Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Kashkarov-2

© 䇯͇ӂ è.ä., 2001

UNUSUAL PROPERTIES

OF POROUS SILICON

P. K. KASHKAROV

Unusual properties of porous silicon layers grown on the substrate of single crystal Si in an electrochemical process are discussed. Special attention is paid to the five order magnitude increase in photoluminescence quantum effectiveness in this material in comparison with the substrate. The observed effect is caused both by a quantum confinement in silicon skeleton structures and a passivation of most defects on the surface of these structures. Attempts at construction of light emission devices based on porous silicon are considered.

й·ТЫК‰‡˛ЪТfl Ы‰Л‚ЛЪВО¸М˚В Т‚УИТЪ‚‡ ТОУ- В‚ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, ТЩУ ПЛ У‚‡ММ˚ı М‡ ФУ‰ОУКН‡ı ЛБ ПУМУН ЛТЪ‡ОО‡ Si ‚ ˝ОВНЪ У- ıЛПЛ˜ВТНУП Ф УˆВТТВ. йТУ·УВ ‚МЛП‡МЛВ Ы‰В- ОflВЪТfl УТЪЫ М‡ ФflЪ¸ ФУ fl‰НУ‚ ‚ВОЛ˜ЛМ˚ Н‚‡МЪУ‚У„У ‚˚ıУ‰‡ ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ ‚ Ъ‡НУП П‡ЪВ Л‡ОВ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т ЛТıУ‰МУИ ФУ‰ОУКНУИ. з‡·О˛‰‡ВП˚И ˝ЩЩВНЪ Т‚flБ‡М Т Ф Уfl‚ОВМЛВП Н‚‡МЪУ‚У„У ‡БПВ МУ„У У„ ‡- МЛ˜ВМЛfl ‚ ТЪ ЫНЪЫ ‡ı Н ВПМЛВ‚У„У ТНВОВ- Ъ‡ Л Т Ф‡ТТЛ‚‡ˆЛВИ ФУ‰‡‚Оfl˛˘В„У ˜ЛТО‡ ‰В- ЩВНЪУ‚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ˝ЪЛı ТЪ ЫНЪЫ . к‡ТТПУЪ ВМ˚ ФУФ˚ЪНЛ ТУБ‰‡МЛfl Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘Лı ЫТЪ УИТЪ‚ ‚Л‰ЛПУ„У ‰Л‡Ф‡БУМ‡ Т

ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl. www.issep.rssi.ru

ЗЗЦСЦзаЦ

пЛПЛ˜ВТНЛИ ˝ОВПВМЪ Н ВПМЛИ Si ‚ЪУ УИ ФУТОВ НЛТОУ-У‰‡ ФУ ‡ТФ УТЪ ‡МВММУТЪЛ М‡ бВПОВ. Ц„У ТУ‰В К‡МЛВ ‚ БВПМУИ НУ В УˆВМЛ‚‡ВЪТfl ‚ 27,6 П‡Т. %. З‡КМВИ¯ВВ ‰УТЪУЛМТЪ‚У Н ВПМЛfl Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ЪУП, ˜ЪУ ‚У ПМУ„Лı В„У ‡БМУ‚Л‰МУТЪflı – ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ, ФУОЛН Л- ТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ЛОЛ ‡ПУ ЩМУИ – Ф Уfl‚Оfl˛ЪТfl В„У ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНУ‚˚В Т‚УИТЪ‚‡. З М‡ТЪУfl˘ВВ ‚ ВПfl ПУМУ- Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛИ Н ВПМЛИ (Т-Si) Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ УТМУ‚МУИ П‡ЪВ Л‡О ПЛН У˝ОВНЪ УММУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ. з‡ ·‡БВ Т-Si ‚˚ФЫТН‡˛ЪТfl ‡БМУУ· ‡БМ˚В ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В Ф Л·У ˚ УЪ ‰ЛТН ВЪМ˚ı ‰ЛУ‰У‚ Л Ъ ‡МБЛТЪУ У‚ ‰У Т‚В ıТОУКМ˚ı ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП Л Ф УˆВТТУ У‚.

д УПВ ЪУ„У, ¯Л УНУ ЛТФУО¸БЫВЪТfl ‚˚ТУН‡fl ЩУЪУ- ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪ¸ Н ВПМЛfl (ЛБПВМВМЛВ ˝ОВНЪ УФ У‚У‰- МУТЪЛ Ф Л УТ‚В˘ВМЛЛ), ˜ЪУ ФУБ‚УОflВЪ Ф ВУ· ‡БУ‚˚‚‡Ъ¸ Т‚ВЪУ‚Ы˛ ˝МВ „Л˛ ‚ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЫ˛. щЪУЪ ˝ЩЩВНЪ М‡ıУ- ‰ЛЪ Ф ЛПВМВМЛВ ‚ Н ВПМЛВ‚˚ı ЩУЪУФ ЛВПМЛН‡ı Л ТУОМВ˜М˚ı ·‡Ъ‡ Вflı. й‰М‡НУ У· ‡ЪМ˚И Ф УˆВТТ, ЪУ ВТЪ¸ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУВ Ф ВУ· ‡БУ‚‡МЛВ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ˝МВ „ЛЛ ‚ ‚Л‰ЛП˚И Т‚ВЪ, ‚ Н ВПМЛВ‚˚ı ЫТЪ УИТЪ‚‡ı УТЫ˘ВТЪ‚ЛЪ¸ ФУН‡ МВ Ы‰‡ВЪТfl. иУТОВ‰МВВ Т‚flБ‡МУ Т УТУ- ·ВММУТЪflПЛ ˝ОВНЪ УММ˚ı Т‚УИТЪ‚ Н ВПМЛfl.

иУflТМЛП ˝ЪУ М‡ УТМУ‚В ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНУИ ‰Л‡„ ‡ПП˚, ЪУ ВТЪ¸ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ ˝МВ „ЛЛ ˝ОВНЪ УМ‡ ‚ Н ЛТЪ‡ООВ УЪ В„У Н‚‡БЛЛПФЫО¸Т‡ [1]. СОfl Т-Si ЫН‡Б‡ММ‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ıУ У¯У ЛБ‚ВТЪМ‡ Л Ф В‰ТЪ‡‚ОВМ‡ М‡ ЛТ. 1. З ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡ı ‚ВЪ‚Л ‡Б В¯ВММ˚ı ТУТЪУflМЛИ – БУМ‡ Ф У‚У- ‰ЛПУТЪЛ Ec(P) Л ‚‡ОВМЪМ‡fl БУМ‡ Ev(P) – ‡Б‰ВОВМ˚ Б‡- Ф В˘ВММУИ БУМУИ Eg0 (Eg0 ≈ 1,1 ˝З). аБОЫ˜ВМЛВ Н‚‡МЪУ‚ Т‚ВЪ‡ ‚ ·ВБ‰ВЩВНЪМУП Н ЛТЪ‡ООВ Si Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В Ф УЛТıУ‰ЛЪ Ф Л ФВ ВıУ‰‡ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Т Ы У‚- МВИ ‚ВЪ‚Л Ec(P) ̇ Û Ó‚ÌË ‚ÂÚ‚Ë Ev(P). З МВ‚˚ УК‰ВММУП П‡ЪВ Л‡ОВ Б‡ФУОМВММ˚ПЛ УН‡Б˚‚‡˛ЪТfl ТУТЪУflМЛfl

Û‰М‡ БУМ˚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Ec (ÚӘ͇ 1), ‡ ‚‡Í‡ÌÚÌ˚ÏË –

ÛФУЪУОН‡ ‚‡ОВМЪМУИ БУМ˚ Öv (ÚӘ͇ 2) – ËÒ. 1.

и Л ‡ТТП‡Ъ Л‚‡ВПУП ФВ ВıУ‰В ‰УОКМ˚ ‚˚ФУОМflЪ¸Тfl Б‡НУМ˚ ТУı ‡МВМЛfl ˝МВ „ЛЛ Л Н‚‡БЛЛПФЫО¸Т‡:

Ec1 − Ev2 = Eph ,

Pc1 –Pv2 = Pph ,

„‰Â Eph Ë Pph – ˝МВ „Лfl Л Н‚‡БЛЛПФЫО¸Т ЩУЪУМ‡, Ф Л˜ВП ФУТНУО¸НЫ Pph ! Pc1 , ЪУ ПУКМУ Т˜ЛЪ‡Ъ¸ Pph ≈ 0.

