Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Petrov-3

CATHODOLUMINESCENCE

OF SEMICONDUCTING

MATERIALS IN NARROW

ELECTRON BEAMS

IN A SCANNING

ELECTRON MICROSCOPE

V. I. PETROV

The processes of the electron probe interaction with semiconductors and insulators in the scanning electron microscope and that of the creation of light radiation, i.e. the cathodoluminescence are considered. The possibilities and information capacity of this method for the analysis of solids are also discussed.

к‡ТТПУЪ ВМ˚ Ф УˆВТТ˚ ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Лfl ˝ОВН- Ъ УММУ„У БУМ‰‡ ‡ТЪ У- ‚У„У ˝ОВНЪ УММУ„У ПЛН-УТНУФ‡ Т ФУОЫФ У‚У‰- МЛНУ‚˚ПЛ Л ‰Л˝ОВНЪ Л- ˜ВТНЛПЛ У·˙ВНЪ‡ПЛ Л ‚УБМЛНМУ‚ВМЛВ Т‚ВЪУ‚У- „У ЛБОЫ˜ВМЛfl – Н‡ЪУ‰У- О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ. й·ТЫК- ‰‡˛ЪТfl ‚УБПУКМУТЪЛ Л ЛМЩУ П‡ЪЛ‚МУТЪ¸ ПВЪУ- ‰ЛНЛ Ф Л ‡М‡ОЛБВ Ъ‚В - ‰У„У ЪВО‡.

© èÂÚÓ‚ Ç.à., 1997

126

дАнйСйгыеазЦлсЦзсаь ийгмикйЗйСзадйЗ З мбдап щгЦднкйззхп имудАп З лдАзакмыфЦе

щгЦднкйззйе еадкйлдйиЦ

З. а. иЦнкйЗ

еУТНУ‚ТНЛИ „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММ˚И ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ ЛП. е.З. гУПУМУТУ‚‡

ЗЗЦСЦзаЦ

ь‚ОВМЛВ Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ – „ВМВ ‡ˆЛЛ Т‚ВЪУ‚У„У ЛБОЫ˜ВМЛfl ФУ‰ У·ОЫ˜ВМЛВП ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ – ЛБ‚ВТЪМУ ‰‡‚МУ Л ‚ М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl ¯Л УНУ ЛТФУО¸БЫВЪТfl ‚У ‚ТВı ˜В МУ-·ВО˚ı Л ˆ‚ВЪМ˚ı ˝ОВН- Ъ УММУ-ОЫ˜В‚˚ı Ъ Ы·Н‡ı, ЩУЪУ˝ОВНЪ УММ˚ı ЫПМУКЛЪВОflı, ˝ОВНЪ УММУ-УФЪЛ˜ВТНЛı Ф ВУ· ‡БУ‚‡ЪВОflı

ËЪ.‰. иУПЛПУ ˝ЪУ„У Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛfl Н‡Н ПВЪУ‰ Ф ЛПВМflВЪТfl ‚ ЩЛБЛ˜ВТНУП ˝НТФВ ЛПВМЪВ ‰Оfl ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl О˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ı Т‚УИТЪ‚ ‡БОЛ˜М˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Л ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı П‡ЪВ Л‡- ОУ‚. С‡ММ˚В ‡·УЪ˚ ‚М‡˜‡ОВ Ф У‚У‰ЛОЛТ¸ Т ЛТФУО¸- БУ‚‡МЛВП ¯Л УНЛı (‰У МВТНУО¸НЛı ПЛООЛПВЪ У‚ ‚ ‰Л‡ПВЪ В) ˝ОВНЪ УММ˚ı ФЫ˜НУ‚, Л ОЛ¯¸ ФУБ‰МВВ (ТП., М‡Ф ЛПВ , У·БУ [1]) ‰Оfl ‚УБ·ЫК‰ВМЛfl Т‚ВЪУ‚У- „У ЛБОЫ˜ВМЛfl ·˚О Ф ЛПВМВМ ЪУМНЛИ, ТЩУНЫТЛ У‚‡М- М˚И ˝ОВНЪ УММ˚И БУМ‰, ˜ЪУ ФУБ‚УОЛОУ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ У„ ‡МЛ˜ЛЪ¸ (ОУН‡ОЛБУ‚‡Ъ¸) У·О‡ТЪ¸ „ВМВ ‡ˆЛЛ Т‚ВЪ‡

ËЪ‡НЛП У· ‡БУП ЫКВ ЛТТОВ‰У‚‡Ъ¸ ‡ТФ В‰ВОВМЛВ О˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ı Т‚УИТЪ‚ ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡. иУТОВ‰МВВ ТЪ‡ОУ ‚УБПУКМ˚П Ф Л ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ‡ТЪ У‚У„У ˝ОВНЪ УММУ„У ПЛН УТНУФ‡ ЛБ-Б‡ Ф В‰У- ТЪ‡‚ОflВПУИ ЛП ‚УБПУКМУТЪЛ ФУОЫ˜ВМЛfl ˝ОВНЪ УММУПЛН УТНУФЛ˜ВТНУ„У ЛБУ· ‡КВМЛfl У·˙ВНЪ‡ ‚ О˛ПЛМВТˆВМЪМУП ТЛ„М‡ОВ Л ЪУ˜МУ„У ФУБЛˆЛУМЛ У‚‡МЛfl ˝ОВНЪ УММУ„У БУМ‰‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡ ФУ В„У ЛБУ· ‡КВМЛ˛.

мПВТЪМУ УТЪ‡МУ‚ЛЪ¸Тfl М‡ УТУ·ВММУТЪflı ФУТЪ УВМЛfl ЛБУ· ‡КВМЛfl ‚ ‡ТЪ У‚УП ˝ОВНЪ УММУП ПЛН У- ТНУФВ (кще) ЛБ-Б‡ В„У ТЫ˘ВТЪ‚ВММ˚ı УЪОЛ˜ЛИ УЪ У·˘ВЛБ‚ВТЪМ˚ı УФЪЛ˜ВТНЛı Л Ф УТ‚В˜Л‚‡˛˘Лı ˝ОВН- Ъ УММ˚ı ПЛН УТНУФУ‚. З кще, ТıВП‡ НУЪУ У„У Ф Л‚В‰ВМ‡ М‡ ЛТ. 1, УЪТЫЪТЪ‚ЫВЪ УЪУ· ‡К‡˛˘‡fl УФЪЛ˜ВТН‡fl ТЛТЪВП‡, НУЪУ ‡fl ‚ ‰ Ы„Лı ПЛН УТНУФ‡ı У·ВТФВ˜Л‚‡ВЪ У‰МУБМ‡˜МУВ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛВ ПВК‰Ы ЪУ˜- Н‡ПЛ У·˙ВНЪ‡ Л ЪУ˜Н‡ПЛ ЛБУ· ‡КВМЛfl. З кще ˝ОВНЪ-УП‡„МЛЪМ˚В ОЛМБ˚ ОЛ¯¸ ТОЫК‡Ъ ‰Оfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ЪУМНУ„У ˝ОВНЪ УММУ„У БУМ‰‡, НУЪУ ˚И Т ФУПУ˘¸˛ УЪНОУМfl˛˘ВИ ТЛТЪВП˚ Б‡¯Ъ ЛıУ‚˚‚‡ВЪ ‚ВТ¸ М‡- ·О˛‰‡ВП˚И Ы˜‡ТЪУН У·˙ВНЪ‡ fl‰УП Ф‡ ‡ООВО¸М˚ı

