Для получения сверхвысокого вакуума служит магниторазрядный насос- ne , работоспособность которого можно проверить по ионизационному преобразователю pa1, типа

ПМИ-39-2 (диапазон измерения ) при закрытом клапане VA2. Ионизационный преобразователь РА1 типа ПМИ-39-2 позволяет измерять разрешение в

вакуумной камере. Возможности его включения определяются по типовому преобразователю РТ1 типа ПДТ-20 (диапазон измерений , индикация в диапазоне ). Клапан VA1 позволит отключать высоковакуумную часть системы, а также при закрытом клапане VA3 по ионизационному преобразователю РА3 типа ПМИ-55 (диапазон измерений ) проверить работоспособность механической, охлаждаемой водой, ловушки BW .

При закрытом клапане VA3 по ионизационному преобразователю PA4 типа ПМИ-55 можно проверить работоспособность геттерно-ионного высоковакуумного насоса ND .Клапаны VA3,VA4,VA5 позволяет осуществлять “ обходную ” откачку для создания разрешения необходимого для запуска геттерно-ионного насоса. Работоспособность механического вращательного насоса NL можно проверить при закрытых клапанах VA6,VA7 по типовому преобразователю РТ2 типа ПДТ-20 . Ловушки BL – стандартные конденсационные низкотемпературные форвакуумные ловушки охлаждаемые жидким азотом, типа ЛАФ. Её работоспособность можно проверить при закрытых клапанах VA1,VA3,VA5 по ионизационному преобразователю РА3. Клапан VA7 позволяет в случае остановки пластинчато-роторного насоса NL, и после закрытия клапана VA6 выровнять давления во входном и выходном патрубках насоса, чтобы предотвратить проникновение масла в систему. Прогреваемая часть вакуумной системы включает в себя вакуумную камеру, клапаны VA1 и VA2 манометрические преобразователи РА1,РА2,РТ1, сверхвысоковакуумный насос NE преобразователем типа ПМИ-55 работает вакуумметр ВИЦ 912-001; ПМИ-39-2-ВИО1;ПДТ-20-ВтБ-6 .