д ВПМЛИ fl‚ОflВЪТfl МВФ flПУБУММ˚П ФУОЫФ У‚У‰- МЛНУП, ЪУ ВТЪ¸ ‡·ТУО˛ЪМ˚И ПЛМЛПЫП Т-БУМ˚ ТПВ˘ВМ УЪМУТЛЪВО¸МУ ‡·ТУО˛ЪМУ„У П‡НТЛПЫП‡ v-БУМ˚ ФУ „У Л- БУМЪ‡О¸МУИ УТЛ. лОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ, Ф Л ФВ ВıУ‰В 1 2 ТУı ‡МВМЛВ Н‚‡БЛЛПФЫО¸Т‡ МВ‚УБПУКМУ Л ФВ ВıУ‰ ·Ы- ‰ВЪ Б‡Ф В˘ВММ˚П. кВ‡ОЛБУ‚‡Ъ¸ Ъ‡НУИ Ф УˆВТТ ‚ МВФ fl- ПУБУММ˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı ПУКМУ ОЛ¯¸ Ф Л Ы˜‡ТЪЛЛ Ъ ВЪ¸ВИ ˜‡ТЪЛˆ˚ – ЩУМУМ‡, ˜ЪУ ТМЛК‡ВЪ ‚В УflЪМУТЪ¸ ФВ ВıУ‰‡ М‡ ‰‚‡ ФУ fl‰Н‡ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ ТУ ТОЫ˜‡ВП Ф fl- ПУБУММ˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ (М‡Ф ЛПВ , GaAs). З ЛЪУ„В Н‚‡М- ЪУ‚‡fl ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ η ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ (ог) – ˝ПЛТТЛЛ Т‚ВЪ‡ ФУ‰ ‰ВИТЪ‚ЛВП УФЪЛ˜ВТНУ„У ‚УБ·ЫК‰В- МЛfl – ‚ c-Si Ф Л МВ У˜ВМ¸ ‚˚ТУНЛı Ы У‚Мflı ‚УБ·ЫК‰В- МЛfl ТУТЪ‡‚ОflВЪ ‚ТВ„У 10−4 %. лОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ, ЛБОЫ˜‡ВЪТfl У‰ЛМ ЩУЪУМ М‡ ПЛООЛУМ ФУ„ОУ˘ВММ˚ı ‚ Si ‚УБ·ЫК‰‡˛- ˘Лı ЩУЪУМУ‚, Ф Л˜ВП ог, Н‡Н Ф ‡‚ЛОУ, М‡·О˛‰‡˛Ъ Ф Л МЛБНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı (T = 4–80 K). ùÌ „Ëfl ËÁÎÛ- ˜‡ÂÏ˚ı Í‚‡ÌÚÓ‚ ·ÎËÁ͇ Í Eg0 Л Ф ЛıУ‰ЛЪТfl М‡ ·ОЛКМЛИ ЛМЩ ‡Н ‡ТМ˚И ‰Л‡Ф‡БУМ.

щОВНЪ УММ˚В Т‚УИТЪ‚‡ Н ВПМЛfl ПУКМУ ЛБПВМЛЪ¸ ФУТ В‰ТЪ‚УП ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl М‡ В„У УТМУ‚В М‡МУТЪ ЫНЪЫ – Ф УТЪ ‡МТЪ‚ВММУ ‡Б‰ВОВММ˚ı Н ВПМЛВ‚˚ı Ы˜‡ТЪНУ‚ Т ПЛМЛП‡О¸М˚ПЛ ‡БПВ ‡ПЛ ‚ МВТНУО¸НУ М‡МУПВЪ-У‚ (1 МП = 10−9 П). З ˝ЪУП ТОЫ˜‡В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ (˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ) Ф ЛУ· ВЪ‡˛Ъ ‰УФУОМЛЪВО¸МЫ˛ ˝МВ „Л˛ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ Н‚‡МЪУ‚У„У ‡БПВ МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡. мН‡Б‡ММ˚И ˝ЩЩВНЪ ФУ‰ У·МУ УФЛТ‡М ‚ ТЪ‡Ъ¸flı [1–4], УФЫ·ОЛНУ‚‡ММ˚ı ‚ “лУ УТУ‚ТНУП й· ‡БУ‚‡ЪВО¸МУП ЬЫ -

Л Б‡НУМ ТУı ‡МВМЛfl Н‚‡БЛЛПФЫО¸Т‡ ЫКВ МВ fl‚ОflВЪТfl ТЪ У„ЛП. щЪЛ Ф Л˜ЛМ˚ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ФУ‚˚¯‡˛Ъ ‚В УflЪМУТЪ¸ УФЪЛ˜ВТНЛı ФВ ВıУ‰У‚ Л У·ЫТОУ‚ОЛ‚‡˛Ъ ТПВ˘В- МЛВ ТФВНЪ ‡ ог ‚ ‚Л‰ЛПЫ˛ У·О‡ТЪ¸.

й·˚˜МУ ЪВıМУОУ„Лfl ТУБ‰‡МЛfl М‡МУТЪ ЫНЪЫ ‚ ‚Л‰В Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚ı Н‚‡МЪУ‚˚ı flП, МЛЪВИ Л ЪУ˜ВН (ЪУМНЛı ТОУВ‚, Ф У‚УОУН, ПВО¸˜‡И¯Лı Н ЛТЪ‡ООУ‚, ‚МВ‰ ВММ˚ı ‚ ‰ Ы„УВ ‚В˘ВТЪ‚У) ‰У‚УО¸МУ ТОУКМ‡. д УПВ ЪУ„У, ФУОЫ˜ВММ˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУН‡ МВ ФУБ‚УОfl˛Ъ „У‚У ЛЪ¸ У Ф ‡НЪЛ˜ВТНУП ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ ФУ‰У·М˚ı Н ВПМЛВ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ ‚ Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘Лı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ЫТЪ-УИТЪ‚‡ı. й‰М‡НУ В˘В ‚ 1956 „У‰Ы А. мОЛ УП (A. Uhlir) ·˚О ФУОЫ˜ВМ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚И ФУ ЛТЪ˚И Н ВПМЛИ. щЪУЪ П‡ЪВ Л‡О Ф В‰ТЪ‡‚ОflО ТУ·УИ ПУМУН ЛТЪ‡ОО c-Si, ‚ НУЪУ-УП ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ ˝ОВНЪ УıЛПЛ˜ВТНУ„У Ъ ‡‚ОВМЛfl У· ‡БУ- ‚‡ОУТ¸ У„ УПМУВ НУОЛ˜ВТЪ‚У ПВО¸˜‡И¯Лı ФУ . иОУЪМУТЪ¸ ФУ ‚ МВНУЪУ ˚ı У· ‡Бˆ‡ı ·˚О‡ ТЪУО¸ ·УО¸¯УИ, ˜ЪУ Ф УЛТıУ‰ЛОУ Лı ФВ ВН ˚ЪЛВ, Л МВФ УЪ ‡‚ОВММ˚В Ы˜‡ТЪНЛ Н ВПМЛfl ЛПВОЛ ‚Л‰ НУ ‡ООУФУ‰У·МУИ ТЛТЪВП˚ МЛЪВИ ФВ ВПВММУ„У ТВ˜ВМЛfl ( ЛТ. 2). еЛМЛП‡О¸М˚В ‡Б- ПВ ˚ ТВ˜ВМЛfl Н ВПМЛВ‚˚ı МЛЪВИ Л Лı ЛБУОЛ У‚‡ММ˚ı Ы˜‡ТЪНУ‚ (НО‡ТЪВ У‚) ‚ ФУ ЛТЪУП ТОУВ ТУТЪ‡‚Оfl˛Ъ, ФУ ‰‡ММ˚П ˝ОВНЪ УММУИ ПЛН УТНУФЛЛ, В‰ЛМЛˆ˚ М‡МУПВ- Ъ У‚. иУ ЛТЪ˚И Н ВПМЛИ У·˚˜МУ ЩУ ПЛ ЫВЪТfl Н‡Н ТОУИ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ФО‡ТЪЛМ˚ c-Si, ˜ЪУ У˜ВМ¸ ‚‡КМУ ‰Оfl ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ.

