Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Микроэлектромеханика практическое задание 1, ме...doc
Скачиваний:
1
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
544.77 Кб
Скачать

Пример расчета

Исходные данные определяются вариантом индивидуального задания.

Исходные данные для расчета перемещения балки:

Внешняя сила,

F [нH]

Длина балки,

l [мкм]

Толщина балки,

h [мкм]

Ширина балки,

w (w2) [мкм]

Материал

1

500

150

2,0

30

poly Si

Исходные данные для построения зависимостей перемещения от внешней силы, длины, ширины и толщины балки

Внешняя сила,

F [нH]

Длина балки,

l [мкм]

Толщина балки,

h [мкм]

Ширина балки,

w (w2) [мкм]

Сечение балки

1

400 – 600

50 – 250

1,0 – 5,0

10 – 50

Прямоугольник

Механические свойства материала Поликремний (poly Si) выбираем из таблицы 1 (стр. 8): Модуль Юнга E=169 ГПа, модуль сдвига G=69 ГПа, коэффициент Пуассона , плотность .

необходимо рассчитать и построить следующие графики:

– зависимость перемещения консольной балки от внешней силы ;

– зависимость перемещения консольной балки от ее длины ;

– зависимость перемещения консольной балки от ее толщины

– зависимость перемещения консольной балки от ее ширины .

1. Под действием внешней силы консольная балка отклоняется от первоначального положения. По закону Гука силе , действующей на балку, будет противодействовать сила упругости , равная по модулю внешней силе и противоположная по направлению:

.

Согласно (4) , где J – осевой момент инерции.

По варианту индивидуального задания – форма сечения балки – прямоугольник. Осевой момент инерции, относительно оси X (рис. 8, стр. 7) для консольной балки с прямоугольным сечением будет определяться выражением .

Таким образом, формула для вычисления перемещения будет выглядеть следующим образом:

;

Подставив в эту формулу исходные данные, рассчитаем перемещение балки:

2. Далее согласно варианту индивидуального задания подставляем в конечную формулу исходные данные для построения зависимостей перемещения от внешней силы, длины, ширины и толщины балки.

2.1. Зависимость перемещения балки от приложенной к ней внешней силы . Все остальные параметры остаются постоянными.

Внешняя сила,

F [нH]

400 – 600

Рассчитанные значения с шагом 50 представляем в виде таблицы.

Внешняя сила,

F [нH]

400

450

500

550

600

Перемещение балки, мкм

0,39940

0,44933

0.49926

0.54918

0.59911

На основании рассчитанных данных построим график зависимости перемещения балки от приложенной к ней внешней силы .

Рисунок 1 – График зависимости перемещения балки от приложенной к ней внешней силы

Как видно из представленного выше графика, зависимость перемещения балки от приложенной к ней внешней силы линейна. Чем больше приложенная внешняя силы, тем больше перемещение балки.