,дляводыпе-редточкойзамерзаниякинематическаявязкостьв1,8разавыше,чемпри20С.
Плотностьжидкостивобщемслучаеможетзависетьотскоростиеедвижения.Большинствожидкостейпрактическинесжимаемы.Газыизменяютсвоюплотностьприизменениидавления.Однакоеслиизме-нениядавлениявдольлиниитокамалыискоростьдвиженияэлемен-тарногообъемаприэтоммногоменьшескоростизвука,тогазможносчитатьнесжимаемым.Этоприближениебудетиспользоватьсяпридальнейшемизложенииматериала,посколькусоответствуетреальнымусловиямработыкомпонентовмикросистем.
Вязкостьжидкости,скоростьеедвиженияигеометрияобластипротеканияоказываютрешающеевлияниенарежимтеченияжидко-
сти.Приеемалойскоростидвижения(многоменьшескоростизвука)ивысокойвязкостирежимтеченияламинарный(слоистый).Длянегохарактерныгладкийинепрерывныйхарактерлинийтокаинезавися-щееотвремениполескоростейжидкостипристационарныхвнешнихусловиях.
Прималойвязкости,большойскоростидвиженияинекоторыхособенностяхгеометриипротеканиядвижениежидкостистановится
неустойчивымиламинарныйрежимпереходитвтурбулентный.Вэтомрежиметечениялиниитокатеряютчеткийхарактер,элементар-ныеобъемыжидкостидвижутсяхаотически,совершаянеустойчивыеколебания,интенсивностьперемешиваниячастейобъемажидкости
сильновозрастает.Количественныйкритерийпереходактурбулент-номутечениюжидкостибудетрассмотрендалее.Дляреальныхусло-вийработытермосенсоровикомпонентовмикросистемнойтехникитурбулентныйрежимнехарактерен.
Вязкостьсамымсущественнымобразомвлияетнаполескоростей
жидкости.Нарис.1.10,апоказанораспределениескоростейэлемен-тарныхобъемовжидкости(профильскорости)вкруглойтрубепристационарномтеченииламинарногопотока.Уповерхноститрубыпри-стеночныйслойнеподвижен,однакопомереприближениякоситру-быскоростьвозрастает,посколькутормозящеевлияниестенокумень-шается.Максимальнуюскоростьпотокжидкостиимеетнаоситрубы.
Турбулентноеядро
2r0
2r0
u u
Ламинарныйподслой
а б
Рис.1.10.Полескоростейпритечениижидкостивтрубе:
а–ламинарныйпоток;б–турбулентныйпоток
Наличиенеподвижногослояжидкостивблизиобтекаемойповерх-ностиприводитктому,чтоплотностьтепловогопотокауповерхности(1.4.1)определяетсятолькопервымслагаемым,автороеобращаетсявнульuc0.Экспериментыпоказывают,чтораспределениетемпера-турывжидкостиимеетдвачетковыраженныхучастка(рис.1.11).
Первый–сравнительнотонкийслойвблизиповерхности(погра-ничныйслой),гдетемпературныйградиентотличенотнуля(уча-стокI),ивторой,включающийостальную(дальнюю)частьобъемажидкости,гдесуществуетнезначительнаяразницатемператур(участокII).Подобныйтемпературныйходможнообъяснить,предположив,чтовпределахпограничногослоямолекулыжидкостиактивновзаимодейст-вуютсповерхностью,тогдакакзаегопределамихаотическоедвиже-ниечастицжидкостивыравниваетраспределениетемператур.
Впограничномслоепроцесспе- Tсреносатеплаосуществляетсятепло-проводностьюпозаконуФурье,как
этонаблюдаетсявтвердыхтелах. Однакотеплопроводностьжидкостей
игазовневелика,поэтомунаучастке
Iтепловойпотоквстречаетбольшое q
сопротивление.НаучасткеIIтепло
передаетсяконвекциейиэтотпро- Tж
цесспроисходитболееинтенсивно,
чемнапредыдущемучастке,поэтому 0 I II x
температуравыравнивается.
Такимобразом,дляколичестватеплаq,подводимого(илиотводи-
мого)кединицеплощадиповерхно-стивединицувремени,можнозапи-сать:
Рис.1.11.Распределениетемпе-ратурывжидкостиприпередачетеплаотстенкикжидкости,Tc>Tж
qk
TTc, (1.4.4)
гдеTиTc–температурыжидкостинаучасткеIIинаобтекаемойпо-верхности.
Количествопередаваемоготеплавозможноопределить,знаятол-щинупограничногослоя,величинакоторогозависитотмногихфак-
торов,например,отхарактерадвиженияисвойствжидкости,формыповерхностиит.д.Поэтомунапрактикечисленныерасчетыпроводят,
пользуясьотношениемk
безопределенияистиннойвеличиныпогра-
ничногослоя.Этоотношениеназываетсякоэффициентомтеплооб-мена:
k
(1.4.5)
иимеетразмерностьВт/(м2К).Соотношение(1.4.5),такимоб-разом,принимаетвид
qTTc
(1.4.6)
ипредставляетзаконНьютонадлятеплоотдачисповерхностинагре-тоготела.Учитывая,чтотеплопереносвблизиповерхностиопределя-
етсязакономФурьеux00!,из(1.4.6)и(1.4.1)получим
TTck
dT
dxx0
, (1.4.7)
адлякоэффициентатеплообменаполучаем:
k dT
. (1.4.8)
TTc
dxx0
Уравнение(1.4.7)записанодлятепловогопотокаотповерхноститвердоготелавжидкость(TсT,рис.1.11)иустанавливаетсвязьме-ждутемпературнымполемжидкостиикоэффициентомтеплопровод-ностииименуетсяуравнениемтеплообмена.
Всемногообразиефакторов,влияющихнаинтенсивностьтеплоот-
дачи,учитываетсяоднимкоэффициентом.Какпоказалиисследова-
ния,этоткоэффициентзависитотскоростидвиженияжидкостиu,
ко-
эффициентатеплопроводности
k,вязкости,
теплоемкости
Cp,
коэффициентаобъемногорасширенияжидкости,температуртвер-доготелаижидкостиTс,T,отформыФиразмеровтелаl1,l2...:
fu,k,,Cp,,T,Tс,Ф,l1,l2.
Большоечисловлияющихфакторовзатрудняетчисленнуюоценкукоэффициентатеплообмена,однакокнастоящемувременисозданрядметодовегоопределения,которыеносятпреимущественноэкспе-риментальныйхарактер.