З НУМˆВ 1990 „У‰‡ ‚ М‡ЫНВ У ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ı Ф У- ЛБУ¯О‡ М‡ТЪУfl˘‡fl ТВМТ‡ˆЛfl. СУНЪУ г. д˝Мı˝П (L. Canham) ЛБ ЗВОЛНУ· ЛЪ‡МЛЛ ТУУ·˘ЛО У М‡·О˛‰ВМЛЛ ˝Щ- ЩВНЪЛ‚МУИ Н ‡ТМУ-У ‡МКВ‚УИ ог ЛБ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В; ‚ВОЛ˜ЛМ‡ η ТУТЪ‡‚ОflО‡

䂇ÌÚÓ‚˚ ÌËÚË

c-Si

êËÒ. 2. 䂇ÌÚÓ‚˚ ÌËÚË ÔÓ ËÒÚÓ„Ó Í ÂÏÌËfl

1–10%. и ‡НЪЛ˜ВТНЛ У‰МУ‚ ВПВММУ У ТıУ‰М˚ı ВБЫО¸- Ъ‡Ъ‡ı ЛМЩУ ПЛ У‚‡О‡ „ ЫФФ‡ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОВИ ЛБ о ‡М- ˆЛЛ. А‚ЪУ ˚ ˝ЪЛı ‡·УЪ Ф flПУ Т‚flБ˚‚‡ОЛ М‡·О˛‰‡ВПЫ˛ О˛ПЛМВТˆВМˆЛ˛ Т Н‚‡МЪУ‚˚П ‡БПВ М˚П ˝ЩЩВНЪУП ‚ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ‡ı ФУ ЛТЪУ„У ТОУfl. кВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ Б‡ЛМЪВ В- ТУ‚‡ОЛ ТФВˆЛ‡ОЛТЪУ‚, Л ‚ТНУ В ·˚ОУ ФУОЫ˜ВМУ ТУУ·˘В- МЛВ У М‡·О˛‰ВМЛЛ ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ (щг) ‚ ‰‡М- МУП П‡ЪВ Л‡ОВ. и Л щг ЛБОЫ˜ВМЛВ Т‚ВЪ‡ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‚ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Ф УıУК‰ВМЛfl ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ЪУН‡ ‚ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНВ, Ф Л‚У‰fl˘В„У Н ‚УБ·ЫК‰ВМЛ˛ ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН Т ФУТОВ‰Ы˛˘ВИ Лı ВНУП·ЛМ‡ˆЛВИ. дУОЛ˜ВТЪ- ‚У ФЫ·ОЛН‡ˆЛИ ФУ Ф У·ОВПВ О˛ПЛМВТˆЛ Ы˛˘В„У ФУ Л- ТЪУ„У Н ВПМЛfl ТЪ‡ОУ О‡‚ЛМУУ· ‡БМУ ‡ТЪЛ Л ‚ М‡ТЪУfl- ˘ВВ ‚ ВПfl Ф Л·ОЛК‡ВЪТfl Н Ъ˚Тfl˜В ТЪ‡ЪВИ ‚ ‚В‰Ы˘Лı М‡Ы˜М˚ı КЫ М‡О‡ı. ЙО‡‚М˚П ТЪЛПЫОУП ЛМЪВМТЛ‚МУ„У ЛБЫ˜ВМЛfl Т‚УИТЪ‚ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ТЪ‡О‡ ФВ ТФВНЪЛ‚‡ В„У Ф ‡НЪЛ˜ВТНУ„У ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl ‰Оfl ТУБ‰‡МЛfl Н ВПМЛВ‚˚ı Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘Лı ЫТЪ УИТЪ‚. иУТОВ‰МВВ ФУБ‚УОЛОУ ·˚ ТУ‚В ¯ЛЪ¸ Н‡˜ВТЪ‚ВММ˚И ТН‡˜УН ‚ ‡Б‚Л- ЪЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ЪВıМУОУ„ЛЛ.

к‡ТТПУЪ ЛП ФУ‰ У·МВВ ПВЪУ‰ ФУОЫ˜ВМЛfl ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, В„У УТМУ‚М˚В Т‚УИТЪ‚‡, ‡ Ъ‡НКВ Ф В‰ФУО‡„‡В- П˚В ПВı‡МЛБП˚ О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ Л ФВ ТФВНЪЛ‚˚ Ф ‡Н- ЪЛ˜ВТНУ„У ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl ‰‡ММУ„У П‡ЪВ Л‡О‡.

ийгмуЦзаЦ ийкалнйЙй дкЦезаь

àЦЙй йлзйЗзхЦ лЗйвлнЗА

ÇУТМУ‚В ТЪ‡М‰‡ ЪМУ„У ТФУТУ·‡ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ОВКЛЪ Ф УˆВТТ ˝ОВНЪ УıЛПЛ˜ВТНУ„У Ъ ‡‚- ОВМЛfl ФО‡ТЪЛМ c-Si ‚ ‡ÒÚ‚Ó Â Ì‡ ÓÒÌÓ‚Â Ô·‚ËÍÓ‚ÓÈ

НЛТОУЪ˚ HF. и Л ФУОУКЛЪВО¸МУП ФУЪВМˆЛ‡ОВ М‡ Н ВП-

МЛВ‚УП ˝ОВНЪ У‰В (‡МУ‰В) Ф УЪВН‡˛Ъ ПМУ„УТЪЫФВМ˜‡- Ъ˚В В‡НˆЛЛ ‡ТЪ‚У ВМЛfl Л ‚УТТЪ‡МУ‚ОВМЛfl Н ВПМЛfl. ЗЪУ ˚П ˝ОВНЪ У‰УП (Н‡ЪУ‰УП) У·˚˜МУ ТОЫКЛЪ ФО‡ЪЛМУ‚‡fl ФО‡ТЪЛМ‡. и Л ФУ‰ıУ‰fl˘ВП ‚˚·У В ФОУЪМУТЪЛ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ЪУН‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ c-Si Ф УЛТıУ‰ЛЪ ЩУ ПЛ У‚‡МЛВ ФУ ЛТЪУ„У ТОУfl. йЪМУТЛЪВО¸МУ ‰ВЪ‡ОВИ ПВı‡МЛБП‡ ФУ УУ· ‡БУ‚‡МЛfl ‚ ОЛЪВ ‡ЪЫ В ‰У ТЛı ФУ МВЪ В‰ЛМУ„У ПМВМЛfl. й·ТЫК‰ВМЛВ Ф В‰О‡„‡ВП˚ı ПУ‰В- ОВИ ˝ЪУ„У Ф УˆВТТ‡ ПУКМУ М‡ИЪЛ ‚ [5].

мТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ ЪУО˘ЛМ‡ ФОВМНЛ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ОЛМВИМУ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ‚ ВПВМЛ Ъ ‡‚ОВМЛfl Л ПУКВЪ ПВМflЪ¸Тfl УЪ ‰УОВИ ‰У ТУЪВМ ПЛН УПВЪ У‚. лЪ ЫНЪЫ ‡ ФУ ЛТЪУ„У ТОУfl УФ В‰ВОflВЪТfl ФОУЪМУТЪ¸˛ ЪУ- Н‡, НУМˆВМЪ ‡ˆЛВИ HF ‚ ˝ОВНЪ УОЛЪВ Л ı‡ ‡НЪВ УП ОВ- „Л У‚‡МЛfl Н ВПМЛВ‚УИ ФУ‰ОУКНЛ. н‡Н, М‡Ф ЛПВ , ‰Оfl Н ВПМЛfl Т ˝ОВНЪ УММ˚П ЪЛФУП Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ (n-Si) ËÎË ÒËθÌÓ ÎÂ„Ë Ó‚‡ÌÌÓ„Ó ‰˚ Ó˜ÌÓ„Ó Í ÂÏÌËfl ( +-Si) ФУ ˚ ЛПВ˛Ъ ‚Л‰ ФВ ФВМ‰ЛНЫОfl М˚ı ФУ‚В ıМУТЪЛ Н‡М‡- ОУ‚ ‰Л‡ПВЪ УП ‚ ‰ВТflЪНЛ М‡МУПВЪ У‚ Т ·УОВВ ПВОНЛПЛ ·УНУ‚˚ПЛ УЪ‚ВЪ‚ОВМЛflПЛ. СОfl У· ‡БˆУ‚ ТО‡·У ОВ„Л У- ‚‡ММУ„У ‰˚ У˜МУ„У Н ВПМЛfl (p-Si) ËÎË Ô Ë ÓÒ‚Â˘ÂÌËË n-Si ЩУ ПЛ ЫВЪТfl ТЪ ЫНЪЫ ‡ ‚ ‚Л‰В „Ы·НЛ ЛОЛ НУ ‡ОО‡ (ТП. ЛТ. 2). к‡БПВ ˚ ФУ Л МВФ УЪ ‡‚ОВММ˚ı Ы˜‡ТЪНУ‚ Ф Л ˝ЪУП У˜ВМ¸ П‡О˚ Л ТУТЪ‡‚Оfl˛Ъ ‚ТВ„У МВТНУО¸НУ М‡- МУПВЪ У‚.

