Откачка водорода
Адсорбционный насос, охлаждаемый жидким азотом, является эффективным средством откачки всех газов, кроме гелия, неона и водорода. Из трех низкокипящих газов наибольшие трудности вызывает откачка водорода. Вместе с тем водород является основным компонентом газовыделений в вакуумных системах. Водород адсорбируется достаточно хорошо при 20,4 оК, т.е. при охлаждении адсорбента жидким водородом. При этом активные угли и цеолиты являются более эффективными адсорбентами, чем силикагели.
Экспериментальные данные свидетельствуют о том, что при использовании для охлаждения адсорбента жидкого водорода обеспечивается высокая удельная скорость откачки водорода, составляющая 0,7...0,9 от теоретической.
При охлаждении адсорбента жидким гелием обеспечивается очень высокая и устойчивая скорость откачки как водорода, так и гелия.
При использовании специальных адсорберов (платинированный адсорбент) можно достичь высоких скоростей откачки водорода насосом, охлажденным жидким азотом. Такие насосы перспективны для создания «чистого» ультравысокого вакуума.
Конструкция адсорбционных насосов
Откачивающее действие адсорбционного насоса определяется относительной адсорбционной способностью применяемого адсорбента. Рациональная конструкция насоса должна обеспечить наиболее полное использование возможностей адсорбента.
Адсорбционный насос представляет собой устройство, содержащее слой адсорбента толщиной не более 30 мм внутри корпуса, размещенный на развитой теплообменной поверхности – криопанели, омываемой криоагентом.
На рис.30.10 показана конструкция насоса, входной фланец которого обращен вниз. Имеется встроенный нагреватель для регенерации откачной способности адсорбента.
Все насосы, входной фланец которых обращен вниз, имеют один эксплуатационный недостаток: мелкие и пылевидные частицы адсорбента проваливаются через сетку и попадают в откачиваемый объем, что в ряде случаев недопустимо.
Этого недостатка лишены горизонтальные насосы и насосы с обращенным вверх входным фланцем, но конструкция насоса в этих случаях усложняется (рис. 30.11: а и б).
Литература
1.Волькевич А.И. Высоковакуумные адсорбционные насосы.- М.: Машиностроение, 1973.
2. Вакуумная техника: Справочник/ Е.С.Фролов, В.Е. Минайчев и др.: под общ. ред. Е.С.Фролова и В.Е.Минайчева.- М.: Машиностроение, 1992