- •Литературный обзор
- •Обоснование и выбор параметров, определяющих аналитические характеристики микрофлюидного чипа
- •Изготовление стеклянных мфу
- •Изготовление полимерных мфу
- •Лазерная абляция полимеров
- •Оборудование и методы измерений
- •Оптический инвертированный микроскоп
- •Сканирующий ближнеполевой оптический микроскоп интегра Соларис
- •Вакуумная напылительная установка spi для нанесения тонких пленок (нанометровой толщины) золота, а также плазменной очистки
- •Экспериментальная установка для определения угла смачивания поверхности различными буферными растворами
- •Портативный цифровой usb микроскоп Эксперт (Prima Expert) оао «ломо»
- •Смачиваемость поверхности
- •Изменение смачиваемости в зависимости от шероховатости поверхности
- •Определение контактного угла методом лежащей капли
- •Экспериментальные исследования.
- •Образцы и материалы
- •Измерение профиля каналов микрофлюидных чипов полученных разными методами
- •Измерения контактных углов после физической обработки поверхности
- •Измерения контактных углов после химической обработки поверхности
- •Исследование влияния методов обработки на рельеф поверхности
- •20 Мин, спектральный диапазон 250 – 350 нм (шероховатость Ra - 2,22 нм).
- •Полученные результаты и выводы
- •Список источников
Список источников
Klapperich C.M. Microfluidic diagnostics: time for industry standarts. – Expert Rev. Med. Devices 6(3), 211-213. – 2009.
Hansen H.N., Carneiro K., Haitjema H., De Chiffre L. Dimensional Micro and Nano Metrology. – Annals of the CIRP Vol. 55/2. – 2006.
De Chiffre L., Kunzmann H., Peggs G., Lucca D. Surfaces in precision engineering, microengineering and nanotechnology. – Annals of the CIRP Vol. 55/2: 561-578. – 2003.
Shilpiekandula V., Burns D.J., El Rifai K., Youcef-Toumi K., Shiguang L., Reading I., Yoon S.F. Metrology of Microfluidic devices: A Reviev. – ICOMM №49. – 2006.
Wilkening G., Bosse H. Nano- and micrometrology – State-of-the-art and future challenges, Journal of Metrology Society of India, Vol. 20, No. 2, p. 125-151. – 2005.
Xu Z.G., Li S.G., Fang Z.P., Yoon S.F., Zhao J.H. 3D profile stitching technology based on the fiducial markers for microfluidic devices: SIMTech technical reports, Vol. 10/3. – 2009.
Rai-Choudhury. Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication, Vol. 1: Microlithography, SPIE Optical Engineering Press, Washington, USA. – 1997.
Thompson L.F., Willson C.G., Bowden M.J. Introduction to Microlithography, 2nd Ed. American Chemical Society: Washington, DC, 1994.
Moreau W.M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials, Plenum Publishing: New York, 1988; Моро У. Микролитография. М.: Мир. – 1990.
Мартынов В.В., Базарова Т.Е.. Литографические процессы/ Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. М.: Высшая школа – 1990.
Евстрапов А.А., Лукашенко Т.А., Горный С.Г., Юдин К.В.: Микрофлюидные чипы из полиметилметакрилата: метод лазерной абляции и термическое связывание. Научное приборостроение, 2005, том 15, № 2, c. 72–81.
Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник, пер. с англ., т. 1-2. М. – 1997.
Черняев В.Н. Плазменная металлизация в вакууме. Минск – 1983.
Коледов Л. А. Технология и конструкция микросхем, микропроцессоров и микросборок. М. – 1989.
Под ред. Бхушана Б. Мир материалов и технологий: справочник Шпрингера по нанотехнологиям. Том 3. М.: Техносфера – 2010. – 832 с.
Burton Z., Bhushan B.: Hydrophobicity, adhesion and friction properties of nanopatterned polymers and scale dependence for micro- and nanoelectromechanical systems, Nano Lett. 20. – 2005, р. 83-90.
Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания. V М.: Химия, 1976. – 232с.