еМУ„У˜ЛТОВММ˚ПЛ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ПЛ ЫТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ ‚ УТМУ‚МУП ТУı ‡МflВЪТfl ФУ fl- ‰УН ‡ТФУОУКВМЛfl ‡ЪУПУ‚, ЫМ‡ТОВ‰У‚‡ММ˚И УЪ Н ВПМЛ- В‚УИ ФУ‰ОУКНЛ. зВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ ФУТОВ ФУОЫ˜ВМЛfl ФУ- ‚В ıМУТЪ¸ Н ВПМЛВ‚У„У ТНВОВЪ‡ У· ‡БˆУ‚ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ФУН ˚Ъ‡ ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚П ‚ ‡БОЛ˜М˚ı ЩУ - П‡ı ‚У‰У У‰УП. З˚‰В КН‡ М‡ ‚УБ‰ЫıВ, УТУ·ВММУ ТУФ У- ‚УК‰‡˛˘‡flТfl УТ‚В˘ВМЛВП, Ф Л‚У‰ЛЪ Н БМ‡˜ЛЪВО¸МУПЫ УНЛТОВМЛ˛ П‡ЪВ Л‡О‡.

л ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ЪУ˜НЛ Б ВМЛfl П‡ЪВ Л‡О Т ФУ ЛТЪУТЪ¸˛ ·УОВВ 50% ФУОМУТЪ¸˛ У·В‰МВМ МУТЛЪВОflПЛ Б‡ fl- ‰‡ Л ı‡ ‡НЪВ ЛБЫВЪТfl Ы‰ВО¸М˚П ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВП ·УОВВ 107 йП ТП Ф Л БМ‡˜ВМЛЛ ˝ЪУ„У Ф‡ ‡ПВЪ ‡ Ы ФУ‰ОУКНЛ 1–10 йП ТП. м·В‰ЛЪВО¸МУВ У·˙flТМВМЛВ Ъ‡НУИ Ъ ‡МТЩУ П‡ˆЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ ‚ ‰Л˝ОВНЪ ЛН ‚ ОЛЪВ ‡ЪЫ В Н М‡ТЪУfl˘ВПЫ ‚ ВПВМЛ УЪТЫЪТЪ‚ЫВЪ. З˚‰‚Л- „‡˛ЪТfl ‡БОЛ˜М˚В „ЛФУЪВБ˚, ‚ ЪУП ˜ЛТОВ У ТВОВНЪЛ‚МУП ‚˚П˚‚‡МЛЛ ОВ„Л Ы˛˘Лı Ф ЛПВТВИ Ф Л ˝ОВНЪ УıЛПЛ˜В- ТНУП Ф УˆВТТВ ЛОЛ У Ф Уfl‚ОВМЛЛ Н‚‡МЪУ‚У ‡БПВ МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡ ‚ Ы‚ВОЛ˜ВМЛЛ ˝МВ „ЛЛ ЛУМЛБ‡ˆЛЛ Ф ЛПВТМ˚ı ˆВМЪ У‚.

нВФОУФ У‚У‰МУТЪ¸ ‚˚ТУНУФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl М‡ ФУ-fl‰УН МЛКВ, ˜ВП Ы ПУМУН ЛТЪ‡ОО‡ Si. щЪУ МВУ·ıУ‰ЛПУ Ы˜ЛЪ˚‚‡Ъ¸ ‚ УФ˚Ъ‡ı Т ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП ‚˚ТУНУ˝МВ „В- ЪЛ˜МУ„У ‚УБ‰ВИТЪ‚Лfl, М‡Ф ЛПВ ПУ˘М˚ı О‡БВ М˚ı ЛОЛ ˝ОВНЪ УММ˚ı ФЫ˜НУ‚. ЗУБМЛН‡˛˘ЛИ Ф Л ˝ЪУП ТЛО¸М˚И М‡„ В‚ У· ‡Бˆ‡ ПУКВЪ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ФУ‚ОЛflЪ¸ М‡ В„У Т‚УИТЪ‚‡.

йФЪЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Ъ‡НКВ ТЫ- ˘ВТЪ‚ВММУ УЪОЛ˜‡˛ЪТfl УЪ Ъ‡НУ‚˚ı ‰Оfl У·˙ВПМУ„У П‡ЪВ-Л‡О‡. З ˜‡ТЪМУТЪЛ, Н ‡И ТФВНЪ ‡ ФУ„ОУ˘ВМЛfl ФУ ЛТЪУ- „У ТОУfl, УЪ‰ВОВММУ„У УЪ ФУ‰ОУКНЛ, ‚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ УЪ ФУ ЛТЪУТЪЛ ТПВ˘ВМ ‚ ТЪУ УМЫ ·УО¸¯Лı hν УЪМУТЛЪВО¸- МУ Eg0 М‡ 100–500 П˝З. щЪУЪ ВБЫО¸Ъ‡Ъ ‡‚ЪУ ˚ У·˙flТМfl- ˛Ъ Т ФУБЛˆЛИ Н‚‡МЪУ‚У ‡БПВ МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡. н‡Н Н‡Н У· ‡Бˆ˚ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ МВУ‰МУ У‰М˚ ФУ ТВ˜ВМЛ˛ Н‚‡МЪУ‚˚ı МЛЪВИ Л НО‡ТЪВ У‚, ЪУ ЛБПВ flВ- П˚И ТФВНЪ ФУ„ОУ˘ВМЛfl fl‚ОflВЪТfl ЫТ В‰МВММ˚П ФУ ‡Б- ПВ Ы ТУТЪ‡‚Оfl˛˘Лı Н ВПМЛВ‚˚И ТНВОВЪ М‡МУТЪ ЫНЪЫ .

гыеазЦлсЦзсаь ийкалнйЙй дкЦезаь

з‡Л·УОВВ Ы‰Л‚ЛЪВО¸М˚П Т‚УИТЪ‚УП ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl fl‚ОflВЪТfl В„У ТФУТУ·МУТЪ¸ О˛ПЛМВТˆЛ У‚‡Ъ¸ ‚ ‚Л- ‰ЛПУИ У·О‡ТЪЛ ТФВНЪ ‡. ЗВТ¸П‡ ФУ‰ У·МУ ‚ ОЛЪВ ‡ЪЫ В ЛБЫ˜ВМ ТОЫ˜‡И ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ. СОfl ‚УБ·ЫК‰ВМЛfl ог ЛТФУО¸БУ‚‡ОЛТ¸ Н‡Н МВФ В ˚‚М˚В, Ъ‡Н Л ЛПФЫО¸Т- М˚В О‡БВ ˚ ТЛМВ-БВОВМУ„У, ЩЛУОВЪУ‚У„У Л ЫО¸Ъ ‡ЩЛУОВЪУ‚У„У ‰Л‡Ф‡БУМУ‚, Ф Л˜ВП, Б‡ ЛТНО˛˜ВМЛВП ТФВˆЛ‡О¸- М˚ı ˝НТФВ ЛПВМЪУ‚, ˝МВ „Лfl Н‚‡МЪУ‚ ЛБОЫ˜ВМЛfl О‡БВ У‚ Ф В‚˚¯‡О‡ ‚ВОЛ˜ЛМЫ E'g . к‡ТТПУЪ ЛП М‡Л·УОВВ ТЫ˘В- ТЪ‚ВММ˚В Л М‡‰ВКМ˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУ ЛТТОВ‰У‚‡МЛ˛ ог ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ, ФУ‰Ъ‚В К‰ВММ˚В Ы˜ВМ˚ПЛ ЛБ ‡Б- ОЛ˜М˚ı ЛТТОВ‰У‚‡ЪВО¸ТНЛı „ ЫФФ. и Л ˝ЪУП ‰Оfl УФ В‰В- ОВММУТЪЛ У„ ‡МЛ˜ЛПТfl Т‚УИТЪ‚‡ПЛ Т‚ВКВФУОЫ˜ВММ˚ı ТОУВ‚, ФУ‚В ıМУТЪ¸ НУЪУ ˚ı, Н‡Н УЪПВ˜‡ОУТ¸, ФУН ˚Ъ‡ ‚У‰У У‰УП.