лйкйлйЗлдав йЕкДбйЗДнЦгъзхв ЬмкзДг, ‹10, 1997

êËÒ. 1. ЕОУН-ТıВП‡, ФУН‡Б˚‚‡˛˘‡fl УТМУ‚М˚В НУПФУМВМЪ˚ ‡ТЪ У‚У„У ˝ОВНЪ УММУ„У ПЛН УТНУФ‡

ТЪ УН – ‡ТЪ УП, ‡М‡ОУ„Л˜М˚П ‡ТЪ Ы ‚ ЪВОВ‚Л- БЛУММУИ Ъ Ы·НВ. иУ Ъ‡НУПЫ КВ ‡ТЪ Ы ТЛМı УММУ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‰‚ЛКВМЛВ ˝ОВНЪ УММУ„У ФЫ˜Н‡ ФУ ˝Н ‡- МЫ ˝ОВНЪ УММУ-ОЫ˜В‚УИ Ъ Ы·НЛ ‚Л‰ВУНУМЪ УО¸МУ„У ЫТЪ УИТЪ‚‡ ПЛН УТНУФ‡, „‰В ЫКВ ЩУ ПЛ ЫВЪТfl ЛБУ·-‡КВМЛВ У·˙ВНЪ‡. СОfl В„У ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ПУКВЪ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸Тfl О˛·УИ ‚ЪУ Л˜М˚И ТЛ„М‡О УЪ У·˙ВНЪ‡, ‚УБМЛН‡˛˘ЛИ ЛБ-Б‡ ˝ОВНЪ УММУ„У У·ОЫ˜ВМЛfl У·˙- ВНЪ‡, М‡Ф ЛПВ ТЛ„М‡О УЪ ‚ЪУ Л˜М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚, Т‚ВЪУ‚У„У Л ВМЪ„ВМУ‚ТНУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl Л ‰ . ь НУТЪ¸ ‰‡ММУИ ЪУ˜НЛ ЛБУ· ‡КВМЛfl УФ В‰ВОflВЪТfl ‚ВОЛ˜ЛМУИ ЛТФУО¸БЫВПУ„У ТЛ„М‡О‡, ЛТıУ‰fl˘В„У ЛБ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы- ˛˘ВИ ЪУ˜НЛ У·˙ВНЪ‡. й‰МУБМ‡˜МУВ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛВ ПВК‰Ы ФУОУКВМЛflПЛ ˝ОВНЪ УММУ„У БУМ‰‡ М‡ У·˙ВНЪВ Л ЪУ˜Н‡ПЛ М‡ ЛБУ· ‡КВМЛЛ ‰УТЪЛ„‡ВЪТfl Б‡ Т˜ВЪ ТЛМı УММУТЪЛ ‡Б‚В ЪУН ˝ОВНЪ УММ˚ı ФЫ˜НУ‚ М‡ У·˙ВНЪВ Л ˝Н ‡МВ.

С Ы„ЛП УЪОЛ˜ЛВП кще fl‚ОflВЪТfl ‚УБПУКМУТЪ¸ У‰МУ‚ ВПВММУ„У ФУОЫ˜ВМЛfl ЛБУ· ‡КВМЛИ У‰МУ„У Л ЪУ„У КВ У·˙ВНЪ‡ М‡ ˝Н ‡М‡ı ‡БМ˚ı Ъ Ы·УН ‚ ‡БОЛ˜- М˚ı ТЛ„М‡О‡ı, ‡ Ъ‡НКВ Ф ЛТЫ˘‡fl кще У˜ВМ¸ ·УО¸- ¯‡fl „ОЫ·ЛМ‡ ВБНУТЪЛ (‚ 10–100 ‡Б ·УО¸¯В, ˜ВП Ы УФЪЛ˜ВТНУ„У ПЛН УТНУФ‡), ˜ЪУ ЛТНО˛˜‡ВЪ ТФВˆЛ- ‡О¸М˚В Ъ В·У‚‡МЛfl Н Н‡˜ВТЪ‚Ы ФУ‚В ıМУТЪЛ ЛТТОВ- ‰ЫВПУ„У У·˙ВНЪ‡. Ц‰ЛМТЪ‚ВММ˚П ЫТОУ‚ЛВП ‰Оfl ФУОЫ˜ВМЛfl ЛБУ· ‡КВМЛfl ‚ кще fl‚ОflВЪТfl М‡ОЛ˜ЛВ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУИ ˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪЛ ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡, У·ВТФВ˜Л‚‡˛˘ВИ ‚УБПУКМУТЪ¸ ТЪВН‡МЛfl ‚МУТЛПУ„У ˝ОВНЪ УММ˚П БУМ‰УП ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У Б‡-fl‰‡, ˜ЪУ ‚ ТОЫ˜‡В ‰Л˝ОВНЪ ЛНУ‚ ‰УТЪЛ„‡ВЪТfl М‡Ф˚- ОВМЛВП М‡ У·˙ВНЪ ЪУМНУИ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ.

ойкеакйЗДзаЦ дДнйСйгыеазЦлсЦзнзйЙй абгмуЦзаь

З УЪОЛ˜ЛВ УЪ ПВЪ‡ООУ‚, „‰В ‚ТВ„‰‡ ВТЪ¸ БМ‡˜Л- ЪВО¸МУВ ˜ЛТОУ Т‚У·У‰М˚ı, УЪ‰ВОЛ‚¯ЛıТfl УЪ ‡ЪУПУ‚ Л ·ОЫК‰‡˛˘Лı ФУ ПВЪ‡ООЫ ˝ОВНЪ УМУ‚, ‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡ı ˜ЛТОУ Ъ‡НЛı ˝ОВНЪ УМУ‚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ПВМ¸¯В, ‡ УТЪ‡О¸М˚В М‡ıУ‰flЪТfl ‚ Т‚fl- Б‡ММ˚ı Т ‡ЪУП‡ПЛ ТУТЪУflМЛflı (Т‚flБ‡ММ˚В ЛОЛ ‚‡- ОВМЪМ˚В ˝ОВНЪ УМ˚) Л МВ ПУ„ЫЪ ФВ ВıУ‰ЛЪ¸ УЪ ‡ЪУП‡ Н ‡ЪУПЫ. СОfl ЪУ„У ˜ЪУ·˚ ФВ В‚ВТЪЛ ˝ОВНЪ УМ ЛБ Т‚fl- Б‡ММУ„У ТУТЪУflМЛfl ‚ Т‚У·У‰МУВ, ‚ НУЪУ УП УМ ОВ„НУ ФВ ВПВ˘‡ВЪТfl ФУ ЪВОЫ, МВУ·ıУ‰ЛПУ ТУУ·˘ЛЪ¸ ˝ЪУПЫ ˝ОВНЪ УМЫ МВНУЪУ ˚И Б‡Ф‡Т ˝МВ „ЛЛ, М‡Б˚‚‡ВПУИ ˝МВ „ЛВИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ, НУЪУ ‡fl ‡‚М‡ ЛОЛ МВТНУО¸НУ ·УО¸¯В ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУ„У Б‡БУ ‡ ПВК‰Ы БУМ‡ПЛ ˝ОВН- Ъ УМУ‚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ (БУМ‡ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ) Л ‚‡- ОВМЪМ˚ПЛ ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ (‚‡ОВМЪМ‡fl БУМ‡), М‡Б˚‚‡В- ПУ„У ¯Л ЛМУИ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Eg . щЪ‡ ‚ВОЛ˜ЛМ‡ ‰Оfl ‡БМ˚ı ‚В˘ВТЪ‚ ‡БОЛ˜М‡, МУ ‚ У·˘ВП ЛПВВЪ БМ‡˜ВМЛfl УЪ МВТНУО¸НЛı ‰ВТflЪ˚ı ‰У МВТНУО¸НЛı ˝ОВН- Ъ УМ‚УО¸Ъ (˝З).

и Л У·˚˜М˚ı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı Т В‰Мflfl ˝МВ „Лfl ЪВФОУ‚У„У ‰‚ЛКВМЛfl ПМУ„У ПВМ¸¯В ˝ЪУИ ‚ВОЛ˜ЛМ˚, МУ МВНУЪУ ˚В ˝ОВНЪ УМ˚ ЛПВ˛Ъ ˝МВ „ЛЛ БМ‡˜ЛЪВО¸- МУ ·УО¸¯ЛВ, ˜ВП Т В‰МВВ БМ‡˜ВМЛВ, Л УФ В‰ВОВММ‡fl, У˜ВМ¸ МВ·УО¸¯‡fl ‰УОfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ПУКВЪ ФВ ВИЪЛ ЛБ Т‚flБ‡ММУ„У ТУТЪУflМЛfl ‚ Т‚У·У‰МУВ, ЪУ ВТЪ¸ ЛБ ‚‡- ОВМЪМУИ БУМ˚ ‚ БУМЫ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ, УТЪ‡‚Оflfl ‚ ˝ЪУП ПВТЪВ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ПВТЪУ МВИЪ ‡О¸МУ„У ‡ЪУП‡ ФУОУКЛЪВО¸М˚И ЛУМ – ‰˚ НЫ.

СУ·‡‚У˜М‡fl ˝МВ „Лfl, МВУ·ıУ‰ЛП‡fl ‰Оfl УТ‚У·УК- ‰ВМЛfl ˝ОВНЪ УМ‡, ПУКВЪ ФВ В‰‡‚‡Ъ¸Тfl ˝ОВНЪ УМ‡П ЛБ‚МВ, М‡Ф ЛПВ Ф Л У·ОЫ˜ВМЛЛ Т‚ВЪУП ЛОЛ ˝ОВН- Ъ УМ‡ПЛ. З˚Б‚‡ММ˚В ˝ЪЛПЛ ‚МВ¯МЛПЛ Щ‡НЪУ ‡ПЛ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ (˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ) ‚ УЪОЛ˜ЛВ УЪ МУТЛЪВОВИ, ТУБ‰‡ММ˚ı Б‡ Т˜ВЪ ЪВФОУ‚УИ „ВМВ ‡ˆЛЛ, МУТflЪ М‡Б‚‡МЛВ МВ ‡‚МУ‚ВТ- М˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡.

