- •Сборник практических работ по курсу микроэлектромеханика введение
- •1 Расчет перемещения, совершаемого консольной балкой под действием внешней силы
- •Пример расчета
- •Исходные данные для построения зависимостей перемещения от внешней силы, длины, ширины и толщины балки
- •2.2. Зависимость перемещения балки от ее длины . Все остальные параметры остаются постоянными.
- •2.3 Зависимость перемещения балки от ее толщины . Все остальные параметры остаются постоянными.
- •2.4 Зависимость перемещения балки от ее ширины . Все остальные параметры остаются постоянными.
Пример расчета
Исходные данные определяются вариантом индивидуального задания.
Исходные данные для расчета перемещения балки:
№ |
Внешняя сила, F [нH] |
Длина балки, l [мкм] |
Толщина балки, h [мкм] |
Ширина балки, w (w2) [мкм] |
Материал |
1 |
500 |
150 |
2,0 |
30 |
poly Si |
Исходные данные для построения зависимостей перемещения от внешней силы, длины, ширины и толщины балки
№ |
Внешняя сила, F [нH] |
Длина балки, l [мкм] |
Толщина балки, h [мкм] |
Ширина балки, w (w2) [мкм] |
Сечение балки |
1 |
400 – 600 |
50 – 250 |
1,0 – 5,0 |
10 – 50 |
Прямоугольник |
Механические
свойства материала Поликремний (poly
Si)
выбираем из таблицы 1 (стр. 8):
Модуль Юнга
E=169 ГПа,
модуль сдвига G=69
ГПа, коэффициент Пуассона
,
плотность
.
необходимо рассчитать и построить следующие графики:
– зависимость перемещения консольной балки от внешней силы ;
– зависимость перемещения консольной балки от ее длины ;
– зависимость перемещения консольной балки от ее толщины
– зависимость перемещения консольной балки от ее ширины .
1. Под действием внешней силы консольная балка отклоняется от первоначального положения. По закону Гука силе , действующей на балку, будет противодействовать сила упругости , равная по модулю внешней силе и противоположная по направлению:
.
Согласно (4) , где J – осевой момент инерции.
По варианту индивидуального задания – форма сечения балки – прямоугольник. Осевой момент инерции, относительно оси X (рис. 8, стр. 7) для консольной балки с прямоугольным сечением будет определяться выражением .
Таким образом,
формула для вычисления перемещения
будет выглядеть следующим образом:
;
Подставив в эту формулу исходные данные, рассчитаем перемещение балки:
2. Далее согласно варианту индивидуального задания подставляем в конечную формулу исходные данные для построения зависимостей перемещения от внешней силы, длины, ширины и толщины балки.
2.1. Зависимость перемещения балки от приложенной к ней внешней силы . Все остальные параметры остаются постоянными.
-
Внешняя сила,
F [нH]
400 – 600
Рассчитанные значения с шагом 50 представляем в виде таблицы.
Внешняя сила, F [нH] |
400 |
450 |
500 |
550 |
600 |
Перемещение балки, мкм |
0,39940 |
0,44933 |
0.49926 |
0.54918 |
0.59911 |
На основании рассчитанных данных построим график зависимости перемещения балки от приложенной к ней внешней силы .
Рисунок 1 – График зависимости перемещения балки от приложенной к ней внешней силы
Как видно из представленного выше графика, зависимость перемещения балки от приложенной к ней внешней силы линейна. Чем больше приложенная внешняя силы, тем больше перемещение балки.
