11) Просвечивающая электронная микроскопия (пэм)

ПЭМ и просвечивающая оптич. мик-ия похожи. Преимущество ПЭМ состоит в том, что дифракционное явление, ограничивающее разрешающую способность в электронном микроскопе проявляется слабее. обусловл. Это различием длины волны оптического излуч. и длины волны Де-Бройля. Электрон ускорен до энергий от 1 кэВ до 10⁵ кэВ. При исслед. методом ПЭМ объект должен быть прозрачен для ускоренных электронов за искл. Элементов структуры подлежащей анализу. широко применяется для исслед полупроводниковых и метал пленок многофазного состава ( толщина пленки м) Для этого метода исслед. объект необходимо подготовить, обычно применяют струйное травление. Струю травителя из капилляра направляют на исслед. участок. В качестве источника подсветки может быть исп. Сама струя травителя, по кот. свет как по световоду попадает на участок травления. ПЭМ в производстве применяется редко, т.к. сложна технология обработки образцов.