Список литературы

1.Парфенов О. Д. Технология микросхем. Москва, Высшая школа,1986г.

2.Технология интегральных схем частого применения.

Под ред. Алимовой Р.А., Казань 1979г.

3. Валитова Ф. К. Технологические процессы микроэлектроники. Пособие по курсовому проектированию, Казань 2001г.

4. Справочник. Технология тонких плёнок. Под ред. Л. Майссесела Р. Гленга. М. 1977 г.