зВ ТОВ‰ЫВЪ ‰ЫП‡Ъ¸, ˜ЪУ ФУТЪУflММУ У‰МЛ Л ЪВ КВ ˝ОВНЪ УМ˚ М‡ıУ‰flЪТfl ‚ Т‚У·У‰МУП ТУТЪУflМЛЛ, ‡ ‚ТВ УТЪ‡О¸М˚В – ‚ Т‚flБ‡ММУП. З ФУОЫФ У‚У‰МЛНВ ‚ТВ ‚ ВПfl Л‰ЫЪ ‰‚‡ Ф УЪЛ‚УФУОУКМ˚ı Ф УˆВТТ‡. л У‰- МУИ ТЪУ УМ˚, Ф УˆВТТ УТ‚У·УК‰ВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Б‡ Т˜ВЪ ‚МЫЪ ВММВИ ЛОЛ ‚МВ¯МВИ ˝МВ „ЛЛ, ЪУ ВТЪ¸ „ВМВ-‡ˆЛfl Т‚У·У‰М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН ЛОЛ ˝ОВН- Ъ УММУ-‰˚ У˜М˚ı Ф‡ . л ‰ Ы„УИ – Ф УˆВТТ Б‡ı‚‡Ъ‡ УТ‚У·УК‰ВММ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚, ЪУ ВТЪ¸ ‚УТТУВ‰ЛМВМЛfl Лı Т ЪВП ЛОЛ ЛМ˚П ЛБ УТЪ‡‚¯ЛıТfl ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНВ ЛУМУ‚ – ‡ЪУПУ‚, ФУЪВ fl‚¯Лı Т‚УИ ˝ОВНЪ УМ. щЪУЪ Ф УˆВТТ М‡Б˚‚‡˛Ъ Ф УˆВТТУП ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, ‚ В- БЫО¸Ъ‡ЪВ НУЪУ У„У ˝ОВНЪ УМ˚ ‚УБ‚ ‡˘‡˛ЪТfl ‚ Т‚У- ·У‰М˚В ТУТЪУflМЛfl ‚ ‚‡ОВМЪМУИ БУМВ Л ЛТ˜ВБ‡˛Ъ Т‚У·У‰М˚И ˝ОВНЪ УМ Л Т‚У·У‰М‡fl ‰˚ Н‡. З ТЪ‡ˆЛУ- М‡ МУП ТУТЪУflМЛЛ ПВК‰Ы Ф УˆВТТ‡ПЛ „ВМВ ‡ˆЛЛ ЛВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНВ ЫТЪ‡М‡‚ОЛ‚‡ВЪТfl ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУВ ‡‚МУ‚ВТЛВ.

ЙВМВ ‡ˆЛfl Л ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ Ф УЛТıУ‰flЪ МВУ‰МУПУПВМЪМУ. йМЛ ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛Ъ МВНУЪУ ˚И, У˜ВМ¸ НУ УЪНЛИ ЛМЪВ ‚‡О ‚ ВПВМЛ, М‡Б˚- ‚‡ВП˚И ‚ ВПВМВП КЛБМЛ, Б‡ НУЪУ ˚И Ф УЛТıУ‰ЛЪ Лı ФВ ВПВ˘ВМЛВ ФУ ФУОЫФ У‚У‰МЛНЫ. и Л ВНУП·ЛМ‡- ˆЛЛ ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН, ВТЪВТЪ‚ВММУ, ‚˚‰ВОflВЪТfl ЛБ·˚ЪУ˜М‡fl ˝МВ „Лfl, Ф Уfl‚Оfl˛˘‡flТfl ‚ ‚Л‰В ‰УФУОМЛЪВО¸М˚ı НУОВ·‡МЛИ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ (ЩУМУМУ‚) ЛОЛ У· ‡БУ‚‡МЛfl Т‚ВЪУ- ‚˚ı Н‚‡МЪУ‚ (ЩУЪУМУ‚). кВНУП·ЛМ‡ˆЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН, Ф Л‚У‰fl˘‡fl Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ЩУМУМУ‚, М‡- Б˚‚‡ВЪТfl ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ; ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl, Ф Л‚У- ‰fl˘‡fl Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ЩУЪУМУ‚, – ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ. иУТОВ‰Мflfl Л Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМЪМУВ (дг) ЛБОЫ˜ВМЛВ, ФУfl‚Оfl˛˘ВВТfl ФУ‰ ˝ОВН- Ъ УММ˚П У·ОЫ˜ВМЛВП.

н‡НЛП У· ‡БУП, ‚ ТУБ‰‡МЛЛ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl Ы˜‡ТЪ- ‚Ы˛Ъ Ъ Л Ф УˆВТТ‡: „ВМВ ‡ˆЛfl, ‰‚ЛКВМЛВ Л ВНУП- ·ЛМ‡ˆЛfl МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡. к‡ТТПУЪ-ЛП ˝ЪЛ Ф УˆВТТ˚.

ЙВМВ ‡ˆЛfl МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡

臉‡˛˘ЛВ М‡ У·˙ВНЪ ·˚ТЪ ˚В У·ОЫ˜‡˛˘ЛВ ˝ОВН- Ъ УМ˚ Ф У‰УОК‡˛Ъ ‰‚Л„‡Ъ¸Тfl ‚ МВП ФУ ТОУКМ˚П Ъ ‡ВНЪУ ЛflП, ФУТЪВФВММУ Ф ВЪВ ФВ‚‡˛Ъ ФУЪВ Л ˝МВ - „ЛЛ Б‡ Т˜ВЪ ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚Лfl Т П‡ЪВ Л‡ОУП У·˙ВНЪ‡ ‚ФОУЪ¸ ‰У ФУОМУ„У ЪУ ПУКВМЛfl ЛОЛ ФУНЛ‰‡МЛfl У·˙- ВНЪ‡ ‚ ‚Л‰В УЪ ‡КВММ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚. ЗВОЛ˜ЛМ‡ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı ФУЪВ ¸ ˝ОВНЪ УМУ‚ ФВ ‚Л˜МУ„У ФЫ˜- Н‡ ТОУКМ˚П У· ‡БУП Б‡‚ЛТЛЪ УЪ Лı ˝МВ „ЛЛ Л Ъ‡НЛı Ф‡ ‡ПВЪ У‚ У·˙ВНЪ‡, Н‡Н ФОУЪМУТЪ¸ У·˙ВНЪ‡, Т В‰- МЛИ ‡ЪУПМ˚И МУПВ Л Ъ.‰.

З У·О‡ТЪЛ ФУЪВ ¸ ˝МВ „ЛЛ, НУЪУ Ы˛ В˘В М‡Б˚‚‡- ˛Ъ У·О‡ТЪ¸˛ ‚УБ·ЫК‰ВМЛfl, Б‡ Т˜ВЪ ˝ОВНЪ УММ˚ı ФВ-ВıУ‰У‚ ‚ У·˙ВНЪВ Ф УЪВН‡˛Ъ ‚˚Б˚‚‡ВП˚В ˝ОВНЪ УММУИ ·УП·‡ ‰Л У‚НУИ ‡БМУУ· ‡БМ˚В ‚ЪУ Л˜М˚В Ф УˆВТТ˚. З ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı Л ‰Л˝ОВНЪ ЛН‡ı, Н‡Н „У‚У ЛОУТ¸ ‚˚¯В, ‡ТТВflММ‡fl ˝МВ „Лfl ПУКВЪ ˜‡ТЪЛ˜- МУ ФУИЪЛ М‡ У· ‡БУ‚‡МЛВ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ˝ОВНЪ УМ- МУ-‰˚ У˜М˚ı Ф‡ . л В‰Мflfl ˝МВ „Лfl У· ‡БУ‚‡МЛfl У‰- МУИ Ъ‡НУИ Ф‡ ˚ МВТНУО¸НУ Ф В‚˚¯‡ВЪ ¯Л ЛМЫ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ У·ОЫ˜‡ВПУ„У ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡. з‡Ф ЛПВ , ‰Оfl ‡ ТВМЛ‰‡ „‡ООЛfl Т В‰Мflfl ˝МВ „Лfl У· ‡БУ‚‡МЛfl У‰МУИ Ф‡ ˚ ‡‚М‡ 4,6 ˝З Ф Л Eg (300 д) = = 1,43 ˝З. З кще ˝МВ „Лfl Ф‡‰‡˛˘В„У ˝ОВНЪ УМ‡ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ·УО¸¯В Т В‰МВИ ˝МВ „ЛЛ У· ‡БУ‚‡МЛfl ˝ОВНЪ УММУ-‰˚ У˜МУИ Ф‡ ˚, Л, Ъ‡НЛП У· ‡БУП, У‰ЛМ ˝ОВНЪ УМ Т ˝МВ „ЛВИ 10–20 Н˝З ФУ Ъ ‡ВНЪУ ЛЛ Т‚УВ„У ‰‚ЛКВМЛfl ‚ У·˙ВНЪВ ТУБ‰‡ВЪ МВТНУО¸НУ Ъ˚Тfl˜ ˝ОВНЪ УММУ-‰˚ У˜М˚ı Ф‡ .