мКВ ‚ ФВ ‚˚ı УФ˚Ъ‡ı ‚˚flТМЛОУТ¸, ˜ЪУ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУ О˛ПЛМВТˆЛ Ы˛Ъ У· ‡Бˆ˚ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, ‚ НУЪУ ˚ı ФУ ЛТЪУТЪ¸ Ф В‚˚¯‡ВЪ 50%. йФ В‰ВОВММ˚В Ф В‰ТЪ‡‚ОВМЛfl У· ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф УˆВТТ‡ı, У·ЫТОУ‚ОЛ‚‡˛˘Лı fl‚ОВМЛВ О˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ, ПУКМУ ФУОЫ˜ЛЪ¸ ЛБ ‡М‡ОЛБ‡ Б‡‚Л- ТЛПУТЪЛ ЛМЪВМТЛ‚МУТЪЛ ог I УЪ ‰ОЛМ˚ ‚УОМ˚ ˝ЪУ„У ЛБОЫ˜ВМЛfl λ, ЪУ ВТЪ¸ ЛБ ТФВНЪ ‡ ог I(λ). н‡НЛВ ТФВНЪ ˚ Ф Л‚В‰ВМ˚ М‡ ЛТ. 3. д‡Н Ф ‡‚ЛОУ, ТФВНЪ I(λ) Ф В‰- ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ¯Л УНЫ˛ (Δλ 100–200 МП) ·ВТТЪ ЫНЪЫ МЫ˛ ФУОУТЫ, ФУОУКВМЛВ П‡НТЛПЫП‡ НУЪУ УИ λmax ПУКВЪ ТПВ˘‡Ъ¸Тfl УЪ 750 МП (Н ‡ТМ˚И Т‚ВЪ) ‰У 450 МП („УОЫ·УИ) Ф Л ЛБПВМВМЛЛ ВКЛПУ‚ ˝ОВНЪ УıЛПЛ˜ВТНУИ У· ‡·УЪНЛ. йЪПВЪЛП, ˜ЪУ ‰‡ММ˚В ˝ОВНЪ УММУИ ПЛН У- ТНУФЛЛ Л НУП·ЛМ‡ˆЛУММУ„У ‡ТТВflМЛfl Т‚ВЪ‡ Т‚Л‰ВЪВО¸- ТЪ‚Ы˛Ъ У М‡ОЛ˜ЛЛ НУ ВОflˆЛЛ ПВК‰Ы „УОЫ·˚П Т‰‚Л„УП ТФВНЪ ‡ ог Л ЫПВМ¸¯ВМЛВП ТВ˜ВМЛfl М‡МУТЪ ЫНЪЫ ФУ-ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl.

и‡ ‡ПВЪ ˚ ог ФУ ЛТЪУ„У ТОУfl УН‡Б‡ОЛТ¸ ‚ВТ¸П‡ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸М˚ПЛ Н ЪВ ПУ‚‡НЫЫПМ˚П У· ‡·УЪН‡П Л ЛБПВМВМЛ˛ Т‚УИТЪ‚ Т В‰˚, ‚ НУЪУ УИ М‡ıУ‰ЛЪТfl У· ‡БВˆ. н‡Н, ЛМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ог Ф‡‰‡ВЪ ·УОВВ ˜ВП М‡ ФУ fl‰УН, ВТОЛ Т‚ВКВ‚˚ ‡˘ВММ˚И У· ‡БВˆ Ф У„ В‚‡ВЪТfl ‚ ‚‡НЫЫПВ Ф Л 400°л. и Л ˝ЪУП ‰‡ММ˚В ад-ТФВНЪ УТНУФЛЛ Т‚Л‰ВЪВО¸ТЪ‚Ы˛Ъ У· ЫıУ‰В ‡ЪУПУ‚ ‚У‰У У‰‡ Т ФУ‚В ı- МУТЪЛ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, ‡ ПВЪУ‰УП ˝ОВНЪ УММУ„У Ф‡-

щМВ „Лfl ЩУЪУМУ‚, ˝З 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0

êËÒ. 3. лФВНЪ ˚ ог ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ФУТОВ ФУОЫ- ˜ВМЛfl Л ФУТОВ‰Ы˛˘В„У ıЛПЛ˜ВТНУ„У Ъ ‡‚ОВМЛfl ‚ ФО‡‚ЛНУ‚УИ НЛТОУЪВ. З ВПfl У· ‡·УЪНЛ (‚ ˜‡Т‡ı) 1 (1), 2 (2), 6 (3), Ф Л ˝ЪУП ФУ ЛТЪУТЪ¸ ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ УЪ 70 (Н Л‚‡fl 1) ‰Ó 80% (Í Ë‚‡fl 3)

‡П‡„МЛЪМУ„У ВБУМ‡МТ‡ В„ЛТЪ Л ЫВЪТfl ФУfl‚ОВМЛВ ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ ·УО¸¯У„У ˜ЛТО‡ ‰ВЩВНЪУ‚, Ф В‰- ТЪ‡‚Оfl˛˘Лı У·У ‚‡ММ˚В Т‚flБЛ Н ВПМЛfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ М‡МУТЪ ЫНЪЫ .

д Б‡ПВЪМУПЫ (5–10 ‡Б) „‡¯ВМЛ˛ ог Ф Л‚У‰ЛЪ Ъ‡НКВ Б‡ФУОМВМЛВ ФУ КЛ‰НУТЪflПЛ Т ‚˚ТУНЛП БМ‡˜В- МЛВП ТЪ‡ЪЛ˜ВТНУИ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф УМЛˆ‡ВПУТЪЛ εd (˝Ú‡ÌÓÎ, ÏÂÚ‡ÌÓÎ Ë ‰ .). ùÚÓ ıÓ Ó¯Ó ‚ˉÌÓ ËÁ ‰Ë‡- „ ‡ÏÏ˚ ̇ ËÒ. 4.

з‡ УТМУ‚В Ф Л‚В‰ВММ˚ı ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚ı ‰‡М- М˚ı ПУКМУ ФУТЪ УЛЪ¸ НУОЛ˜ВТЪ‚ВММЫ˛ ПУ‰ВО¸, ФУБ- ‚УОfl˛˘Ы˛ У·˙flТМЛЪ¸ ‚˚ТУНЫ˛ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ ог ‚ Т‚ВКВ‚˚ ‡˘ВММУП ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Л ‚ОЛflМЛВ ‡Б- ОЛ˜М˚ı ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛИ М‡ ВВ Ф‡ ‡ПВЪ ˚ [6]. и В‰ФУО‡„‡- ВЪТfl, ˜ЪУ ЛБОЫ˜ВМЛВ ЩУ ПЛ ЫВЪТfl ‚ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ‡ı (МЛЪflı Л НО‡ТЪВ ‡ı) Н ВПМЛfl, ˝ОВНЪ УММ˚И ТФВНЪ НУЪУ ˚ı ПУ‰ЛЩЛˆЛ У‚‡М Б‡ Т˜ВЪ Н‚‡МЪУ‚У ‡БПВ МУ„У ˝Щ- ЩВНЪ‡. З ФУО¸БЫ ˝ЪУ„У Т‚Л‰ВЪВО¸ТЪ‚ЫВЪ ТПВ˘ВМЛВ Н ‡fl ФУ„ОУ˘ВМЛfl Л ТФВНЪ ‡ ог ‚ ‚Л‰ЛПЫ˛ У·О‡ТЪ¸, ‡ Ъ‡НКВ „УОЫ·УИ Т‰‚Л„ λmax Ф Л ЫПВМ¸¯ВМЛЛ ‡БПВ У‚ М‡МУТЪ-ЫНЪЫ (ТП. ЛТ. 3). З ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ ЛПВВЪТfl УФ В- ‰ВОВММУВ ‡ТФ В‰ВОВМЛВ МЛЪВИ Л НО‡ТЪВ У‚ ФУ ТВ˜ВМЛ˛, Ъ‡Н ˜ЪУ ФУОУТ‡ ог У· ‡БЫВЪТfl ЛБ ‚НО‡‰У‚ Н ЛТЪ‡ООЛЪУ‚‡БОЛ˜М˚ı ‡БПВ У‚. СОfl У·˙flТМВМЛfl М‡·О˛‰‡ВПУИ ¯Л ЛМ˚ ЫН‡Б‡ММУИ ФУОУТ˚ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‰УФЫТЪЛЪ¸ УЪНОУМВМЛВ ТВ˜ВМЛИ М‡МУТЪ ЫНЪЫ УЪ Т В‰МВ„У БМ‡˜ВМЛfl ‚ Ф В‰ВО‡ı 20%.

