Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Diplom_Posmitnaya-1.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
4.11 Mб
Скачать

Список источников

  1. Klapperich C.M. Microfluidic diagnostics: time for industry standarts. – Expert Rev. Med. Devices 6(3), 211-213. – 2009.

  2. Hansen H.N., Carneiro K., Haitjema H., De Chiffre L. Dimensional Micro and Nano Metrology. – Annals of the CIRP Vol. 55/2. – 2006.

  3. De Chiffre L., Kunzmann H., Peggs G., Lucca D. Surfaces in precision engineering, microengineering and nanotechnology. – Annals of the CIRP Vol. 55/2: 561-578. – 2003.

  4. Shilpiekandula V., Burns D.J., El Rifai K., Youcef-Toumi K., Shiguang L., Reading I., Yoon S.F. Metrology of Microfluidic devices: A Reviev. – ICOMM №49. – 2006.

  5. Wilkening G., Bosse H. Nano- and micrometrology – State-of-the-art and future challenges, Journal of Metrology Society of India, Vol. 20, No. 2, p. 125-151. – 2005.

  6. Xu Z.G., Li S.G., Fang Z.P., Yoon S.F., Zhao J.H. 3D profile stitching technology based on the fiducial markers for microfluidic devices: SIMTech technical reports, Vol. 10/3. – 2009.

  7. Rai-Choudhury. Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication, Vol. 1: Microlithography, SPIE Optical Engineering Press, Washington, USA. – 1997.

  8. Thompson L.F., Willson C.G., Bowden M.J. Introduction to Microlithography, 2nd Ed. American Chemical Society: Washington, DC, 1994.

  9. Moreau W.M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials, Plenum Publishing: New York, 1988; Моро У. Микролитография. М.: Мир. – 1990.

  10. Мартынов В.В., Базарова Т.Е.. Литографические процессы/ Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. М.: Высшая школа – 1990.

  11. Евстрапов А.А., Лукашенко Т.А., Горный С.Г., Юдин К.В.: Микрофлюидные чипы из полиметилметакрилата: метод лазерной абляции и термическое связывание. Научное приборостроение, 2005, том 15, № 2, c. 72–81.

  12. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник, пер. с англ., т. 1-2. М. – 1997.

  13. Черняев В.Н. Плазменная металлизация в вакууме. Минск – 1983.

  14. Коледов Л. А. Технология и конструкция микросхем, микропроцессоров и микросборок. М. – 1989.

  15. Под ред. Бхушана Б. Мир материалов и технологий: справочник Шпрингера по нанотехнологиям. Том 3. М.: Техносфера – 2010. – 832 с.

  16. Burton Z., Bhushan B.: Hydrophobicity, adhesion and friction properties of nanopatterned polymers and scale dependence for micro- and nanoelectromechanical systems, Nano Lett. 20. – 2005, р. 83-90.

  17. Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания. V М.: Химия, 1976. – 232с.

53

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]