З‡КМ˚П Ф‡ ‡ПВЪ УП, ı‡ ‡НЪВ ЛБЫ˛˘ЛП ‡БПВ У·О‡ТЪЛ ‚УБ·ЫК‰ВМЛfl, fl‚ОflВЪТfl „ОЫ·ЛМ‡ Ф УМЛНМУ- ‚ВМЛfl ФВ ‚Л˜М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ П‡ЪВ Л‡О У·˙ВНЪ‡ ЛОЛ „ОЫ·ЛМ‡ БУМ‰Л У‚‡МЛfl У·˙ВНЪ‡ ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ БУМ‰‡. бМ‡МЛВ ВВ ‚ВОЛ˜ЛМ˚, М‡Ф ЛПВ , ФУБ‚УОflВЪ Ф ‡‚ЛО¸МУ ‚˚· ‡Ъ¸ ‚ВОЛ˜ЛМЫ ЫТНУ fl˛˘В„У М‡Ф fl- КВМЛfl кще Ф Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ ПМУ„УТОУИМУИ ФУОЫ-

퇷Îˈ‡ 1. бМ‡˜ВМЛfl „ОЫ·ЛМ˚ Ф УМЛНМУ‚ВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНЛ

Ô Ó‚Ó‰ÌËÍÓ‚ÓÈ ÒÚ ÛÍÚÛ ˚. ÑÎfl ÒÔ ‡‚ÍË ‚ Ú‡·Î. 1 Ô Ë‚Â‰ÂÌ˚ Á̇˜ÂÌËfl ˝ÚÓÈ ‚Â΢ËÌ˚.

С‚ЛКВМЛВ Л ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı МУТЛЪВОВИ

ÇФ УТЪВИ¯ВП ТОЫ˜‡В ‚УБМЛН¯ЛВ МВ ‡‚МУ‚ВТ- М˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ Ф ЛУ· ВЪ‡˛Ъ М‡Ф ‡‚ОВММУВ ‰‚ЛКВМЛВ Б‡ Т˜ВЪ ‰ЛЩЩЫБЛЛ Л У‰МУ‚ ВПВММУ ВНУП- ·ЛМЛ Ы˛Ъ ЛБ-Б‡ ‚УБ‚ ‡˘ВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ Т‚У·У‰- М˚В ТУТЪУflМЛfl ‚ ‚‡ОВМЪМУИ БУМВ. и Л ˝ЪУП, ВТОЛ В- НУП·ЛМ‡ˆЛfl ЛБОЫ˜‡ЪВО¸М‡fl, ‚˚‰ВОflВЪТfl Н‚‡МЪ Т‚ВЪ‡

ÒП‡НТЛП‡О¸МУИ ˝МВ „ЛВИ, ·ОЛБНУИ Н Eg . З В‡О¸М˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı, „‰В ‚ УЪОЛ˜ЛВ УЪ Л‰В‡О¸М˚ı ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚ ‡ЪУП˚ Ф ЛПВТВИ Л ТЪ ЫНЪЫ М˚В ‰ВЩВН- Ъ˚ ПУ„ЫЪ ТУБ‰‡‚‡Ъ¸ ‡Б В¯ВММ˚В ‰Оfl М‡ıУК‰ВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ Ы У‚МЛ ‚ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМВ, ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН ПУКВЪ Ф УЛТıУ‰ЛЪ¸ ·УОВВ ТОУКМ˚П ФЫЪВП Т Ы˜‡ТЪЛВП ˝ЪЛı Ы У‚МВИ Т ‚˚‰ВОВМЛВП Н‚‡МЪ‡ Т‚ВЪ‡ Т ˝МВ „ЛВИ, ТЫ-

˘ÂÒÚ‚ÂÌÌÓ ÏÂ̸¯ÂÈ, ˜ÂÏ Eg . д УПВ ЪУ„У, ‚ В‡О¸- М˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı ПУКВЪ ЛПВЪ¸ ПВТЪУ ·ВБ˚БОЫ- ˜‡ЪВО¸М‡fl ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl МУТЛЪВОВИ ˜В ВБ Ы У‚МЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡.

ÇВБЫО¸Ъ‡ЪВ ˝ЪЛı Ф УˆВТТУ‚ ‚ У·˙ВНЪВ Ф Л МВ- Ф В ˚‚МУП У·ОЫ˜ВМЛЛ МВФУ‰‚ЛКМ˚П ˝ОВНЪ УММ˚П БУМ‰УП ТУБ‰‡ВЪТfl ТЪ‡ˆЛУМ‡ МУВ ‡ТФ В‰ВОВМЛВ МВ-‡‚МУ‚ВТМ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН, ФУ‰˜ЛМfl˛˘ВВТfl Ъ ВıПВ МУПЫ Ы ‡‚МВМЛ˛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ.

аМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ дг-˝ПЛТТЛЛ Ф УФУ ˆЛУМ‡О¸М‡ ФОУЪМУТЪЛ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡, Ф УТЫППЛ У‚‡ММУИ ФУ ‚ТВПЫ У·˙ВПЫ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН‡.

иУПЛПУ ЛМЪВМТЛ‚МУТЪЛ дг-˝ПЛТТЛfl ı‡ ‡НЪВ Л- БЫВЪТfl ТФВНЪ ‡О¸М˚П ТУТЪ‡‚УП ЛБОЫ˜ВМЛfl. щМВ „Лfl ЩУЪУМУ‚ Л, Ъ‡НЛП У· ‡БУП, ТФВНЪ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl ТУ‰В К‡Ъ Т‚В‰ВМЛfl У ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛ˜ВТНЛı ˝МВ „ВЪЛ- ˜ВТНЛı Ы У‚Мflı ‚ У·˙ВНЪВ. аБОЫ˜‡ЪВО¸М˚В ФВ ВıУ‰˚ ПУКМУ ‡Б‰ВОЛЪ¸ М‡ ‰‚‡ НО‡ТТ‡: ТУ·ТЪ‚ВММ˚В (ЩЫМ- ‰‡ПВМЪ‡О¸М˚В) Л Ф ЛПВТМ˚В. д ТУ·ТЪ‚ВММ˚П, ı‡-‡НЪВ ЛБЫ˛˘ЛП МВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ П‡ЪВ Л‡О У·˙ВНЪ‡ УЪМУТflЪТfl ФВ ВıУ‰˚ БУМ‡–БУМ‡ Т ‚˚‰ВОВМЛВП ЩУЪУ- М‡ Т ˝МВ „ЛВИ, ‡‚МУИ ¯Л ЛМВ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Eg , Л ВНУП·ЛМ‡ˆЛfl Т‚У·У‰МУ„У ˝НТЛЪУМ‡ (ТЛТЪВП‡ Т‚flБ‡ММ˚ı ‰ Ы„ Т ‰ Ы„УП ˝ОВНЪ УМ‡ Л ‰˚ НЛ) Т ‚˚‰В- ОВМЛВП ЩУЪУМ‡ Т ˝МВ „ЛВИ Eg − Ex , „‰Â Ex – ˝Ì „Ëfl

