Цель и задачи научного исследования.
Цель научного исследования - изучить влияние различных параметров операций технологического маршрута на качество формирования КМОП-транзисторов, биполярного транзистора, LDMOS-транзистора а также пассивных элементов в 1.5 мкм КМОП технологии с двухуровневой металлизацией.
Задачи научного исследования: 1) Изучение литературных источников по исследуемой проблематике.
2) Экспериментальное измерение параметров полупроводниковых приборов.
3) Обработка данных.
4) На основе полученных результатов предложить модернизацию старых параметров, или ввести новые операции.
5) Обмен данными с коллегами научной группы.
4. Применение компьютерных технологий и средств эвм в научном исследовании
Для обработки полученных данных используются программные средства пакета Microsoft Office (Word, Excel и т.д.).
Для анализа параметров полупроводниковых приборов используется прибор Agilent B1500A - прибор с сенсорным экраном, работающий под управлением ПК. Включает интуитивно-понятный интерфейс пользователя и проблемно-ориентированное программное обеспечение EasyEXPERT.
Основные функции программы EasyEXPERT перечислены ниже.
4.1. Вход в программу и главное окно
Вход в программу осуществляется с помощью исполняемого файла. При этом на экран компьютера выводится окно вида, указанного на рис. 1.
Во вкладке Option:
- Auto Start of EasyEXPERT - автоматически запускает программу при следующем запуске операционный системы;
- EasyEXPERT Database - дает возможность сохранить копию или восстановить данные работы с программой.
Рис.1. Экран входа в программу.
После нажатия кнопки Start EasyEXPERT открывается главное окно программы (рис. 2).
Рис.2 Главное окно программы
Основными кнопками являются:
- Single (кнопка с символом зеленого треугольника) - проводит единичное измерение. При этом на экран выводится окно с графическим представлением результатов измерения (Graph Plot), а также те же самые результаты в форме таблицы (List Display) (рис. 3).
Рис. 3. Графическое представление результатов измерения (Data Display)
- Кнопка Append (треугольник с плюсом) - запускает единичное измерение, добавляя его результаты к предыдущему;
- Кнопка Repeat Measurement (две закругленные стрелки) - запускает некоторое количество одинаковых измерений. При этом появляется следующее окно программы (рис. 4).
Рис. 4. Окно Repeat Measurement Setup
Прибор В1500А может управлять некоторыми другими устройствами, например, держателем пластин. Таким образом, чтобы выполнить некоторое количество одинаковых измерений, необходимо вручную выставить SMU только в первый раз, последующие измерения производятся путем соответствующих перемещений столика с пластиной.
Для того, чтобы выполнить подобные действия, в полях Start Procedure, Iteration Procedure и Final Procedure необходимо указать путь к исполняемым файлам, в которых содержится информация по первой, последующим и финальной последовательности действий для измерения. Нужные исполняемые файлы зависят от фирмы-производителя устройства, управляемого прибором В1500А, и поставляются вместе с программой EasyEXPERT.
Также в окне Repeat Measurement Setup указывается количество повторений измерения, в поле Counter reaching to.
- Auto Export ON/OFF - автоматический экспорт данных измерения в различные форматы, такие как CSV или XML. Экспорт данных можно также произвести вручную из окна графических результатов измерений, путем копирования в буфер обмена и последующей вставки в документ графика либо таблицы значений.
В левой части главного окна находится также несколько вкладок. Наибольший интерес здесь представляют вкладки Application Test, Classic Test и Quick Test, о которых пойдет речь ниже.