- •Предисловие
- •1. Расчет концентрационных профилей
- •Введение
- •Механизмы диффузии
- •Уравнения диффузии
- •Диффузия из постоянного источника
- •Часто вместо выражения (1.15) используют
- •Диффузия из слоя конечной толщины (из непостоянного источника)
- •Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •Диффузия из “концентрационной ступеньки”
- •1.4. Методы исследования диффузии в полупроводниках
- •1.4.1. Радиоактивные методы
- •1.4.2. Микрозондовые методы
- •1.4.3. Электрические методы
- •1.4.4. Емкостные методы
- •1.5. Последовательность выполнения работы
- •1.5.1. Диффузия из постоянного источника
- •1.5.2. Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •1.5.3.Диффузия из слоя конечной толщины
- •1.5.4.Диффузия из «концентрационной ступеньки»
- •2. Расчет основных параметров легированного полупроводника
- •2.1. Закон действующих масс
- •2.2.Уровень Ферми
- •2.4. Последовательность выполнения работы
- •2.4.1. Необходимо определить
- •2.4.2. Пример расчета
- •3. Расчет основных параметров и характеристик p-n-перехода
- •3.1. Эффект поля
- •3.2. Концентрация электронов и дырок в области пространственного заряда
- •3.3. Образование и зонная диаграмма р-n перехода
- •Распределение свободных носителей в p‑n переходе
- •Поле и потенциал в p‑n переходе
- •Вольт‑амперная характеристика р‑n-перехода
- •Емкость p‑n перехода
- •3.8. Последовательность выполнения работы
Механизмы диффузии
Величины, входящие в уравнения диффузии, приобретают конкретное физическое содержание в том случае, если известен механизм диффузии или, по крайней мере, о нем высказаны какие-либо предположения.
Возможные механизмы диффузии (рис. 1.1):
Простой обмен.
Циклический обмен.
Вакансионный.
Простой междоузельный.
Междоузельный механизм вытеснения.
Краудионный.
Рис. 1.1. Механизмы диффузии
Обменный механизм (1) заключается в том, что два соседних атома меняются местами. Очевидно, что вероятность такого обмена в плотно упакованной решетке очень мала по сравнению с вероятностью перемещения, в котором участвует только один атом (3). Циклический (или кольцевой) обменный механизм (2) имеет несколько большую вероятность в кристалле, чем простой обменный (1).
При движении по механизму вытеснения (5) атом попадает в междоузлие, затем выталкивает ближайшего соседа из узла, становится на его место, вытесненный атом выталкивает следующего соседа и т.д. При движении по этому механизму в отличие от обычного междоузленного (4) в элементарном акте участвует не дин, а два атома. После каждого элементарного акта в междоузлии оказывается новый атом. Искажения решетки при таком перемещении и, следовательно, энергия активации диффузии существенно меньше, чем при движении непосредственно по междоузлиям одного и того же атома.
Краудион (от английского crowdion – скопление, толпа) – это группа атомов, сжатая (обычно вдоль направления плотной упаковки) за счет наличия в ряду лишнего атома (6). Диффузия происходит благодаря небольшим смещениям каждого атома ряда вдоль этого направления. Таким образом, перемещение при краудионном механизме диффузии сродни распространению волны: каждый атом смещается мало, а возмущение распространяется быстро. Естественно, что этот процесс имеет сравнительно низкую энергию активации. Краудионный механизм играет заметную роль при отжиге радиационных дефектов, а также при переносе вещества под действием напряжений, создающих локальную деформацию кристалла.
Уравнения диффузии
При свободной диффузии и наличии внешних движущих сил основное диффузионное уравнение в общем виде имеет следующий вид (первый закон Фика для стационарного потока):
(1.1)
, (1.2)
где J, и v – векторы потока, градиента концентрации и средней скорости дрейфа диффундирующих частиц; в общем случае диффузия анизотропна и коэффициент диффузии D – тензор второго ранга, определяемый как
. (1.3)
Используя трехмерное уравнение непрерывности
, (1.4)
из выражений (1.1) и (1.2) получаем
, (1.5)
. (1.6)
Уравнения (1.5) и (1.6) применимы для анизотропных тел. Для одномерной диффузии, а также для изотропных тел, в которых компоненты тензора коэффициента диффузии равны между собой, уравнения (1.5) и (1.6) принимают вид:
, (1.7)
. (1.8)
Коэффициент диффузии связан с длиной скачка и средней частотой прыжка соотношением
, (1.9)
где - геометрический фактор, зависящий от типа структуры. Частота прыжка определяется выражением
, (1.10)
где - частота собственных колебаний атомов; S и W – энтропия активации и энтальпия (энергия активации) соответственно, связанные со свободной энергией Гиббса соотношением . Подстановка выражения (1.10) в (1.9) дает
. (1.11)
Если элементарный акт диффузионного скачка требует наличия термически активированных дефектов (при диффузии как по вакансиям, так и по междоузлиям), то свободная энергия Гиббса равна сумме членов, связанных с образованием и движением дефектов:
. (1.12)
В случае независимости коэффициента диффузии от концентрации мигрирующих частиц применение уравнения непрерывности позволяет перейти ко второму уравнению Фика для одномерной диффузии в дифференциальной форме, устанавливающему связь между концентрацией диффундирующих атомов в различных точках тела и времени диффузии:
(1.13)
Решение уравнения (1.13) принимает различный вид в зависимости от начальных и граничных условий. Ниже кратко рассмотрим решения этого уравнения для наиболее часто встречающихся на практике случаев диффузии в полуограниченное твердое тело.