Т‚flБЛ ˝НТЛЪУМ‡. З МВФ flПУБУММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛ- Н‡ı, Ъ‡НЛı, Н‡Н, М‡Ф ЛПВ , GaP, ЩЫМ‰‡ПВМЪ‡О¸МУВ ЛБОЫ˜ВМЛВ У˜ВМ¸ ТО‡·УВ, ФУТНУО¸НЫ ‚ УЪОЛ˜ЛВ УЪ Ф flПУБУММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚, Ъ‡НЛı, Н‡Н GaAs, Ф Л ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ ˝ОВНЪ УМ‡ Л ‰˚ НЛ У·flБ‡ЪВО¸МУ ‰УОКМУ Ф УЛТıУ‰ЛЪ¸ У· ‡БУ‚‡МЛВ ЩУМУМ‡ Т ФВ В‰‡- ˜ВИ ˜‡ТЪЛ ˝МВ „ЛЛ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ, ‡ ФУ- fl‚ОВМЛВ ‰УФУОМЛЪВО¸МУИ ˜‡ТЪЛˆ˚ ВБНУ ЫПВМ¸¯‡ВЪ ‚В УflЪМУТЪ¸ Ф УˆВТТ‡. З Т‚flБЛ Т ˝ЪЛП ТУ·ТЪ‚ВММУВ ЛБОЫ˜ВМЛВ ‚ МВФ flПУБУММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı УЪМУТЛЪВО¸МУ ТО‡·УВ, УТУ·ВММУ ‚ Т ‡‚МВМЛЛ Т ЛБОЫ˜В- МЛВП, Т‚flБ‡ММ˚П Т М‡ОЛ˜ЛВП Ф ЛПВТВИ Л ‰ВЩВНЪУ‚. и Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В Ъ‡НУВ ЛБОЫ˜ВМЛВ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ Т‰ВО‡МУ „У ‡Б‰У ·УОВВ ЛМЪВМТЛ‚М˚П, ˜ВП ТУ·ТЪ- ‚ВММУВ. З ЪВ ПЛМУОУ„ЛЛ, Т‚flБ‡ММУИ Т О˛ПЛМУЩУ ‡- ПЛ, Ъ‡НЛВ ‡НЪЛ‚Л Ы˛˘ЛВ О˛ПЛМВТˆВМˆЛ˛ Ф ЛПВТЛ М‡Б˚‚‡˛Ъ ‡НЪЛ‚‡ЪУ ‡ПЛ. З Ф ЛТЫЪТЪ‚ЛЛ Ф ЛПВТВИ ‚ У·˙ВНЪВ ПУ„ЫЪ Ъ‡НКВ У· ‡БУ‚˚‚‡Ъ¸Тfl Т‚flБ‡ММ˚В М‡ МЛı ˝НТЛЪУМ˚, Ф Л ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ НУЪУ ˚ı ‚УБМЛ-

Н‡˛Ъ ЩУЪУМ˚ Т ˝МВ „ЛВИ hν = Eg − Ex − Eb − mEph , „‰Â Eb – ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ ˝НТЛЪУМ‡ Т Ф ЛПВТМ˚П ‡ЪУПУП,

Eph – ˝МВ „Лfl ˝ПЛЪЛ ЫВП˚ı ЩУМУМУ‚ Л m – ˜ЛТОУ ЩУМУМУ‚. З В‡О¸М˚ı П‡ЪВ Л‡О‡ı ‰УПЛМЛ Ы˛˘ЛП ЛБОЫ˜ВМЛВП fl‚ОflВЪТfl ЛБОЫ˜ВМЛВ Б‡ Т˜ВЪ Ф ЛПВТМ˚ı ФВ ВıУ‰У‚ ˜В ВБ Ы У‚МЛ Ф ЛПВТВИ Л ‰ВЩВНЪУ‚.

йТЪ‡МУ‚ЛПТfl М‡ У‰МУИ ЛБ ‚‡КМ˚ı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ ‚ ЫБНЛı ˝ОВНЪ УММ˚ı ФЫ˜- Н‡ı, ‡ ЛПВММУ М‡ ТЪВФВМЛ ОУН‡О¸МУТЪЛ ФУОЫ˜‡ВПУИ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ У· У·˙ВНЪВ (‚ ПЛН УТНУФЛЛ ˝ЪУЪ Ф‡ ‡- ПВЪ М‡Б˚‚‡˛Ъ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММ˚П ‡Б В¯ВМЛВП). иУ ОУ„ЛНВ ФУФВ В˜М˚И ‡БПВ ЛБОЫ˜‡˛˘В„У У·˙ВП‡ ·Ы‰ВЪ УФ В‰ВОflЪ¸Тfl ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛП ‡БПВ УП У·- О‡ТЪЛ, „‰В ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛Ъ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚В МУТЛЪВОЛ Б‡-fl‰‡, ‚НО˛˜‡˛˘ВИ У·О‡ТЪ¸ Лı „ВМВ ‡ˆЛЛ Л ФУТОВ‰Ы- ˛˘ВИ ‰ЛЩЩЫБЛЛ. й·˚˜МУ ˝ЪУЪ ‡БПВ ‚˚˜ЛТОflВЪТfl Н‡Н „ВУПВЪ Л˜ВТН‡fl ТЫПП‡ ‡БПВ ‡ ˝ОВНЪ УММУ„У БУМ‰‡ М‡ У·˙ВНЪВ, ФУФВ В˜МУ„У ‡БПВ ‡ У·О‡ТЪЛ „В- МВ ‡ˆЛЛ МУТЛЪВОВИ, Ф Л·ОЛБЛЪВО¸МУ ‡‚МУ„У ФУ ‚В- ОЛ˜ЛМВ „ОЫ·ЛМВ Ф УМЛНМУ‚ВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ У·˙- ВНЪ, Л ‰ЛЩЩЫБЛУММУИ ‰ОЛМ˚ МВУТМУ‚М˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡. й‰М‡НУ [1] ‰ЛЩЩЫБЛУММУВ ‡БП˚ЪЛВ МУТЛЪВОВИ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ У„ ‡МЛ˜Л‚‡ВЪТfl ЛБ-Б‡ УЪЪУН‡ МУТЛЪВОВИ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Л Лı ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП- ·ЛМ‡ˆЛЛ Ъ‡П. З ВБЫО¸Ъ‡ЪВ М‡ Ф ‡НЪЛНВ ‚ дг-ВКЛПВ кще В‡ОЛБЫВЪТfl ‰У‚УО¸МУ ‚˚ТУНУВ БМ‡˜В- МЛВ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ„У ‡Б В¯ВМЛfl. н‡Н, Ф Л 1 НЗ М‡ П‡ТТЛ‚МУП У·˙ВНЪВ ·˚ОУ В‡ОЛБУ‚‡МУ ‚ кще ‚ дгВКЛПВ БМ‡˜ВМЛВ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ„У ‡Б В¯В- МЛfl ‚ 60 МП. Ц˘В ·УОВВ ‚˚ТУНЛВ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ‰УТЪЛ„МЫЪ˚ М‡ ЪУМНЛı У·˙ВНЪ‡ı.нВП МВ ПВМВВ БМ‡˜ВМЛВ Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ„У ‡Б В¯ВМЛfl, В‡ОЛБЫВПУ„У Ф Л ‡·УЪВ ‚ М‡Л·УОВВ ‡ТФ УТЪ ‡МВММУП ‚ кще ВКЛПВ ‚ЪУ Л˜МУИ ˝ОВНЪ УММУИ ˝ПЛТТЛЛ (2– 5 МП) Л У·˚˜МУ Ф Л‚У‰ЛПУ„У ‚ Ф УТФВНЪ‡ı ФУ кще, ‚ ВКЛПВ дг УТЪ‡ВЪТfl МВ‰УТЪЛКЛП˚П. кВНУ ‰М˚П ‰Оfl О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ ТОВ‰ЫВЪ Т˜ЛЪ‡Ъ¸ БМ‡˜ВМЛВ Ф У- ТЪ ‡МТЪ‚ВММУ„У ‡Б В¯ВМЛfl, ‰УТЪЛ„МЫЪУВ ‚ ТН‡МЛ-Ы˛˘ВП ЪЫММВО¸МУП ПЛН УТНУФВ, У‰М‡НУ Ъ‡П ЛПВО

ПВТЪУ УЪОЛ˜М˚И УЪ Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ ПВı‡- МЛБП ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ.

ДииДкДнмкД

лЪ‡М‰‡ ЪМ‡fl ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М‡fl ЫТЪ‡МУ‚Н‡ ‚НО˛˜‡ВЪ У·˚˜М˚И кще ЛОЛ В„У Ф УТ‚В˜Л‚‡˛˘ЛИ ‡М‡ОУ„, ТЛТЪВПЫ Т·У ‡ Т‚ВЪУ‚У„У ЛБОЫ˜ВМЛfl Л В„У ‚˚- ‚У‰‡ Б‡ Ф В‰ВО˚ НУОУММ˚ ПЛН УТНУФ‡ (НУООВНЪУ - М‡fl ТЛТЪВП‡), ТЛТЪВПЫ ТФВНЪ ‡О¸МУ„У ‡М‡ОЛБ‡ дгЛБОЫ˜ВМЛfl (У·˚˜МУ ПУМУı УП‡ЪУ ) Л ТЛТЪВПЫ В„Л- ТЪ ‡ˆЛЛ. дУООВНЪУ М‡fl ТЛТЪВП‡ ˜‡˘В ‚ТВ„У fl‚ОflВЪТfl БВ Н‡О¸МУ-ОЛМБУ‚УИ Л НУМТЪ ЫЛ ЫВЪТfl Ъ‡Н, ˜ЪУ·˚ ТУ· ‡Ъ¸ Т‚ВЪУ‚УВ ЛБОЫ˜ВМЛВ Т У·˙ВНЪ‡ Н‡Н ПУКМУ ФУОМВВ. З Н‡˜ВТЪ‚В ‰ВЪВНЪУ У‚ Т‚ВЪУ‚У„У ЛБОЫ˜ВМЛfl Ф Л ‡·УЪВ ‚ ‚Л‰ЛПУИ У·О‡ТЪЛ ТФВНЪ ‡ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ЩУЪУ˝ОВНЪ УММ˚В ЫПМУКЛЪВОЛ, ‡ ‚ ·ОЛКМВИ ЛМЩ ‡- Н ‡ТМУИ У·О‡ТЪЛ – Ъ‚В ‰УЪВО¸М˚В ЩУЪУ‰ВЪВНЪУ ˚.