êËÒ. 4. аМЪВМТЛ‚МУТЪ¸ ог У· ‡Бˆ‡ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, ФУ ˚ НУЪУ У„У Б‡ФУОМВМ˚ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛПЛ КЛ‰НУТЪflПЛ (БВОВМ˚В ТЪУО·ЛНЛ), БМ‡˜ВМЛfl εd ‰Оfl ˝ЪЛı КЛ‰НУТЪВИ (Н ‡ТМ˚В ТЪУО·ЛНЛ)

оУЪУ‚УБ·ЫК‰ВММ˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡ ПУ„ЫЪ ‡ММЛ„Л- ОЛ У‚‡Ъ¸ МВ ЪУО¸НУ Т ЛТФЫТН‡МЛВП ЩУЪУМ‡, МУ Л ·ВБ˚Б- ОЫ˜‡ЪВО¸МУ. и Л ˝ЪУП ‚˚‰ВОfl˛˘‡flТfl ˝МВ „Лfl Л‰ВЪ М‡ М‡„ В‚ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ˚. АМЪЛНУ ВОflˆЛfl ЛМЪВМТЛ‚МУТЪЛ ог Л НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ‰ВЩВНЪУ‚ ЪЛФ‡ У·У ‚‡ММ˚ı Т‚flБВИ (˝НТФВ ЛПВМЪ˚ ФУ ЪВ ПУ‚‡НЫЫПМУИ У· ‡·УЪНВ) ЫН‡Б˚‚‡- ВЪ М‡ ЪУ, ˜ЪУ ЛПВММУ ˝ЪЛ ‰ВЩВНЪ˚ fl‚Оfl˛ЪТfl М‡Л·УОВВ ‚В-УflЪМ˚ПЛ ˆВМЪ ‡ПЛ „‡¯ВМЛfl ог ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ. зВФУТ В‰ТЪ‚ВММУ ФУТОВ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ˜ЛТОУ ˝ЪЛı ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ МВБМ‡˜ЛЪВО¸МУ ( 108 ÒÏ−2). й˜В- ‚Л‰МУ, ‡‰ТУ ·Л У‚‡ММ˚И М‡ У·У ‚‡ММ˚ı Т‚flБflı ‚У‰У У‰ МВИЪ ‡ОЛБЫВЪ Лı Н‡Н ˆВМЪ ˚ ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП·Л- М‡ˆЛЛ. мН‡Б‡ММ‡fl МВИЪ ‡ОЛБ‡ˆЛfl ФУПЛПУ Н‚‡МЪУ‚У„У‡БПВ МУ„У ˝ЩЩВНЪ‡ fl‚ОflВЪТfl УТМУ‚МУИ Ф Л˜ЛМУИ ТЪУО¸ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУИ ог ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ.

и У‡М‡ОЛБЛ ЫВП ФУ‰ У·МВВ, Н‡Н ЛПВММУ Ф УЛТıУ- ‰ЛЪ Ф УˆВТТ ЛБОЫ˜ВМЛfl Т‚ВЪ‡ ЛБ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl. и Л П‡ОУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ У·˙ВПМУП Н ЛТЪ‡ООВ ‚УБПУКМ˚ ‰‚‡ ПВı‡МЛБП‡: Ф flП‡fl ЛБОЫ˜‡ЪВО¸М‡fl В- НУП·ЛМ‡ˆЛfl Т‚У·У‰М˚ı ˝ОВНЪ УМ‡ Л ‰˚ НЛ ЛОЛ ‡ММЛ- „ЛОflˆЛfl ˝НТЛЪУМ‡ – ТЛТЪВП˚ ˝ОВНЪ УМ‡ Л ‰˚ НЛ, Т‚fl- Б‡ММ˚ı НЫОУМУ‚ТНЛП ‚Б‡ЛПУ‰ВИТЪ‚ЛВП. ЗВ УflЪМУТЪ¸ ФУТОВ‰МВ„У Ф УˆВТТ‡ М‡ ФУ fl‰УН ‚˚¯В ‚В УflЪМУТЪЛ БУ- М‡-БУММУИ ВНУП·ЛМ‡ˆЛЛ. й‰М‡НУ ‚ П‡ТТЛ‚М˚ı У· ‡Б- ˆ‡ı Н ВПМЛfl ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ МУТЛЪВОВИ ‚ ˝НТЛЪУМВ Eexc = = 14 П˝З Л Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В ‚‚Л‰Ы ˝ЩЩВНЪЛ‚МУИ ЪВ ПЛ˜ВТНУИ ‰ЛТТУˆЛ‡ˆЛЛ ‚ВТ¸П‡ П‡О‡fl ˜‡ТЪ¸ ˝ОВНЪ УММУ-‰˚ У˜М˚ı Ф‡ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl Т‚flБ‡ММУИ. щЪУ М‡ fl‰Ы Т МВФ flПУИ ТЪ ЫНЪЫ УИ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı БУМ Н ВПМЛfl Л У·˙flТМflВЪ П‡ОУВ БМ‡˜ВМЛВ Н‚‡МЪУ‚У„У ‚˚ıУ- ‰‡ ог ‚ c-Si.

ЦТОЛ ‡БПВ ˚ Н ВПМЛВ‚УИ МЛЪЛ ЛОЛ НО‡ТЪВ ‡ ТУТЪ‡‚Оfl˛Ъ ‰ВТflЪНЛ Л В‰ЛМЛˆ˚ М‡МУПВЪ У‚, ˝МВ „Лfl Т‚fl-

ÁË Eexc М‡˜ЛМ‡ВЪ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ Б‡‚ЛТВЪ¸ УЪ ТУУЪМУ¯ВМЛfl ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı Ф УМЛˆ‡ВПУТЪВИ Н ВПМЛfl εSi Ë ÓÍ Û- ʇ˛˘ÂÈ Ò Â‰˚ εd . з‡ ˝МВ „Л˛ Т‚flБЛ ˝НТЛЪУМ‡ УН‡Б˚‚‡- ВЪ ‚ОЛflМЛВ ФУОfl ЛБ‡ˆЛfl МЛЪЛ ЛОЛ НО‡ТЪВ ‡, ˜ЪУ ЩУ - П‡О¸МУ ПУКМУ Ы˜ВТЪ¸ Т ФУПУ˘¸˛ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚ı ТЛО ЛБУ· ‡КВМЛfl (‚ТФУПМЛП ЛБ‚ВТЪМЫ˛ Б‡‰‡˜Ы ЛБ ¯НУО¸- МУ„У НЫ Т‡ У ТЛОВ Ф ЛЪflКВМЛfl ЪУ˜В˜МУ„У Б‡ fl‰‡ М‡‰ Ф У‚У‰fl˘ВИ ФОУТНУТЪ¸˛). и Л ‚˚ФУОМВМЛЛ ЫТОУ‚Лfl εSi @ εd (М‡МУТЪ ЫНЪЫ ‡ ‚ ‚‡НЫЫПВ ЛОЛ ‚УБ‰ЫıВ) ‚ВОЛ˜ЛМ‡ Eexc ПУКВЪ ‚УБ ‡ТЪЛ ‰У 100–200 П˝З Л ˝НТЛЪУММ‡fl О˛ПЛМВТˆВМˆЛfl М‡·О˛‰‡ВЪТfl Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В. ЦТОЛ В‡ОЛБЫВЪТfl ТУУЪМУ¯ВМЛВ εd > εSi, ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ ‚ ˝НТЛЪУМВ ЫФ‡‰ВЪ МЛКВ У·˙ВПМУ„У БМ‡˜ВМЛfl. аПВММУ ˝ЪЛП ˝ЩЩВНЪУП Л У·˙flТМflВЪТfl ВБНУВ „‡¯ВМЛВ ог Ф Л ФУПВ˘ВМЛЛ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ‚ КЛ‰НУТЪЛ Т ‚˚ТУНЛП БМ‡˜ВМЛВП εd (ÒÏ. ËÒ. 4).