й·˚˜М˚В, М‡Л·УОВВ ‡ТФ УТЪ ‡МВММ˚В ВКЛП˚‡·УЪ˚ Ъ‡НУИ ЫТЪ‡МУ‚НЛ – В„ЛТЪ ‡ˆЛfl дг-ЛБУ· ‡- КВМЛfl У·˙ВНЪ‡ Л В„ЛТЪ ‡ˆЛfl ТФВНЪ ‡ дг-ЛБОЫ˜В- МЛfl. З ФВ ‚УП ТОЫ˜‡В ЛТФУО¸БЫВЪТfl ОЛ·У ФУОМ˚И ТЛ„М‡О дг Л ЛБОЫ˜ВМЛВ ФУФ‡‰‡ВЪ М‡ ЩУЪУ‰ВЪВНЪУ , ПЛМЫfl ПУМУı УП‡ЪУ , ОЛ·У ТЛ„М‡О дг ‚ ЩЛНТЛ У- ‚‡ММУП ТФВНЪ ‡О¸МУП ЛМЪВ ‚‡ОВ, Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚И ТЛ„М‡О ПУМУı УП‡ЪЛ˜ВТНУИ дг, ‰Оfl ФУОЫ˜ВМЛfl НУЪУ У„У дг-ЛБОЫ˜ВМЛВ ФВ В‰ ФУФ‡‰‡МЛВП М‡ ЩУЪУ‰В- ЪВНЪУ Ф УФЫТН‡ВЪТfl ˜В ВБ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛП У· ‡- БУП М‡ТЪ УВММ˚И ПУМУı УП‡ЪУ . З ˝ЪУП ВКЛПВ ТН‡МЛ У‚‡МЛВ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl ˝ОВНЪ УММ˚П БУМ- ‰УП ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡. ЗУ ‚ЪУ УП ТОЫ˜‡В ˝ОВН- Ъ УММ˚И БУМ‰ МВФУ‰‚ЛКВМ Л ЫТЪ‡МУ‚ОВМ М‡ УФ В‰В- ОВММЫ˛, ‚˚· ‡ММЫ˛ ЪУ˜НЫ У·˙ВНЪ‡, ‡ ПУМУı УП‡ЪУ ТН‡МЛ ЫВЪ ФУ Б‡‰‡ММУПЫ ТФВНЪ ‡О¸МУПЫ ‰Л‡Ф‡БУМЫ. н‡НЛП У· ‡БУП ФУОЫ˜‡˛Ъ ТФВНЪ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl ЛБ ‰‡ММУИ ЪУ˜НЛ У·˙ВНЪ‡.

азойкеДнаЗзйлнъ лаЙзДгД дДнйСйгыеазЦлсЦзсаа

д ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН‡П ТЛ„М‡О‡ дг, НУЪУ ˚В МВТЫЪ ФУОВБМЫ˛ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У· У·˙ВНЪВ, ‚ УТМУ‚МУП УЪМУТflЪТfl ФУОМ‡fl ЛМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl, Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП‡fl ЛМЪВ„ ‡О¸М‡fl ЛМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ Л ТФВНЪ-‡О¸М˚И ТУТЪ‡‚ ТЛ„М‡О‡ дг. к‡ТТПУЪ ЛП Ф ЛПВ ˚ ФУОЫ˜‡ВПУИ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ Ф Л В„ЛТЪ ‡ˆЛЛ ˝ЪЛı ı‡-‡НЪВ ЛТЪЛН.

аМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ТЛ„М‡О‡ ЛМЪВ„ ‡О¸МУИ Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ

щЪУ М‡Л·УОВВ Ф УТЪУ В„ЛТЪ Л ЫВП‡fl ı‡ ‡НЪВ Л- ТЪЛН‡ ТЛ„М‡О‡ дг. аБУ· ‡КВМЛВ ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В Ф В‰- ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ МВ ˜ЪУ ЛМУВ, Н‡Н Н‡ ЪЫ ‡ТФ В‰ВОВМЛfl ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡ ЪВПФ‡ ЩУЪУММУИ ˝ПЛТТЛЛ, Ф Л˜ЛМ˚ ЛБПВМВМЛfl НУЪУ У„У Ф Л ФВ В- ıУ‰В Т У‰МУ„У ПВТЪ‡ У·˙ВНЪ‡ М‡ ‰ Ы„УВ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸‡БОЛ˜М˚ПЛ.

аМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl Б‡‚ЛТЛЪ УЪ МВТНУО¸НЛı Ф‡ ‡ПВЪ У‚, Н‡К‰˚И ЛБ НУЪУ ˚ı ПУКВЪ ЛПВЪ¸ МВУ‰МУ У‰МУВ ‡ТФ В‰ВОВМЛВ ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡. з‡Ф ЛПВ , М‡ОЛ˜ЛВ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПВЪ‡О- ОЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ЛБПВМВМЛ˛ ТЪВФВМЛ ФУЪВ ¸ ˝МВ „ЛЛ ˝ОВНЪ УМ‡ПЛ БУМ‰‡ МВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ ‚ УТМУ‚МУП П‡ЪВ Л‡ОВ У·˙ВНЪ‡ Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ Н ЛБПВМВМЛ˛ О˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡. з‡ОЛ˜ЛВ ФОВМУН Б‡„ flБМВМЛИ ЛОЛ ‚‡ Л‡ˆЛЛ ЪУО˘ЛМ˚ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ФУН ˚ЪЛИ ПУ„ЫЪ Ф Л‚У‰ЛЪ¸ Н ‚‡ Л‡ˆЛflП ТЪВФВМЛ УЪ ‡КВМЛfl Т‚ВЪ‡ УЪ „ ‡МЛˆ˚ У·˙ВНЪ–‚‡НЫЫП Ф Л В„У ‚˚ıУ‰В ЛБ У·˙ВНЪ‡. аПВВЪТfl ·УО¸¯УВ ˜ЛТОУ Щ‡НЪУ У‚, ‚ОЛfl˛- ˘Лı М‡ ТУУЪМУ¯ВМЛВ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪВИ Н‡М‡ОУ‚ ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ Л ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ ‚‡БОЛ˜М˚ı ПВТЪ‡ı У·˙ВНЪ‡, ˜ЪУ ТН‡Б˚‚‡ВЪТfl М‡ ОУ- Н‡О¸М˚ı О˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН‡ı. д МЛП УЪМУТflЪТfl, М‡Ф ЛПВ , ЪЛФ Л НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ОВ„Л Ы- ˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ Л М‡ОЛ˜ЛВ ‰ВЩВНЪУ‚ ТЪ ЫНЪЫ ˚. иУТОВ‰МЛВ ˜‡˘В ‚ТВ„У Ф Уfl‚Оfl˛Ъ ТВ·fl Н‡Н ˆВМЪ ˚ ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ Л ‚˚„Оfl‰flЪ М‡ ЛБУ· ‡КВМЛЛ ‚ ‚Л‰В ЪВПМ˚ı ФflЪВМ ( ЛТ. 2).