н‡НЛП У· ‡БУП, ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ ЫКВ Ф Л НУП- М‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В ЩУЪУ‚УБ·ЫК‰ВММ˚В МУТЛЪВОЛ Б‡ fl- ‰‡ У· ‡БЫ˛Ъ ‰‚В ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛ Т‚flБ‡ММ˚В ФУ‰ТЛТЪВП˚: Т‚У·У‰М˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ‰˚ УН Л ˝НТЛЪУМУ‚. дУОЛ˜ВТЪ- ‚ВММУ [6] ВНУП·ЛМ‡ˆЛУММ˚В Ф УˆВТТ˚ ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ПУКМУ УФЛТ‡Ъ¸, Ф В‰ФУО‡„‡fl, ˜ЪУ Т‚У·У‰М˚В МУТЛЪВОЛВНУП·ЛМЛ Ы˛Ъ ·ВБ˚БОЫ˜‡ЪВО¸МУ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı ‰В- ЩВНЪ‡ı. щЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ ˝ЪУ„У Н‡М‡О‡ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ЛБПВМВМ‡ Ф Л ЪВ ПУ‚‡НЫЫПМ˚ı У· ‡·УЪН‡ı. аБОЫ˜ВМЛВ Т‚ВЪ‡ Ф УЛТıУ‰ЛЪ Ф Л ‡ММЛ„ЛОflˆЛЛ ˝НТЛЪУМ‡. з‡ ‚ВОЛ˜ЛМЫ ˝МВ „ЛЛ Т‚flБЛ ФУТОВ‰МВ„У ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‚ОЛfl˛Ъ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ Т В‰˚, УН ЫК‡˛˘ВИ Н ВПМЛВ‚Ы˛ М‡МУТЪ ЫНЪЫ Ы.

щгЦднкйгыеазЦлсЦзнзхЦ

млнкйвлнЗА

щОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМˆЛfl ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ ЛБЫ˜ВМ‡ ‚ ПВМ¸¯ВИ ТЪВФВМЛ, ˜ВП ЩУЪУО˛ПЛМВТˆВМˆЛfl. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ЛПВММУ Т ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМˆЛВИ Т‚flБ‡М˚ М‡Л- ·УОВВ Б‡П‡М˜Л‚˚В ФВ ТФВНЪЛ‚˚ Ф ‡НЪЛ˜ВТНУ„У ЛТФУО¸- БУ‚‡МЛfl ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Н‡Н П‡ЪВ Л‡О‡ ‰Оfl ТУБ‰‡- МЛfl Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛˘Лı ЫТЪ УИТЪ‚ (Т‚ВЪУ‰ЛУ‰У‚, ФОУТНЛı ˆ‚ВЪМ˚ı ‰ЛТФОВВ‚). и В‰ФУО‡„‡ВЪТfl, ˜ЪУ Т‚ВЪУ‰ЛУ‰˚ ЛБ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ·Ы‰ЫЪ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ‰В¯В‚ОВ, ˜ВП Ф УЛБ‚У‰ЛП˚В ТВИ˜‡Т М‡ ·‡БВ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ТУ- В‰ЛМВМЛИ. щОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМЪМ˚И ЛБОЫ˜‡ЪВО¸ ЛБ ФУ-ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ‰У‚В‰ВМ ‰У ПЛН УММ˚ı‡БПВ У‚ Л ТУ‚ПВ˘ВМ Т ‰ Ы„ЛПЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ПЛ ˝ОВПВМЪ‡ПЛ М‡ У‰МУП Н ВПМЛВ‚УП Н ЛТЪ‡ООВ. щЪУ ФУБ- ‚УОЛЪ УТЫ˘ВТЪ‚ОflЪ¸ ·˚ТЪ У‰ВИТЪ‚Ы˛˘Ы˛ УФЪЛ˜ВТНЫ˛ У· ‡·УЪНЫ ЛМЩУ П‡ˆЛЛ, ЪУ ВТЪ¸ Т‰ВО‡Ъ¸ ТОВ‰Ы˛˘ЛИ ¯‡„ ‚ ‡Б‚ЛЪЛЛ ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚ı Л НУПФ¸˛ЪВ М˚ı ЪВıМУОУ„ЛИ. й‰М‡НУ М‡ ФЫЪЛ В‡ОЛБ‡ˆЛЛ ФУ‰У·М˚ı Б‡‰‡˜ ‚ТЪ‡˛Ъ Ф У·ОВП˚. мН‡КВП М‡ МВНУЪУ ˚В ЛБ МЛı.

СОfl ФУОЫ˜ВМЛfl ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ МВУ·ıУ‰Л- П˚ Ф ВК‰В ‚ТВ„У ıУ У¯ЛВ ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ НУМЪ‡НЪ˚, У·ВТФВ˜Л‚‡˛˘ЛВ ‚‚У‰ (ЛМКВНˆЛ˛) МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ ‚

àÁÎÛ˜ÂÌË ùã −

иУОЫФ УБ ‡˜М˚И ТОУИ Au иУ ЛТЪ˚И Н ВПМЛИ

p-Si

Al

+

êËÒ. 5. лıВП‡ЪЛ˜ВТНУВ ЫТЪ УИТЪ‚У Т‚ВЪУЛБОЫ˜‡˛- ˘В„У Ф Л·У ‡ М‡ УТМУ‚В ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Т ФУОЫ- Ф УБ ‡˜М˚П ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛП ˝ОВНЪ У‰УП

ФУ ЛТЪ˚И Н ВПМЛИ. З Н‡˜ВТЪ‚В У‰МУ„У ЛБ Ъ‡НЛı НУМЪ‡Н- ЪУ‚ У·˚˜МУ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ФУОЫФ УБ ‡˜М˚В ТОУЛ ПВЪ‡О- ОУ‚, М‡Ф ЛПВ БУОУЪ‡, ЛОЛ Ф УБ ‡˜М˚В Ф У‚У‰fl˘ЛВ УНТЛ‰˚ ПВЪ‡ООУ‚ Л ФУОЛПВ ˚. ЗУБПУКВМ Ъ‡НКВ КЛ‰НЛИ ˝ОВНЪ УОЛЪЛ˜ВТНЛИ НУМЪ‡НЪ. ЗЪУ ˚П ˝ОВНЪ У‰УП ‚˚ТЪЫ- Ф‡ВЪ Н ВПМЛВ‚‡fl ФУ‰ОУКН‡, М‡ НУЪУ УИ ТЩУ ПЛ У‚‡М ФУ ЛТЪ˚И ТОУИ ( ЛТ. 5). и Л Ф УФЫТН‡МЛЛ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУ„У ЪУН‡ ПВК‰Ы НУМЪ‡НЪ‡ПЛ ˝МВ „Лfl ЛМКВНЪЛ ЫВП˚ı МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Лı ЛБОЫ˜‡ЪВО¸МУИ ВНУП- ·ЛМ‡ˆЛЛ ‚ ТОУВ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ФВ ВıУ‰ЛЪ ‚ Т‚ВЪ. дУОЛ˜ВТЪ‚ВММУИ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНУИ ˝ЪУ„У Ф УˆВТТ‡ ТОЫКЛЪ Н‚‡МЪУ‚‡fl ˝ЩЩВНЪЛ‚МУТЪ¸ η˝ . ÇÂ΢Ë̇ η˝ УФ В‰В- ОflВЪ УЪМУ¯ВМЛВ ˜ЛТО‡ ЛТФЫ˘ВММ˚ı ЩУЪУМУ‚ Н ˜ЛТОЫ ˝ОВНЪ УМУ‚, Ф УıУ‰fl˘Лı ˜В ВБ ‚УБ·ЫК‰‡ВПЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ-Ы. З Ъ‚В ‰УЩ‡БМ˚ı ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆЛ Ы˛˘Лı ТЪ ЫНЪЫ ‡ı η˝ = 10−4–10−2 %. б‡ПВЪМУ ·УО¸¯ЛВ БМ‡˜ВМЛfl η˝ = = 0,3% ФУОЫ˜ВМ˚ ‚ ТЛТЪВП‡ı Т КЛ‰НЛП НУМЪ‡НЪУП, У‰М‡НУ Лı Ф ‡НЪЛ˜ВТНУВ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВ ТОУКМВВ, ˜ВП Ъ‚В ‰УЪВО¸М˚ı ˝ОВПВМЪУ‚.

èÓÎÛ˜ÂÌÌ˚ ‚ ̇ÒÚÓfl˘Â ‚ ÂÏfl Á̇˜ÂÌËfl η˝ ‰Оfl щг ‚ ФУ ЛТЪУП Н ВПМЛЛ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ПВМ¸¯В, ˜ВП ‚ВОЛ˜Л- М‡ η ‰Оfl ог, ТУТЪ‡‚Оfl˛˘‡fl, Н‡Н ЫКВ УЪПВ˜‡ОУТ¸, В‰Л- МЛˆ˚ Ф УˆВМЪУ‚. еВМ¸¯ЛВ БМ‡˜ВМЛfl ‰Оfl щг Т‚flБ‡М˚ ТУ ТОУКМУТЪ¸˛ ‚‚У‰‡ ‚УБ·ЫК‰ВММ˚ı МУТЛЪВОВИ ‚ ФУ Л- ТЪЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ Ы. иУ˝ЪУПЫ УФЪЛПЛБ‡ˆЛfl ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ ˝ОВНЪ УО˛ПЛМВТˆВМЪМ˚ı ЫТЪ УИТЪ‚‡ı М‡ УТМУ‚В ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl ЛПВВЪ ФВ ‚У- ТЪВФВММУВ БМ‡˜ВМЛВ. С Ы„УИ Ф У·ОВПУИ ‚ ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛЛ щг ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl fl‚ОflВЪТfl МВТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ В„У ЛБОЫ˜‡ЪВО¸М˚ı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН.

бАдгыуЦзаЦ

е˚ ФУБМ‡НУПЛОЛТ¸ Т МВНУЪУ ˚ПЛ ЫМЛН‡О¸М˚ПЛ ЩЛБЛ˜ВТНЛПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl. й˜В‚Л‰МУ, ‰‡О¸МВИ¯ВВ ЛБЫ˜ВМЛВ ˝ОВНЪ УММ˚ı Л ‡ЪУПМ˚ı Ф УˆВТТУ‚ ‚ ˝ЪУП П‡ЪВ Л‡ОВ Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ МВТУПМВММ˚И ЛМЪВ-ВТ Н‡Н Т ˜ЛТЪУ М‡Ы˜МУИ, Ъ‡Н Л Т Ф ЛНО‡‰МУИ ЪУ˜ВН Б В-

МЛfl. щЪУ У·ЫТОУ‚ОВМУ ‚УБПУКМУТЪ¸˛ ТУБ‰‡‚‡Ъ¸ ТОУЛ Т‡БОЛ˜М˚ПЛ ‡БПВ ‡ПЛ М‡МУТЪ ЫНЪЫ , ОВ„НУ ЛБПВМflЪ¸ ТУТЪ‡‚ ‚МВ¯МВ„У ТОУfl Н ВПМЛВ‚У„У ТНВОВЪ‡, ЪВП Т‡П˚П ПУ‰ЛЩЛˆЛ Ыfl ı‡ ‡НЪВ ЫН‡Б‡ММ˚ı Ф УˆВТТУ‚. и Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ ˝ЪУ„У П‡ЪВ Л‡О‡ ‚ВТ¸П‡ ˝ЩЩВНЪЛ‚М˚П УН‡Б‡ОУТ¸ Ф ЛПВМВМЛВ ˆВОУ„У ‡ ТВМ‡О‡ ТУ‚ ВПВММ˚ı ЩЛБЛ˜ВТНЛı ПВЪУ‰У‚: ЩУЪУ- Л Н‡ЪУ‰УО˛ПЛМВТˆВМˆЛЛ, ˝ОВНЪ УММУ„У Ф‡ ‡П‡„МЛЪМУ„У ВБУМ‡МТ‡, ‡П‡МУ‚ТНУ„У‡ТТВflМЛfl Т‚ВЪ‡, ˝ОВНЪ УММУИ ПЛН УТНУФЛЛ, ВМЪ„ВМУ‚- ТНУИ ‰ЛЩ ‡НˆЛЛ Л ПМУ„Лı ‰ Ы„Лı. кВБЫО¸Ъ‡Ъ˚, ФУОЫ˜ВМ- М˚В ˝ЪЛПЛ ПВЪУ‰‡ПЛ, ФУБ‚УОfl˛Ъ ФУТЪ УЛЪ¸ ‰ВЪ‡О¸МЫ˛ Н‡ ЪЛМЫ ˝ОВНЪ УМЛНЛ Н‚‡МЪУ‚˚ı МЛЪВИ Л ЪУ˜ВН Л ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ‡Б ‡·УЪ‡ММ˚В ПУ‰ВОЛ ‰Оfl ТУБ‰‡МЛfl ˝ОВПВМЪУ‚ М‡МУ˝ОВНЪ УМЛНЛ [4], НУЪУ ‡fl, У˜В‚Л‰МУ, ·Ы‰ВЪ УФ-В‰ВОflЪ¸ ‡Б‚ЛЪЛВ ЛМЩУ П‡ˆЛУММ˚ı ТЛТЪВП ппI ‚ВН‡.

иУ-‚Л‰ЛПУПЫ, М‡И‰ВЪ Ф ‡НЪЛ˜ВТНУВ Ф ЛПВМВМЛВ Л Ъ‡НУВ Т‚УИТЪ‚У ФУ ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl, Н‡Н ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸- МУТЪ¸ В„У ˝ОВНЪ УММ˚ı Т‚УИТЪ‚ Н УН ЫК‡˛˘ВИ Т В‰В. иУfl‚ОflВЪТfl Ф ЛМˆЛФЛ‡О¸М‡fl ‚УБПУКМУТЪ¸ ТУБ‰‡МЛfl ТВМТУ У‚ М‡ ‡БОЛ˜М˚В ПУОВНЫО˚, Ф Л˜ВП ‰Оfl Т˜ЛЪ˚- ‚‡МЛfl ‰‡ММ˚ı Ы‰У·МУ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ О˛ПЛМВТˆВМЪМУВ ЛБОЫ˜ВМЛВ. мН‡Б‡ММ˚В Ф Л·У ˚ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ЛТФУО¸БУ- ‚‡М˚ ‚ ˝НУОУ„ЛЛ, ПВ‰ЛˆЛМВ Л Ъ.‰.

ганЦкАнмкА

1.ÑÂÏËıÓ‚ÒÍËÈ Ç.ü. 䂇ÌÚÓ‚˚ flÏ˚, ÌËÚË, ÚÓ˜ÍË: óÚÓ ˝ÚÓ Ú‡ÍÓÂ? // ëÓ ÓÒÓ‚ÒÍËÈ é· ‡ÁÓ‚‡ÚÂθÌ˚È ÜÛ Ì‡Î. 1997. ‹ 5. ë. 80–86.

2.òËÍ А.ü. 䂇ÌÚÓ‚˚ ÌËÚË // í‡Ï ÊÂ. ë. 87–92.

3.ÅÂÎfl‚ÒÍËÈ Ç.à. щНТЛЪУМ˚ ‚ МЛБНУ ‡БПВ М˚ı ТЛТЪВП‡ı // н‡П КВ. л. 93–99.

4.ЕУ ЛТВМНУ З.Ц. з‡МУ˝ОВНЪ УМЛН‡ – УТМУ‚‡ ЛМЩУ П‡ˆЛУМ- М˚ı ТЛТЪВП XXI ‚ВН‡ // н‡П КВ. л. 100–104.

5.Smith A.L., ëollins S.D. // J. Appl. Phys. 1992. Vol. 71, ‹ 8. P. R1–R22.

6.䇯͇ Ó‚ è.ä., ä‡ÏÂÌ‚ Å.Ç., дУМТЪ‡МЪЛМУ‚‡ Ц.С. Ë ‰ . // ìÒÔÂıË ÙËÁ. ̇ÛÍ. 1998. í. 168, ‹ 5. ë. 577–582.

кВˆВМБВМЪ ТЪ‡Ъ¸Л А.ë. ëË„Ó‚

* * *

臂ВО дУМТЪ‡МЪЛМУ‚Л˜ д‡¯Н‡ У‚, ‰УНЪУ ЩЛБЛНУ-П‡- ЪВП‡ЪЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, Б‡П. ‰ВН‡М‡ ЩЛБЛ˜ВТНУ„У Щ‡НЫО¸- ЪВЪ‡ еЙм, Б‡‚. Н‡ЩВ‰ УИ У·˘ВИ ЩЛБЛНЛ Л ПУОВНЫОfl - МУИ ˝ОВНЪ УМЛНЛ ЩЛБЛ˜ВТНУ„У Щ‡НЫО¸ЪВЪ‡. й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ ВТУ‚ – ‰ВЩВНЪУУ· ‡БУ‚‡МЛВ ‚ ФУОЫФ У- ‚У‰МЛН‡ı Ф Л ЛУММУП Л О‡БВ МУП ‚УБ‰ВИТЪ‚Лflı, ˝ОВН- Ъ УММ˚В Ф УˆВТТ˚ ‚ М‡МУТЪ ЫНЪЫ ‡ı. А‚ЪУ Л ТУ‡‚ЪУ ·УОВВ 150 М‡Ы˜М˚ı ФЫ·ОЛН‡ˆЛИ.