ПВı‡МЛБП‡ ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡. н‡Н‡fl Н‡ ЪЛМ‡ ·Ы‰ВЪ Ф В‰ТЪ‡‚ОflЪ¸ ТУ·УИ Н‡ ЪЫ ‡ТФ В‰ВОВМЛfl УЪ- ‰ВО¸М˚ı Щ‡Б ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ У·˙ВНЪ‡, ВТОЛ Н‡К‰УИ Щ‡БВ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ дг-˝ПЛТТЛfl ‚ УФ В‰ВОВММУП Ы˜‡ТЪНВ ТФВНЪ ‡. н‡НУИ ВКЛП ПУКМУ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ‰Оfl МВ ‡Б Ы¯‡˛˘В„У НУМЪ УОfl ПМУ„УТОУИМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ , ВТОЛ Н‡К‰˚И ТОУИ ı‡ ‡НЪВ ЛБЫВЪТfl Т‚УЛП ‰Л‡- Ф‡БУМУП ‰ОЛМ ‚УОМ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl. и Л М‡ОЛ˜ЛЛ ·УОВВ ˜ВП ‰‚Ыı Щ‡Б М‡„Оfl‰М˚П fl‚ОflВЪТfl ˆ‚ВЪМУВ Ф В‰ТЪ‡‚ОВМЛВ ЛБУ· ‡КВМЛfl, М‡Ф ЛПВ ПВЪУ‰УП ˆ‚ВЪМУИ дг [2], Ф Л НУЪУ УИ Ъ‡НКВ ОВ„НУ Б‡ПВЪЛЪ¸ ‚Б‡ЛПМУВ Ф УМЛНМУ‚ВМЛВ Щ‡Б У‰МУИ ‚ ‰ Ы„Ы˛. щЪУ ‚Л‰МУ М‡ ЛТ. 3, „‰В Ъ‡НЛП ТФУТУ·УП Ф В‰ТЪ‡‚ОВМУ ЛБУ· ‡КВМЛВ Н ЛТЪ‡ОО‡ CdS Т Ф У˜В ˜ВММУИ ФУ В„У ФУ‚В ıМУТЪЛ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛП МУКУП ФУОУТУИ (ФУОУТ‡

10 ÏÍÏ

êËÒ. 2. СЛТОУН‡ˆЛЛ ‚ GaAs : Te ‚ ТЛ„М‡ОВ ЛМЪВ„-‡О¸МУИ дг. дУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ЪВООЫ ‡ 1017 ÒÏ−3

лФВНЪ ‡О¸М˚И ТУТЪ‡‚ ТЛ„М‡О‡ Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ

лФВНЪ дг-ЛБОЫ˜ВМЛfl МВТВЪ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У ПВ- ı‡МЛБП‡ı ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, НУЪУ ˚В ЛПВ˛Ъ ПВТЪУ ‚ ‰‡ММУИ У·О‡ТЪЛ У·˙ВНЪ‡. З˚‰ВОflfl Т ФУПУ˘¸˛ ПУМУı УП‡ЪУ ‡ ЪУЪ ЛОЛ ЛМУИ Ы˜‡ТЪУН ТФВНЪ ‡, ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛИ УФ В‰ВОВММУПЫ ПВı‡- МЛБПЫ ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ, Л ЛТФУО¸БЫfl ˝ЪУЪ ТЛ„М‡О ‰Оfl ФУТЪ УВМЛfl ЛБУ· ‡КВМЛfl, ФУОЫ˜‡˛Ъ Н‡ ЪЫ ‡ТФ В‰ВОВМЛfl ‰‡ММУ„У ВНУП·ЛМ‡ˆЛУММУ„У

êËÒ. 3. аБУ· ‡КВМЛВ Н ЛТЪ‡ОО‡ ТЫО¸ЩЛ‰‡ Н‡‰ПЛfl Т Ф У˜В ˜ВММУИ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛП МУКУП ФУОУТУИ ‚ВКЛПВ ˆ‚ВЪМУИ дг. лМЛПУН О˛·ВБМУ Ф В‰УТЪ‡‚- ОВМ Й.З. л‡Ф‡ ЛМ˚П

ЛБ Н ‡ТМ˚ı ЪУ˜ВН). ЗМВТВММ˚В ‰ВЩУ П‡ˆЛЛ Ф Л‚ВОЛ МВ ЪУО¸НУ Н ФУfl‚ОВМЛ˛ ЪВПМ˚ı ЪУ˜ВН М‡ ЛБУ· ‡КВМЛЛ ЛБ-Б‡ ФУfl‚ОВМЛfl ˆВМЪ У‚ ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ В- НУП·ЛМ‡ˆЛЛ, Т‚flБ‡ММ˚ı ТУ ТЪ ЫНЪЫ М˚ПЛ ‰ВЩВНЪ‡- ПЛ, МУ Л Н У· ‡БУ‚‡МЛ˛ МУ‚˚ı ЛБОЫ˜‡ЪВО¸М˚ı ˆВМЪ У‚ Н ‡ТМУИ О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ, ФУ-‚Л‰ЛПУПЫ Т‚flБ‡ММ˚ı Т ФВ В ‡ТФ В‰ВОВМЛВП ‚ ‰ВЩУ П‡ˆЛУММУП ФУОВ ‡ЪУПУ‚ Ф ЛПВТВИ.

мТФВıЛ ПВЪУ‰У‚ ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸МУ„У ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl Ф Л‚ВОЛ Н ТУБ‰‡МЛ˛ ТФВˆЛ‡О¸М˚ı ‚˚ТУНУТУ‚В - ¯ВММ˚ı „ВЪВ УТЪ ЫНЪЫ , Ъ‡НЛı, Н‡Н ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т

Н‚‡МЪУ‚˚ПЛ flП‡ПЛ, ‚ НУЪУ ˚ı ˜В В‰Ы˛ЪТfl ТОУЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ Т ‡БМУИ ¯Л ЛМУИ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Л „‰В ПУКМУ ТУБ‰‡Ъ¸ ЫТОУ‚Лfl ‰Оfl ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl Н‚‡МЪУ‚У ‡БПВ МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡. 䂇МЪУ‚‡fl flП‡ (ТП. [3–5]) Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ЪУМНЛИ ТОУИ ЫБНУБУММУ„У П‡ЪВ Л‡О‡, ФУПВ˘ВММ˚И ПВК‰Ы ТОУflПЛ ¯Л УНУБУММУ„У П‡ЪВ Л‡О‡, Л fl‚ОflВЪТfl ‰Оfl МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ ‰‚ЫПВ МУИ ТЪ ЫНЪЫ УИ. З ФВ ‚УП Ф Л·ОЛКВМЛЛ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛВ ФУОУКВМЛfl ˝ОВНЪ УМУ‚ ‚ Н‚‡МЪУ‚УИ flПВ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ‡ТТ˜ЛЪ‡М˚ Т ФУПУ˘¸˛ Н‚‡МЪУ‚УИ ПВı‡МЛНЛ. З‡КМ˚ПЛ О˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ Ъ‡НЛı flП fl‚Оfl˛ЪТfl, ‚У- ФВ ‚˚ı, ТЛО¸М‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ˝МВ „ЛЛ ˝ПЛЪЛ ЫВПУ- „У ЩУЪУМ‡ УЪ ЪУО˘ЛМ˚ ТОУfl flП˚. а ‚У-‚ЪУ ˚ı, ФУТНУО¸НЫ ‚ ТОУВ flП˚ Ы‰В КЛ‚‡˛ЪТfl Н‡Н ˝ОВНЪ УМ˚, Ъ‡Н Л ‰˚ НЛ, Ъ‡П ЩУ ПЛ Ы˛ЪТfl ˝НТЛЪУМ˚ Т ТЛО¸МУИ Т‚flБ¸˛, ‡ Ъ‡Н Н‡Н ˝НТЛЪУМ˚ ЛПВ˛Ъ ЪВМ‰ВМˆЛ˛ В- НУП·ЛМЛ У‚‡Ъ¸ ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУ, ЪУ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ ‚ ТОУВ flП˚ ‚ВОЛН‡ ‚ФОУЪ¸ ‰У НУПМ‡ЪМ˚ı ЪВПФВ ‡ЪЫ . з‡ТНУО¸НУ ‚˚ТУ- Н‡ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪ¸ ЛБОЫ˜ВМЛfl Н ЛБПВМВМЛ˛ ЪУО- ˘ЛМ˚ ТОУfl flП˚, „У‚У ЛЪ ЪУЪ Щ‡НЪ, ˜ЪУ ЛБПВМВМЛВ ЪУО˘ЛМ˚ ТОУfl М‡ ‚˚ТУЪЫ ОЛ¯¸ У‰МУ„У ПУМУТОУfl ТПВ˘‡ВЪ ФУОУКВМЛВ ˝НТЛЪУММУ„У ФЛН‡ М‡ МВТНУО¸- НУ М‡МУПВЪ У‚, ˜ЪУ ОВ„НУ ФУ‰‰‡ВЪТfl ЛБПВ ВМЛ˛. иУ˝ЪУПЫ (ТП., М‡Ф ЛПВ , [1]) Ф В‰ОУКВМУ ЛТФУО¸БУ- ‚‡Ъ¸ ˝НТЛЪУМ ‚ Н‚‡МЪУ‚УИ flПВ ‰Оfl НУМЪ УОfl М‡ Ы¯В- МЛfl „ ‡МЛˆ ТОУfl flП˚. н‡НЛП У· ‡БУП, ФУОЫ˜‡fl ЛБУ-

1 3

d < 10ÌÏ

ùÌÂ „Ëfl

é‰ËÌ

ПУМУТОУИ

GaAs

êËÒ. 4. и ЛМˆЛФ дг-УЪУ· ‡КВМЛfl УТЪ У‚НУ‚УИ Ф Л У‰˚ „ ‡МЛˆ ‡Б‰ВО‡ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т У‰ЛМУ˜МУИ Н‚‡МЪУ‚УИ flПУИ, ЛПВ˛˘ВИ М‡ Н‡К‰УИ „ ‡МЛˆВ‡Б‰ВО‡ УТЪ У‚НЛ ПУМУ‡ЪУПМУИ ‚˚ТУЪ˚ (‡), · – дг-ТФВНЪ Т Ъ ВПfl ФЛН‡ПЛ, ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ЛПЛ Ъ ВП ‡БОЛ˜М˚П БМ‡˜ВМЛflП ЪУО˘ЛМ˚ ТОУfl flП˚, ‚ –ВО¸ВЩ МЛКМВИ ˜‡ТЪЛ „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ [1]

· ‡КВМЛfl ‚ ПУМУı УП‡ЪЛ˜ВТНУИ дг, М‡ „ ‡МЛˆ‡ı‡Б‰ВО‡ Ы‰‡ОУТ¸ У·М‡ ЫКЛЪ¸ „Л„‡МЪТНЛВ (‚ МВТНУО¸- НУ М‡МУПВЪ У‚) УТЪ У‚НЛ УТЪ‡ ЪУО˘ЛМУИ ‚ У‰ЛМ ПУМУТОУИ ( ЛТ. 4).

ICl, ÓÚÌ. ‰.

0,8

0,4

0

0,8

0,4

0

‚

×675

0,8

0,4

0

0,8

0,4

êËÒ. 5. лФВНЪ ˚ дг Ф Л 80 д У· ‡Бˆ‡ CdTe : In, ЛПФО‡МЪЛ У‚‡ММУ„У ЛУМ‡ПЛ Xe+ Ò ˝Ì „ËÂÈ 100 Í˝Ç

ËТЪ ‡‚ОВММУ„У М‡ „ОЫ·ЛМЫ 140 МП, Ф Л ‡БОЛ˜- М˚ı ЫТНУ fl˛˘Лı М‡Ф flКВМЛflı: 20 (‡), 7,368 (·), 2,714 (‚) Ë 1 ÍÇ („). ЙОЫ·ЛМ‡ Ф УМЛНМУ‚ВМЛfl ˝ОВН- Ъ УМУ‚ ТУТЪ‡‚ОflВЪ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ 1,44; 0,25; 0,044

Ë0,0078 ÏÍÏ

З дгВКЛПВ, ПВМflfl ЫТНУ fl˛˘ВВ М‡Ф flКВМЛВ Л М‡·О˛‰‡fl ТФВНЪ ˚, ПУКМУ В‡ОЛБУ‚‡Ъ¸ ЫМЛН‡О¸МЫ˛ ‚УБПУКМУТЪ¸ ПВЪУ‰‡ Л ФУОЫ˜‡Ъ¸ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У· У·˙ВНЪВ ‚ Ъ ВЪ¸ВП ЛБПВ ВМЛЛ. йМ‡ МВБ‡ПВМЛП‡ Ф Л ЛБЫ˜ВМЛЛ ЛУММУ-ЛПФО‡МЪЛ У‚‡ММ˚ı У·˙ВНЪУ‚, Ъ‡Н Н‡Н „ОЫ·ЛМ‡ Ф УМЛНМУ‚ВМЛfl ‚ У·˙ВНЪ 1–20-Н˝З ˝ОВН- Ъ УМУ‚ Т ‡‚МЛП‡ Т „ОЫ·ЛМУИ Ф УМЛНМУ‚ВМЛfl 50– 200-Н˝З ЛУМУ‚, У·˚˜МУ ЛТФУО¸БЫВП˚ı ‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚УИ ЪВıМУОУ„ЛЛ. аТТОВ‰У‚‡МЛfl ( ЛТ. 5) ФУ‰Ъ‚В ‰ЛОЛ ‚ЪУ Л˜М˚И ˝ЩЩВНЪ ‚·Л‚‡МЛfl ЛПФО‡М- ЪЛ У‚‡ММ˚ı ‡ЪУПУ‚, ФУТНУО¸НЫ ФУОУТ‡ О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ Т ˝МВ „ЛВИ 1,2 ˝З М‡ ‚˚Б‚‡ММ˚ı ЛПЛ ‰ВЩВНЪ‡ı М‡·О˛‰‡О‡Т¸ Т „ОЫ·ЛМ М‡ МВТНУО¸НУ ТУЪ М‡МУПВЪ У‚ ·УО¸¯В Ф УВНˆЛЛ Ф У·В„‡ ЛПФО‡МЪЛ У‚‡ММ˚ı ЛУМУ‚ М‡ МУ П‡О¸ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ (110 МП).

бДдгыуЦзаЦ

и В‰ТЪ‡‚ОВММ˚И П‡ЪВ Л‡О МВ Ф ВЪВМ‰ЫВЪ М‡ ФУОМУЪЫ УТ‚В˘ВМЛfl ‚ТВı ‡ТФВНЪУ‚ дг-ПЛН УТНУФЛЛ Л дг ‚УУ·˘В Н‡Н fl‚ОВМЛЛ. зВ У·ТЫК‰ВМ˚ ‚УФ УТ˚ У· ‡ ЪВЩ‡НЪ‡ı. н‡НКВ П˚ УФЫТЪЛОЛ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ дг-ПВЪУ‰ЛНЛ ‰Оfl ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl „ВУОУ„Л˜ВТНЛı Л ·ЛУОУ„Л˜ВТНЛı У·˙ВНЪУ‚ ЛБ-Б‡ ТФВˆЛЩЛ˜ВТНЛı ПВЪУ‰ЛН Ф ВФ‡ Л У‚‡МЛfl У· ‡БˆУ‚.

д ·ОЛК‡И¯ЛП ФВ ТФВНЪЛ‚‡П ТОВ‰ЫВЪ УЪМВТЪЛ ФВ-ВıУ‰ УЪ Н‡˜ВТЪ‚ВММ˚ı ПВЪУ‰У‚ Н НУОЛ˜ВТЪ‚ВММ˚П, ˜ЪУ ФУБ‚УОЛОУ ·˚, Ы˜ЛЪ˚‚‡fl ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ·УОВВ ‚˚- ТУНЫ˛ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪ¸ дг-‡М‡ОЛБ‡ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛

Т ВМЪ„ВМУТФВНЪ ‡О¸М˚П, НУМЪ УОЛ У‚‡Ъ¸ В‡О¸МУ ЛТФУО¸БЫВП˚В НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОВ„Л Ы˛˘Лı Ф ЛПВТВИ ‚ fl‰В ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚, ‡ Ъ‡НКВ ‡Т¯Л ВМЛВ ТФВНЪ ‡О¸МУ„У ‰Л‡Ф‡БУМ‡.

ганЦкДнмкД

1.èÂÚ Ó‚ Ç.à. // ìÒÔÂıË ÙËÁ. ̇ÛÍ. 1996. í. 166. ë. 859–871.

2.ëÔË‚‡Í É.Ç. Ë ‰ . // í‡Ï ÊÂ. 1974. T. 113. ë. 695–699.

3.ÑÂÏËıÓ‚ÒÍËÈ Ç.ü. // ëÓ ÓÒÓ‚ÒÍËÈ é· ‡ÁÓ‚‡ÚÂθÌ˚È ÜÛ Ì‡Î. 1997. ‹ 5. ë. 80–86.

4.òËÍ А.ü. // í‡Ï ÊÂ. ë. 87–92.

5.ЕУ ЛТВМНУ З.Ц. // í‡Ï ÊÂ. ë. 100–104.

* * *

ЗЛНЪУ а‚‡МУ‚Л˜ иВЪ У‚, ‰УНЪУ ЩЛБЛНУ-П‡ЪВ- П‡ЪЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, ‰УˆВМЪ Н‡ЩВ‰ ˚ ЩЛБЛ˜ВТНУИ ˝ОВН- Ъ УМЛНЛ ЩЛБЛ˜ВТНУ„У Щ‡НЫО¸ЪВЪ‡ еУТНУ‚ТНУ„У „УТЫ- ‰‡ ТЪ‚ВММУ„У ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ‡ ЛП. е.З. гУПУМУТУ‚‡, О‡Ы В‡Ъ гУПУМУТУ‚ТНУИ Ф ВПЛЛ. й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ ВТУ‚: ˝ОВНЪ УММ‡fl ПЛН УТНУФЛfl, ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНЛ, Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛfl. А‚ЪУ ¯ВТЪЛ У·- БУ У‚ ‚ УЪВ˜ВТЪ‚ВММ˚ı Л Б‡ Ы·ВКМ˚ı КЫ М‡О‡ı, ·У- ОВВ 150 М‡Ы˜М˚ı ТЪ‡ЪВИ Л У‰МУ„У УЪН ˚ЪЛfl.